Сканирующий интерферометр

. Макаров, И имушин и С рантуЬЖ явитель 54) СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР птическонтерферендля скаользоваго ектр метрах.Известен сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное зеркало и подвижное зеркало, связанное с приводом, в котором обеспе. чивается параллельность зеркал при перемеще. 1 ф иии с помощью упругих мембран или плоских пружин 13.Недостатком этого интерферометра является высокая чувствительность к вибрациям.Наиболее близким к изобретению является15 сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное .и подвижное зеркала, цилиндричес. кий упругий элемент с двумя фланцами на концах, один из которых жестко закреплен,20 а на другом установлено подвижное зеркало и привод перемещения подвижного зеркала.Подвижное зеркало связано с приводом его перемещения. Цилиндрический упругий, элемент 3Изобретение относится к области о го приборостроения, в частности к и ционным приборам, предназначенным пирования спектра, и может быть исп но, в частности, в качестве сканирую терферометра Фабри - Перо и в Фурье с продольными гофрами соединен на концах с двумя фланцами 2.Недостатком этого сканирующего интерферометра является отсутствие механической одно.родности упругого элемента (изменение ли.нейных размеров, механических свойств материала в местах соединения крайних гофр цилиндра и крепления к его торцам фланцев), что приводит к неодинаковой деформации всех гофр в средней части цилиндра и откло.нению подвижного зеркала от параллельности при сканировании. Для обеспечения строгой параллельности зеркал интерферометра приперемещении подвижного зеркала необходимо, чтобы упругий цилиндр обладал высокой механической однородностью по всей цйлиндрической поверхности, особенно в местах крепле ния фланцев. Такая однородность в случае гофрированного цилиндра, имеющего сварные швы вдоль образующей цилющра и в местах . соединения фланцев, отсутствуетКроме того, крепление к гофрированному цилиндру фланцев с равномерным распределением гофр требует .сложной технологической оснастки.8709154происходит либо под действием упругих скйперемычек при отключенном приводе 4, либоизменением направления действия привода.Цилиндрический упругий элемент со сквозными окнами может быть изготовлен наобычных металлорежущих станках с высокойточностью. Однородность механических свойств,точность расположения фланцев обеспечиваетсятем, что он изготавливается из одного кускаматериала, Такое выполнение элемента 3 позволяет сохранить устойчивость к вибрационнымпомехам и обеспечивает строгую параллельностьзеркал при перемещении подвижного зеркала.Величина угла закручивания одного фланца относительно другого зависит от толщины стенкии от числа сквозных окон.Таким образом, предлагаемый сканирующийинтерферометр по сравнению с известнымипозволяет повысить точность измерений при сканировании спектра оптического излучения. Все эти недостаткй снижают точность скащрования.Целью изобретения является повышение точ.ности сканирования,Поставленная цель достигается теьч, что нацилиндрической поверхности упругого элементавыполнены сквозные окна, направленные вдольобразующей и расположенные равномерно поокружности, а фланец составляет с цилиндромодно целое,На фиг. 1 изображена приапшиальная схема.сканирующего интерферометра; на фиг. 2-разрез А - А фиг, 1.Сканирующий интерферометр содержит непо.движное зеркало 1, расположенное параллельноподвижному зеркалу 2, которое установленона подвижном фланце цилиндрического упругого элемента 3.Подвижный фланец упругого элемента 3соединен с приводом 4 его перемещения. Неподвижным фланцем цнлиндрическии упругийч 20элемент жестко укреплен на основании 5, Нацилиндрической поверхности элемента 3 выпол.иены сквозные окна, направленные вдоль образующей и расположенные равномерно поокружности. Материалом для элемента 3 может25служить любой упругий материал, фланцы выполнены заодно с упругим элементом из одного куска материала.Сканирующий интерферометр работает еледующим образом. 30Поступательное перемещение подвижного зеркала 2, необходимое для сканирования спектра,осуществляется при повороте подвижного. фланца цилиндрического упругого элементавокруг его оси и скручивании цилиндра отно.сительно неподвижного фланца, При этом деформируются перемычки между окнами и засчет изменения диаметра упругого элемента 3происходит перемещение подвижного зеркала 2в осевом направлении, Возвратное перемещение Формула изобретения Сканирующий интерферометр, содержащий не.подвижное и подвижное зеркала, цилиндричес.кий упругий элемент с двумя фланцами наконцах, один иэ которых жестко закреплен, надругом установлено подвижное зеркало, и привод перемещения подвижного зеркала, о т л и.ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышенияточности сканирования, на цилиндрической поверхности упругого элемента выполнены сквозные окна, направленные вдоль образующей ирасположенные . равномерно по окружности, афланец составляет с цилщщром одно целое.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидеаельство СССР Юф 360561,кл. 6 01 1 3/06, 1971,2. Авторское свидетельство СССР В 535453,кл. 6 01 В 9/02, 1975 (прототип),