Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников

Номер патента: 898501

Авторы: Василенко, Мягконосов

ZIP архив

Текст

Оп ИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветсиикСоциавистичеснинРеспубиии щ 898501(21) 2931095/18 24Я присоединением за23)Приорнтет -Гааударатвпаанй кайнтат СВАР аа делан изабратеннй и отнрнтвй(54) СП ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА ФЕРРИТОВЫХ СЕРЯЕЧНИКО ОРИЕНТАЦИ Изобретение относится к вычислительной технике, в частности к изготовпению устройств дпя формирования матриц из ферритовых сердечников.Известен способ изготовпения трафаретов ориентации ферритовых сердечников, заключающийся в том, что на ппастине иэ светочувствитепьного стекпа формируют контактную маску из фоторезиста, вкоторой вскрыты сквозные окна" в местах распопожения ориентируюших отверстий будущего трафарета. Ппастину экспонируют в потоке интенсивного упьтрафиопетового излучения, При этом в резупьтатевзаимодействия иэпучения с материаломпластины в объеме ппастины под сквозными окнами" контактной фотореэистивной маски возникают центры кристаппизации. Путем поспедуюшей термообработки при 500-600 С в течение 1,5-2 чв экспонированных объемах ппастины формируется кристаппизованная фаза стекла.В неэкспонированных объемах кристаппизованная фаза отсутствует. При послет т дуюшем травпении термообработанной пластины в 10-15%-ном растворе ппавиковойкислоты в течение 20-50 мин формируютсквозные отверстия постоянного сеченияпо высоте пластины, используя разницускоростей травления экспонированных инеэкспонированных объемов ппастины изсветочувствительного стекпа 11,Недостатком известного способа явля0ется невысокая механическая прочностьизготавливаемых с его помошью трафареттов с высокой плотностью расположенияориентирующих отверстий иэ-за того, чтоширина перемычек между соседними отвер.стиями трафарета остается постоянной потопшине ппастины, Кроме того, способтребует проведения операций по созданиюи удалению контактной фоторезистивноймаски, что успожняет технопогическийпроцесс изготовления трафарета,Наиболее бпизким техническим решением к изобретению является способ иэгоовпения трафарета дпя ориентации фе 1 риовых сердечников, заключающийся в том,898501 что пластину из светочувствитепьцого материала, например светочувствительногоо стекла, экспонируют с обеих сторон в потоке ультрафиолетового света через предварительно совмещенные фотощаблоны пазов, предназначенных для ориентации ферритовых сердечников и каналов вакуумной фиксации, расположенных в центрах пазов и соединяющих полости пазов с противоположной стороной пластины, Со й отношение экспозиций через фотощабпон пазов и каналов выбирают таким образом, чтобы после операции проявления термообработкой при травлении пластины в 10-15%-ном растворе плавиковой кислоты пазы для ориентации сердечников и каналы для вакуумной фиксации формировались одновременно 23.Недостатком известного способа является возможность разрушения тонких перемычек между соседними ориентируюшими отверстиями при рассовмещении ри,сунка каналов и пазов, что снижает долговечностьь трафарета.Бель изобретения - упрощение техноло-д гическаго процесса изготовления и повышения надежности изготовления трафарета,Поставленная цепь достигается тем, , что согласно способу изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердеч- И, ников, заключающегося в экспонировании пластины из светочувствительного стекла через фотошаблон с прозрачными участками с образованием в пластине областей кристаллизации, проявлении экспонирован 35 ного изображения термообработкой и трав- пении пазов и каналов в пластине из светочувствительного стекла, при экспонировании пластины из светочувствительного стекла в ней образуют области кристаллизации различной плотности.На фиг. 1 изображен фотошаблон 1, представляющий собой стеклянную пластину прозрачную для ультрафиолетового света, на поверхности которой фотолитографией сформированы расположенные в мат 4 ричном порядке прозрачные области 2, окруженные частично прозрачными дпя ультрафиолетового света областями 3, разделенными полностью непрозрачными для ультрафиолетового света областями 4, фО На фиг. 2 изображена схема экспонирования пластины 5 из светочувствительного стекла через фотошаблон 1На фиг. 3 - экспонированная пласти- фф на 5 после операции термообработки. Обпасти 6 имеют большую степень кристаллизации по сравнению с областями 7. 