Способ изготовления носителей информации на полосковых магнитных доменах

1 ч.1 лнотьн Ч ,С ОПИСАЙИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 10. 07. 78 (21) 2644338/18-24с присоединением заявки Йо(51)М. к,0 11 С 11/14 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения Л. С, Палатник, Л. 3, Лубяный, Л. И. Лукашенкои С. Т. Рощенко Харьковский ордена Ленина политехнический институт им, В. И. Ленина(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НОСИТЕЛЕИ ИНФОРМАЦИИ НА ПОЛОСКОВЫХ МАГНИТНЫХ ДОМЕНАХИзобретение относится к области вычислительной техники и может быть использовано при разработке различного рода периферийного оборудования вычислительных систем на базе полосковых магнитных доменов (ПМД) .Известны способы изготовления носителей информации на ПМД, основанные на формировании и продвижении одиночных ПМД в узких низкокоэрцитивных каналах, сформированных в высококоэрцитивной магнитной пленке 11) и (2Один из известных способов изготовления носителей информации на ПМД заключается в нанесении тонкой плен ки пермаллоя на подслой алюминия сдварительно вытравленными участкаи для низкокоэрцитивных каналов 111 . 20Этот способ отличается большой трудоемкостью изготовления, особенно при малой ширине каналов.Наиболее близким техническим решением к данному изобретению является способ изготовления носителей информации на ПМД,который основан,как и предложенный, на формировании низкокоэрцитивных каналов в Ферромагнитной пленке и создании в них ПМД (.2). Известный способ изготовления носителей информации на полосковых магнитных доменах обладает рядом недостатков;процесс создания каналов вытравливанием подслоя алюминия методами фотолитографии очень трудоемок, особенно при ширине каналов порядка 1 мкм, необходимых для высокоплотной записи информации;кроме того, поля формирования и продвижения полосковых магнитных доменов у устройств, изготовленных по известному способу, резко возрастают с уменьшением ширины канала, что увеличивает энергоемкость запоминающего устройства на полосковых магнитных доменах при большой плотности записываемой информации,размер стабильного полоскового магнитного домена определяется магнитными параметрами пленки, Для пленокопермаллоя толщиной 1000 А, изготовленных по известному способу, он составляет величину(6 х 70) мкм Дальнейшее уменьшение размеров магнитных доменов возможно только путем снижения намагниченности насыщения ферромагнитного слоя, что автоматически усложняет считывание полосковых магнитных доменов.Все вышеперечисленные причины ограничивают возможности миниатюризациизапоминающих устройств на полосковыхмагнитных доменах и увеличивают трудоемкость их изготовления.Цель изобретения - снижение трудоемкости изготовления носителей информации на полосковых магнитных доменах.Поставленная цель достигается тем,что на немагнитную подложку наклонныммолекулярным пучком наносят ферромагнитную пленку с полосовойдоменной структурой и размагничивают ферромагнитную пленку переменныммагнитным полем, направленным вдольпроекции молекулярного пучка на плоскость пленки с амплитудой, плавноубывающей от величины, превышающейполе насыщения пленки, до нуля.Реализация предложенного способаизготовления носителей информациивозможна благодаря тому, что в магнитной пленке, нанесенной в вакуумепри определенных условиях (температуре подложки, скорости конденсации,степени разрежения ) и прошедшей соответствующую магнитную обработку,образуется регулярная полосовая доменная структура. Ширина полосовыхдоменов 1 мкм и меньше. В широкоминтервале полей отсутствует смещение границ между полосовыми доменами. При нанесении пленки из наклонного молекулярного пучка внутри полосовых доменов при помощи неоднородных магнитных полей можно создавать области с намагниченностью, отличной от остальной части полосовогодомена, и продвигать эти областивдоль полосовых доменов. Последнеесвойство использовано в предлагаемом изобретении,Таким образом, в предложенном способе изготовления носителей информации на полосковых магнитных доменахроль низкокоэрцитивных каналов играют полосовые домены, а роль передвигающихся по ним полосковых магнитных доменов выполняют области неоднородной намагниченности, образуемые внутри полосовых доменов.