Вакуумный манипулятор

Сею э Советски кСоциалистическихРеспублик ВТОРС У СВИДЕТЕЛЬСТВУ(61) Дополнительное к (22) Заявлено 12,07.7 вид-ву 279589М, Кл ем заявки М с присоеди удеретеенный квинте(23) Приорит ОнубликСССР во делам нзабретеннй и еткрытнйвано 23,04,81, Бюллетень убликования описания 25.0(71) Заявнтел НИПУЛЯТО ВАКУУМ НЬ Иэобретени вакуумной тех для автоматиз образцов в вак мер, для перен куумной камер электронной и установках мо е относится к устройствамники и может применятьсацин процессов переносауумных установках, наоса образцов иэ одной вы в другую в установкаионной спектроскопии, впекулярно-лучевой эпитак прка5и,Известен вакуумный манипулятор со О ержащий герметичный корпус и установенные в нем ползун, кинематически свяанный с механизмом продольного переме- щения, привод захвата и систему управ- ения захватом с тросиком 1,15 ройствая надежравление в, состав- движения го, боль тросика ного устии и низкаем, что упэлементопередачи. Кроме тонатяжениянипулятора укц Недостатки иэвсложность констрность, связанные сзахватом имеет мноляющих длинную цеот привода к эахвашая длина и способусложняют сборку м Бель изобретения - упрощение конструкции и повышение надежности манипулятора,Для достижения поставленной цели тросик одним концом соединен с захватом,другим концом - с попэуном и кннематически связан с приводом захвата.Кроме того, манипулятор снабжен поменьшей мере тремя шарнирно связанны;ми с приводом захвата роликами, причем,по меньшей мере один ролик установленс воэможностью перемещения в направлении, перпендикулярном направлению перемещения ползуна.На чертеже показан вакуумный манипулятор, общий вид,Манипулятор состоит иэ герметичного корпуса 1, полэуна 2, расположенного в корпусе на направляющих 3 качения, захвата 4, губки 5 захвата, расположенной на оси 6, пружины 7, механизма 8 продольного перемещения, привода 9захвата, тросика 10 и пружины 11 натяжения.1. Вакуумный манипулятор содержащий герметичный корпус и установ 1 Оленные в нем.попэун, кинематическисвязанный с механизмом продольногоперемещения, привод захвата и сис-.тему управления захватом с тросиком,15о т л и ч а ю щ и й с.я тем, что, сцелью упрощения конструкции и повышениянадежности, тросик одним концом соединенс захватом; другим концом - с ползуном,а также кинематически связан с приводом. захвата.2. Манипулятор по п. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что он снабжен по меньшей мере тремя шарнирно связанными сприводом захвата роликами, причем, поменыпей мере один ролик установлен с25возможностью перемещения в направлении,перпендикулярном направлению перемещения ползуна.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Проектирование и изготовлениемеханизма манипулятора . для заменыобразца в вакуумной камере. Отчет поНИР, ВНТИ, инв. % Б 475278, 1978,3 823Привод захвата представляет собойпиевмоцилиндр 12, соединенный со штоком 13, на котором шарнирно установленролик 14. Пневмоцилиндр 1.2 установлен. на фланца 15 с помощью кронштейна 16.фланец 15 герметично стыкуется с корпусом 1, Герметичность штока 3.3 приего перемещении в вакууме от цилицдраосуществляется за счет сильфона 17.На внутренней стороне фланца 18установлен неподвижно кронштейн 18 с.с роликами 19. Йля натяжения тросйка 10 на ползуне 2 расположены ролики 20 и 21.Манипулятор работает следующим образом,Для установки образца в зажим маницулятора рневмоцилиндр 12 перемещаетшток 3.3 в верхнее крайнее положение,что приводит к перемещению среднегоролика 14. относительно роликов 3.9.Это перемещение удлиняет часть тросика, вахоцящуюся в приводе (междуроликами 3.9), что вызывает поворотрубки 5 и открытие захвата. После установки образца в захват за счет срабатывания пневмоцилиндра 12 производится перемещение ролика 14 в нижнеекрайнее положение, что освобождаетгубку 5 и она под действием пруиуны 7поворачивается на оси 6.и зажимаетобразец. Пружина 1 1 обвспечиивет натажение тросика 10 Перемещение ползунавперед и назад осуществляется за счет 117 4механизма продольного перемещения 8 спомощьюреечной передачи,Управление зажимом может бытьосуществлено в любом положении полэуна и во время его перемещения. формула изобретенияПодписн ВХИ Заказ 1962/18 Тираж 1090ПП фПатентф, г. Ужгород, уд. Проектн