4На фцг. 4 изображено сечение фрагмента трафарета, содержащего пазы 8для сердечников, кацапы 9, вакуумнойфиксации,фотошаблон 1, представляющий собойстацдартцую плоскопараллепьную стеклянную пластину, на поверхности которой фотолитографическим способом сформирована матричная система прозрачных областей 2, окруженных частично прозрачнымидля ультрафиолетового света областями3, разделенных полностью непрозрачными областями 4 (фиг. 1 ), устанавливаютнад пластной 5 (фиг, 2 ) из светочувствительного стекла и экспонируют ее содной стороны через фотошаблон 1.В результате облучения пластины ульттрафиолетовым светом происходит образование центров кристаллизации в гехее областях, которые расположены подучастками 2 и 3 фотошаблона, В областях пластины, расположенных под непрозрачными участками 4 фотощаблона, центры кристаллизации не образуются, Плотность центров кристаллизации пропорциональна экспозиции пластины и в областяхпластины, расположенных под прозрачными участками 2 фотошаблона 1, пре 1вышает экспозицию пластины в областях,расположенных под частично прозрачнымидля ультрафиолетового света областями3 фотошаблона. Далее проявляют экспонированное изображение путем высокотемпературной обработки пластины при 500600 С в течение 1,5-2 ч. При этом происходит образование кристаллизованнойфазы вокруг центров кристаллизации.Степень кристаллизации пластины определяется плотностью центров кристаллизации и в областях 6 пластины 5 (фиг, 3 )она выше, чем в областях 7.Поскольку скорость травления экспонированной и термообработанной пластины находится в прямой зависимости отстепени кристаллизации, то при последующей обработке пластины в 10-15%-номрастворе плавиковой кислоты скоростьвытравливания пластины в областях 6 выше, чем в областях 7 в 5-20 раз в зависимости от степени прозрачности областей 3 фотошаблона, соответствующих пазам будущего трафарета. Поэтому сквозные каналы 9 и ориентирующие пазы 8формируются при травлении пластины одновременно,Предложенный способ позволяет создавать трафареты в более толстой пластине светочувствительного стекла, чем8985 обеспечивается высокая механическая прочность трафарета,При этом не требуется проведения операции двустороннего совмещения фотошабпонов пазов и каналов, При совмещении из-за влияния толщины пластины светочувствительного стекла неизбежны погрешности совмешения, в результате чего при плотной упаковке пазов и каналов возможны смешения прозрачных областей 10 кацапов на непрозрачные обпасти перемычек и их разрушение в процессе травления.Кроме того, предложенный способ позвопяет создавать в пластине из светочув ствнтепьного стекпа, твердость и прозрачность которого сравнима с твердостью феррита, лазы, профиль которых повтояет форму копьцевых ферритовых сердечников. Дпя этого достаточно использовать при 20 экспонировании фотошабпон, у которого от границы прозрачной области, соответствующей каналу, к границе полностью непрозрачной области, соответствующей перемычке, по. плошади каждого паза оп тическая плотность меняется ступенчато 01 4с требуемой дискретностью или меняетсяпо квадратичной зависимостиф орму па изобретенияСпособ изготовпения трафарета дпяориентации ферритовых сердечников, закпючаюшийся в экспонировании пластиныиз светочувствительного стекла через фотошабпон с прозрачными участками с образованием в пластине областей кристаллизации, проявпении экспонированного.изображения термообработкой и травпениипазов и каналов в пластине, о т и и ч аю ш и й с я тем, что, с цепью упрощения технопогического процесса изготовпения и повышения надежности изготовления трафарета, при экспонировании ппастины из светочувствительного стекла вней образуют области кристаллизации раз.пичной плотности.Ис 1 очники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР% 702409, кп, З 11 (Э 5/02, 1978,2, Авторское свидетельство СССР позаявке % 2744709/18-24,кп. Я 11 С 5/02, 1979 (прототип)ВНИИПИ Заказ 1 1958/69 Тираж 623 Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород. ул. Проектная, 4

Смотреть

Заявка

2931095, 27.05.1980

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5308

ВАСИЛЕНКО ПЕТР ГРИГОРЬЕВИЧ, МЯГКОНОСОВ ПАВЕЛ ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G11C 5/02

Метки: ориентации, сердечников, трафарета, ферритовых

Опубликовано: 15.01.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-898501-sposob-izgotovleniya-trafareta-dlya-orientacii-ferritovykh-serdechnikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников</a>

Похожие патенты