Интерферометр для контроля погрешностей формы вогнутых сферических поверхностей

О П И С А Н И Е 11,56 б,Р 0ИЗОБРЕ е ЕНИЯ Союз Советскии Социалистических Республик9/02 рисоеди ем заявки осударстоениыи комитетСовета Министров СССРпо делам изооретеиийи открытий(45) Дата бликования описания 19,08,77 А. Зверев, П, В, Орлов, С. Л, Родионов М, Н. Сокольский и В, К. Кирилловский(72) Авторы изобретения 1) Заявите 54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОГРЕШНОСТЕ ФОРМЫ ВОГНУТЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙИзобретение относится к области измерительной техники и может быть исполь зовано для оценки погрешностей формы вогнутых сферических поверхностей,Известно устройство для контроля погрешностей формы вогнутых сферических поверхностей, например, неравноплечий ин- терферометр, построенное по двухпучевой схемеи содержащее эталонную и рабочую ветви.Недостатком данного устройства является его невысокая стабильность и чувствительность к вибрациям и изменению температуры окружающей средвт.Известен также интерферометр дпя контроля погрешностей формы вогутых сферических поверхностей, содержащий осветитель, посл,довательно установленные по ходу луча объектив, рассеивающую пластинку, устанавливаемую в центре кривизны и симметрично оптической оси контролируемой поверхности, и наблюдательную оптическую систему, плоскость изображения которой оптически сопрягается с контролируемой повер хи остью. нного устройства являерферограмме фоновойщей из-за использоваНе достатком дая наличие на инт асветки, возникаюия пропускающейЭто затрудняет раснижает точност пластинки.рферограмм ссеиваю шифровку ин измерений.мого изобре ения яврений. лью предла ляется повышени Поставленная точности изм ль доститается тем,снабжен, сферическимторого совпадает с точосветителя,а рассеиваюо интео ер еркалом, центр кым изображениемщая пластинка вып нена отражаю На чертеже изображена схе15 лагаемого интеоферометра,Интерферометр содержит осветитель 1,о 9 ьектив 2, отражающую рассеивающуюпластинку 3, устанавливаемую в центрекривизны зеркала 4, сферическое зеркало20 5 с отверстием, расположенное так, чтоего центр совмещен с тсчечным источником О, В оптическую схему интерферометра входит наблюдательная оптическая систма 6, состоящая из плоского зеркала и2. двояковыпуклой линзы, которая переноситизображение интерференционной картины в плоскость наблюдения 2, где интерференционная картина анализируется.Работает устройство следующим образом. Свет иэ осветителя 1 проектируется а точку О и далее, проходя объектив 2, нв, рассеивающую пластинку 3, В каждой точке пластинки " происходит разделение светового .луча на две составляющие: нерассеяннуюстроящую изображение источника О в точ-, ке О, и рассеянную ЕЕ, освешаюшую контролируемую поверхность зеркала 4 в любой точке, в том числе и в точке К. Точка 0 находитя в вершине контролируемой псверхности зеркала 4, а центр рассеивающей пластинки 3 находится на оптической оси контролируемой поверхности и совмещен с центром ее кривизны. (Отражение без рассеяния обозначено на чертеже белой стрелкой, а отражение с рассеянием - черной). После .отражения от зеркала 4 основной и рассеянные лучи 1 и 11, исходящие из одной точки, например из точки В рассеивающей пластинки 3 возвращаются на рассеиваюшую пла-.Фстинку 3 в точку В ,симметричную точке В относительно. центра симметрии А пластинки 3.Далее луч, пришедший из точки К, разделяется йа нерассеянную составляющую П, которая направляется объективом 2 в тач-. ку К на поверхности зеркала 5, сопряженную с точкой К, и рассеянную составляющую ЕЕ, обладающую величиной второго порядка малости и создающую вторичный фон. Луч, пришедший от точки О в точку В , разделяется на нерассеянную состав 45 20фляюшую 1, которая строит изображение точки 0 в отверстии зеркала 5, и рассеянную. составляющую 1, один из лучей которой совпадает по направлению с лучом 11, т.е. попадает в точку К . Таким обра 1зом, в точке К интерферируют лучи 1 и 11, Аналогичным образом в других точках на поверхности зеркала 5 происходит интерференция лучей, отраженных от других точек контролируемого поверхности зеркала 4 с лучами, отраженными от точки О,(Интерференционная картина, созданнаяна поверхности зеркала 4 с помощью наблюдательной оптической системы 6, переносится в плоскость наблюдения 7, где она анализируется. По виду интерференцион.ной картины определяются ошибки формы контролируемой поверхности.в формула изобретенииИнтерферометр для контроля погрешностей формы вогнутых сферических поверх 2 Б ностей, содержащий осветитель, последовательно установленные по ходу лучаобъектив, рассеиваюшую пластинку, устанавливаемую в центре кривизны и симметрично оптической оси контролируемой по 30 верхности, и наблюдательную оптическуюсистему, плоскщуь изображения которойоптически сопрягается с контролируемойповерхностью, о т л и ч а ю ш и й с ятем, что, с целью повышения точности изМ мерений, он снабжен сферическим зеркалом,центр которого совпадает с .точечным изображением осветителя, а рассеивающаяпластинка выполнена отражающей,564520 Редакт дпнсноеМинистров СС Заказ 2135/206 Тираж. 907 По ЦНИИПИ Государственного комитета Совета. по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская н