Способ определения концентрации примеси и подвижности носителей в полупроводниках

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК р 8,011 21 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬ 1 ТИЙ ИОАН ИЕ ЗОБРЕТЕНИЯ ЕЛЬСТВУ АВТОРСКОМУ нэме ракиями Охл ют до темпера юл. М 35И. Б, Гуляев,.8)В. Контроль параметых материалов ив. М"Советское ;3-26 ТЧ /К ограничуемом имеси;овные н энергия активации и дают в образце неос и возбуж тели.2. Сп шийс тели возб лучением по п. м, чт ют эл,отличаюнеосновные носкктромагнитным иэ(54)(57) 1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯКОНЦЕНТРАЦИИ ПРИМЕСИ И ПОДВИЖНОСТИНОСИТЕЛЕЙ В ПОЛУПРОВдДНИКАХ, основанный на измерении электропроводности, напряжения Холла и определении концентрации примеси и подвижности носителей расчетным путем,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повышения точности, образец перед 3. Способ по п.ш и й с я тем, чтовозбуждают корпуску4. Способ по п,щ и й с я тем, чтовозбуждают электрич лича юовные носитеизлучением л ича ю вные носител полем. еоснярнымо теосноским и,80791124 где К постоянная Больцман заряд электрона: Ч - высота равновесного ного барьера в иссле образце ф791124 Фректор А. Ференц . ктор О. Юркова Техред ВЯалек раж 703твенного комитета СССретений и открытий, Проектн 3ния на сапфире и кремния на кремнии, сло- ев поликристаллического кремния, Повышение точности измерения позволяет повы 8180/6ВНИИПИ Госудапо делам изо13038; Москва,филиал ППП Патент,. г. Ужго 4сить процент выхода годной продукции,изготовляемой на основе этих материалов,и улучшить ее качество.

Смотреть

Заявка

2810410, 23.08.1979

ИНСТИТУТ РАДИОТЕХНИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ АН СССР, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5476

БАТАВИН В. В, ГУЛЯЕВ И. Б, ЖАВОРОНКОВ Н. В, ЖДАН А. Г, САНДОМИРСКИЙ В. Б, ЧЕНСКИЙ Е. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: концентрации, носителей, подвижности, полупроводниках, примеси

Опубликовано: 23.09.1983

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-791124-sposob-opredeleniya-koncentracii-primesi-i-podvizhnosti-nositelejj-v-poluprovodnikakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения концентрации примеси и подвижности носителей в полупроводниках</a>

Похожие патенты