Интерферометр фабри-перо

ча ф пятен чо те сп исАЙ-Й - ФСоюз Советских Социалистических Республик(22) ЗаЯвлено 12,05,77 (21) 24844 соединением заявки РЙ 0113/ 3) П риорите еаударственный комет СССР ве делам нзобретеннй н еткрытнй) ИНТЕР ЕТР ФЛБРИ-ПЕ ым приетрам име рометух зерюстизделирферометелителя, деформай интертеля сни- интерфеот юстинт дят фун аздел сь рке техническойму является инсостоящий из ля, в котором радиальным Изобретение относится к точ борам, в частности к интерфером Фабри-Перо высокого разрешени няемым в метрологии и спектрос Известны юстируемые интерфе ры фабри-Перо, состоящие из дв кал и разделителя в виде тубуса руемые изгибом или сжатием ра теля 11.При юстировке таких ров возникают деформац которые неизбежно прив ции зеркал и ухудшению ферометра. йеформации жают воспроизводимость рометра от сборки к сбо ровки к юстирОвке,Наиболее близким по сущности к предложенно терферометр Фабри-Перо двух зеркал и разделите юстировка производится смещениями разделителя К недостаткам такого интерферометра относятся деформации при юстировке в силу необходимости прижатия оправ зеркал к разделителю, невозможность изменения длины интерферометра без смены разделителя и изменение апертуры при юстировке,Пель изобретения - устранение деформаций интерферометра при юстировке, изменение длины интерферометра и расширение диапазона юстировки беэ изменения апертуры.Поставленная цель достигается благодаря тому, что разделитель выполнен из М линзовых компенсаторов с отверстиями в центре, а поверхности соединений каждого компенсатора притерты друг к другу и снабжены смазкой в местах" соединений. Радиус кривизны линз одного из компенсаторов в и раэ больше" радиуса кривизны линз другого. Линзовые компенсаторы выполнены с цилиндрическими поверхностями, причем ось цилиндрических поверхностей одного ком 68433 пепсатора перпендикулярна оси цилиндрических поверхностей другого. Поверхности соединений линзовых компенсатороввыполнены шлифованными и притертыдруг к другу до зеркального отраженияпри нормальном падении лучей,На чертеже показан предложенныйинтерферометр Фабри-Перо в разрезе.Интерферометр состоит из зеркал 1,2 и разделителя, выполненного в виде 1 Отрех линзовых компенсаторов. Линза 3имеет сферическую поверхность 4, линза5 - сферическую поверхность 4 и цилиндрическую поверхность 6, динза 7 - цилиндрические поверхности 6 и 8, линза 9 - 5цилиндрическую поверхность 8. Радиус кривизны сферической поверхности 4 в и раз больше радиусов кривизны цилиндрических поверхностей 6 и 8,Поверхности 4, 6, 8 линз смазаны и притерты друг к другу. Эти поверхности выполнены шлифованными и притерты другк другу до зеркального отражения принормальном падении лучей, При этом 25смазка концентрируется в основном в углублениях, а контакт поверхностей линзпроисходит на полированных участках. Врезультате уменьшается слой смазки,Слой смазки допускает сдвиги и препят- ЗОствует отрыву линЗ друг от друга.Юстировку интерферометра производятсдвигами линз относительно друг друга,Сначала производят грубую юстировку,компенсаторами с цилиндрическими поверхностями, составленными из линз 7,9 и 5, 7, вращением линз относительноосей их цилиндрических. поверхностей,Для регулировки апертуры линзы сдвигают вдоль этих осей. Тонкая юстировка 4 Опроизводится линзовым компенсатором,составленным из линз 3, 5, радиальными сдвигами, Для изменения длины осуществляют юстировку интерферометра придругом расположении линз относительно 45друг друга,Погрешность юстировкиц.= - с.Ц /где ЮЬ - величина минимального сдвига, 5 О(зависит от способа осуществления сдвига: рукой, винтом,пьезоэлементом);Ц - наибольший радиус кривизнылинз компенсаторов.55Диапазон юстировкиЬа = Ь 1,36 4где Ь - максимально допустимыйсдвиг (зависит от диаметрадинэ и диаметра отверстий);- минимальный радиус линз.Максимальное изменение длины разделителя 2Й=4.где Ь - расстояние между центрамикривизны компенсаторов;Ьс- диапазон юстировки.Предложенная конструкция интерферометра Фабри-Перо обеспечивает следующие преимущества:- ислючение деформаций разделителя при юстировке, а следовательно, и повы шение качества интерферометра;- расширение диапазона юстировки и в связи с этим снижение трудоемкости при изготовлении за счет снижения требований к точности изготовления разделителя;- воэможность подгонки длины разделителя под заданную величину;- возможность юстировки без уменьшения апертуры.формулаизобрет ия1, Интерферометр Фабри-Перо, состоя"щий из двух зеркал и разделителя, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюустранения деформации интерферометрапри юстировке, изменения длины интерферометра и расширения диапазона юстировки без изменения апертуры, разделитель выполнен в виде М линзовых компенсаторов с отверстиями в центре, аповерхности соединений каждого компенсатора притерты друг к другу и снабжены смазкой в местах соединений,2, Интерферометр Фабри-Перо поп. 1, отличающийся тем,что радиус кривизны линз одного из компенсаторов в Ц раз больше радиуса кривизны линз другого,3. Интерферометр фабри-Перо пои. 1, отличающийся тем,что линзовые компенсаторы выполненыс цилиндрическими поверхностями, причем ось цилиндрических поверхностейодного компенсатора перпендикулярнаоси цилиндрических поверхностей другого.4. Интерферометр фабри-Перо попп,1-3, отличающийсятем, что поверхности соединения линписноеСР аз 5 осударственн зобретений Ж, Рауш м кв 4/5 113035, М иал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 зовых компенсаторов выполнены шлифо-ванными и притерты друг к другу дозеркального отражения при нормальномпадении лучей.Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе 1. Жакино П. Последние достижения интерференционной спектроскопии. УфН,78, вып. 1, 1962 с. 140,2. Толанский С, Спектроскоппя высо 5 кой разрешающей силы. М., И, Л., 1 956,с. 400, 766ого комитетаи открытийская наб., д