Интерферометр для контроля качества полированных торических поверхностей

ттт"ЕфЮэнюО П И ."А"Я"И Е 272604 Союз Соевтскиз Социалистическкз РеспубликЗависимое от авт, свидетельства М Заявлено 291968 ( 1221982/26-2 Кл, 421 т, 34/11 с присоединением заявки ЪЪ МПК б 02 Ь 5/1 оритет комитет по деламизобретений и открытиори Совете МинистровСССР ДК 535,411(088.8) Опубликовано ОЗ,И.19 О. Бюллетень ЪЪ 19Дата опубликования описания 2.1 Х.190 Авторизобретения ряев Московское высшее техническое училище имени Н, Э. Баумана Заявител ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОЛИРОВАННЬХ ТОРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕ Полированные торические поверхности применяются в. оптико-механических приборах и особенно широко в машиностроении при изготовлении колец шарикоподшипников. Известшяе интерферометры позволяют контролиро вать лишь очень небольшие участки торической поверхности.Предлагаемый интерферометр обеспечивает контролирование с высокой точностью всей торической поверхности одновременно. 10Для этого в рабочей ветви интерферометра установлены объектив с переменным фокусным расстоянием и коническая линза в сходящемся пучке лучей после объектива.Для контроля торических поверхностей, 15 ориентированных различно относительно кольцевого изображения, в плоскости кольцевого изображения установлена коллективная линза или сферическое зеркало.На фиг. 1 - 6 представлены варианты опти ческой схемы предложенного интерферометра.Лучи от монохроматического источника света 1 проходят через точечную диафрагму 2, установленную в фокусе коллиматорного объектива 8, который преобразует лучевой поток 25 в параллельный пучок.Полупрозрачное зеркало 4 разделяет пучок на две части. Одна часть пучка попадает в эталонную ветвь интерферометра на плоское зеркало б, установленное пергкндикулярно 30 падающим лучам. Отразившись от зеркала 5, лучи пойдут в направлении об ьектива 6. Вторая часть параллельного пучка лучей поступает в рабочую ветвь интерферометра, в которой установлены плоско-коническая линза 7, объектив 8 и контролируемая торическая поверхность 9. В фокальной плоскости объектива 8 образуется кольцевое изображение АА, плоскость которого перпендикулярна оптической оси объектива 8. Торическая поверхносгь 9 устанавливается так, чтобы геометрическое место центров кривизны сечений, проходящих через ось кольца шарикоподшипнпка (мерндиональные сечения), совпало с кольцевым изображением АА. Тогда все лучи, падающие на торическую поверхность, будут направлены нормально к ней и после отражения от торической поверхности пойдут в обратном направлении. По интерференционной картине с помощью объектива 8 определяют качество поверхности с точностью 0,05 - 0,15,як.Для контроля торических поверхностей колец упорных шарикоподшипннков в плоскости кольцевого изображения установлена коллективная линза 10 (фиг. 2), .не изменяющая диаметра кольцевого изображения, но огклоняющая пучки лучей в нужном направлении. В качестве коллективной линзы можно применять сферическое выпуклое плп вогнутое зеркало (фиг. 3 и 4) соответственно для контПодпнснопппстров ССС Тираж 480 по делам изобретений н открытий прн Со Москва, Ж-зо, Раушская наб., д. 4/5каз 2389/12ИИИПИ Комнт ографня, пр, Сапунова,роля торических поверхностей внешних и внутренних желобов колец шарикоподшипников. Аналогично котролируются и выпуклые торические поверхности (фиг. 5).Для изменения диаметра кольцевого изображения в небольших пределах с целью юстировки рабочей ветви интерферометра плоско- коническая лииза 7 может устанавливаться в сходящемся пучке лучей после объектива 8 (фиг. 6) и перемещаться вдоль оси.Диаметр кольцевого изображения АА зависит от фокусного расстояния объсктива 8 и плоского угла при вершине конической линзы. Поэтому предлагаемый интерферометр позволяет контролировать торические поверхности, параметры которых меняются в весьма широких пределах, путем замены объектива 8 или изменением его фокусного расстояния, при этом используется одна и та же коническая линза. Таким образом, предложенный интерферометр, помимо высокой точности измерений, имеет широкий диапазон измерений. 5 Предмет изобретения1. Интерферометр для контроля качестваполированных торическпх поверхностей, выполненный по схеме интерферометра Майкельсопа, отличаощийся тем, что, с целью 10 одновременного контроля всей торпческой поверхности, в рабочей ветви интерферометра установлены объектив с переменным фокусным расстоянием и коническая линза в сходящемся пучке лучей после объектива.1 2. Интерферометр по п. 1, отличаощийсятем, что, с целью контроля торических поверхностей, ориентированных различно относительно кольцевого изображения, в плоскости кольцевого изображения установлена коллектив ная линза или сферическое зеркало.