На фиг. 1 представлена регулярная полосовая доменная структура, выявленная порошковым методом; нафиг. 2 - модель образования полоскогомагнитного домена (стрелками показаныориентации векторов намагниченностив двух соседних полосовых доменах ив образованном полосковом домене) нафиг. 3 - светлая область - полосковый магнитный домен, выявленный порошковым методом; на фиг. 4 - снимок порошковых фигур от вытянутого в длинуполоскового домена.Предложенный способ осуществляетсяследующим образом. Ферромагнитную пленку наносят наподложку методом вакуумной конденсации при наклонном падении молекулярного пучка без предварительного нанесения слоя алюминия. Условия конденсации и толщину пленки выбирают такимобразом,.чтобы обеспечить возникновение полосовой доменной структуры.Затем пленку размагничивают переменным магнитным полем, направленнымвдоль проекции молекулярного пучкана плоскость пленки с амплитудой,плавно убывающей от значения большегополя насыщения до нуля. Внешнимимагнитными полями, создаваемыми, например, системой проводников, форми руют области неоднородной намагниченности внутри полосовых доменов.П р и м е р . Ферромагнитная пленка толщиной 1 мкм (состав исходнойшихты 83 И 1, 17 Ге) наносится ме тодом вакуумной конденсации на стеклянную подложку при температуре300 С. Угол падения молекулярногопучка 45 , степень разрежения 10 торр,скорость конденсации 10 А/с. Плен ку размагничивают переменным магнитным полем с амплитудой, убывающейот 300 Э до 0 Э, Образуется регулярная полосовая доменная структура(фиг, 1). На фиг. 2 стрелками показаны ориентации векторов намагниченности в двух соседних голосовых доменах.Они составляют углы + с с плоскостьюпленки. Приложением внешнего локального поля Нщ создают область (заштрихованный участок на фиг. 2) суглом ориентации намагниченности об,отличным от с, Такая область длинойб мкм, выявленная при помощи магнитной суспензии, имеет вид светлого участка внутри полосового домена 40 (фиг. 3). Неоднородными магнитными полями такую область можно перемещатьвдоль полосового домена, не выходяза его пределы, со скоростью10 см/с4или вытягивать на всю длину полосово го домена (фиг. 4).Предложенный способ изготовленияносителей информации на полосковыхмагнитных доменах обеспечивает снижение трудоемкости изготовления носителей благодаря исключению операции нанесения и последующего травления слояалюминия, уменьшение размеров каналовдо 1 мкм и длины доменов до несколькихмикрон и обеспечение таким образомувеличения плотности записи информации.55Формула изобретенияСпособ изготовления носителей ин формации на полосковых магнитных доменах, основанный на формировании низкокоэрцитивных каналов в. ферромагнитной пленке и созданиии в них полосковых магнитных доменов, о т л иу 5 ч а ю щ и й с я тем, что, с целью752472 Г ИММ Составитель Ю. Розентальедактор И. Наншина Техред Н. Ковалева Корректор М. Демчи Заказ 4775/25 Тираж 662 ЦНИИПИ Государственног по делам изобретени 113035, Москва, Ж, РПода ССтий сно смит и откушская 4 б илиал ППП "Патент", г. Ужгород, уд. Проектная, 4 снижения трудоемкости изготовленияносителей информации на полосковыхмагнитных доменах, наносят ферромагнитную пленку с полосовой доменнойструктурой на немагнитную подложкунаклонным молекулярным пучком и размагничивают ферромагнитную пленкупеременным магнитным полем, направленным вдоль проекции молекулярногопучка на плоскость пленки с амплитудой, плавно убывающей от величины,превыщающей поле насыщения пленки,до нуляИсточники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США Р 3465316,кл. 340-174, 1969.2. Патент СШР. Р 3438016,кл. 340-174, 1969 (прототип).