Микроманипулятор

ОП ИСАНИ ЕИЗОВРЕТЕ Н ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалистическикРеслублик 837847 1) Дополнительное к авт. свид-ву -51) М. Кл Заявлено 18.05.79 (21) 2768823/25-08 В 2537 присоединением заявки-23) Приоритет -Ге суда ствеииык комитетСССРм изобретеиийоткрытий 29. 3 бликовано 15.06.81. Бюллетень22а опубликования описания 20.06.81.72(088.8 Авторызобретеии Деменев И. Созинов орское бюро ЭнерРохидщаш 71) Заявитель ециальное к 54) МИКРОМАНИПУЛЯТО нипу ии и Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для перемещения объектов исследования в высоковакуумных камерах.Известен микроманипулятор, содержащий корпус, несущую платформу с закрепленным на ней предметным столом, направляющие и стакан с фланцем для подсоединения к вакуумной камере 1.Недостатком данного микрома лятора является сложность конструкц низ. кие эксплуатационные качества. 1 ОЦель изобретения - устранение указанных недостатков, т.е. упрощение конструкции и повышение эксплуатационных качеств.Цель достигается тем, что микроманипулятор снабжен двумя блоками горизонтального и вертикального перемещений пред. 1 метного стола, состоящим из двигателей и сельсин-датчиков, и двумя ходовыми винтами, установленными соответственно на платформе и в стакане, причем блок горизонтального перемещения размещен внутри вакуумной камеры и кинематически связан с ходовым винтом, установленным на платформе, а блок вертикального перемещения размещен снаружи вакуумной камеры и кинематически связан с ходовым винтом, установленным в стакане,На фиг. 1 изображен микроманипулятор, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А - А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б - Б на фиг. 1.Микроманипулятор имеет корпус 1 и жестко связанный с ним фланец 2. В-корпусе расположен подвижный стакан 3 с фланцем, внутри которого проходит ходовой винт 4, и вакуумный ввод 5 движения. На нижнем конце ходового винта закреплена коническая шестерня 6, которая через конические шестерни 7 связана с блоком, состоящим из электродвигателя 8 и сельсиндатчика 9. На верхнем конце подвижного стакана закреплена несущая платформа 10, на которой расположены направляющие 11 с предметным столом 12, связанным с ходовым винтом 13. Ходовой винт 13 через конические шестерни 14 и 15 связан с блоком, состоящим из электродвигателя 16 и сельсин датчика 17. Вакуумный ввод 5 движения имеет, например, такую конструкцию, В корпусе 1 установлены подшипники 18, втулка 19. Неподвижный стакан 20 с уплотнением 21 установлена на нижнем конце корпуса837847 формула изобретения Рие. т координатного механизма. Внутри неподвижного стакана расположены вставка 22, коль. цо 23, уплотнители 24 и 25, шайба 26, гайка 27.Устройство работает следующим образом.С помощью фланца 2 герметично подсоединяется к вакуумной камере микроманипулятор. От электродвигателя 8 через конические шестерни 6 и 7 приводится во вращение ходовой винт 4, передающий вертикальное перемещение подвижному стакану 3. Стакан 3 жестко связан с несущей платформой 10, на которой находится предметный стол 12, следовательно, не ущая платформа и предметный стол также перемещается вертикально. Сельсин-датчик 9 через конические шестерни 6 и 7 связан с ходовым винтом 4 и отсчитывает вертикальные перемещения объекта исследования, расположенного на предметном столе 12. От электродвигателя 16 через коничсские шестерни 14 и 15 приводится во вращение ходовой винт 13, передаощий горизонтальное перемещение предметному столу 12. Сельсин-датчик7 через конические шестерни 14 и 15 связан с ходовым винтом 13 и отсчитывает горизонтальные перемещения объекта исследования, расположенного на предметном столе 12. Микроманипулятор, содержащий несущую платформу с закрепленным на ней предметным столом, направляющие и стакан сфланцем для подсоединения к вакуумнойкамере, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения эксплуатационных качеств, он снабжен двумя блоками горизонтального и вертикального перемещений предметного стола, состоящими издвигателей и сельсин-датчиков, и двумя ходовыми винтами, установленными соответ 15 ственио на платформе и в стакане, причемблок горизонтального перемещения размещен внутри вакуумной камеры и кинематически связан с ходовым винтом, установленным на платформе, а блок вертикальногоперемещения размещен снаружи вакуумнойкамеры и кинематически связан с винтом,установленным в стакане.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР363578, кл. В 25 1 7/00, 1971.837847 Фи итель Т. КостА. Бойкас090 Состав Тех ред Тираж 1 ПИ Государстведелам изобрет Москва, Ж - 35, П Патент, г.. Бабине ного ком ит ений и от Раушская Ужгород, у 113035,нлиал ПП Редактор Л. ТюринаЗаказ 4357/31ВНИИ иковаКорректорПодписноеета СССРкрытийнаб., д. 4/5л. Проектная,