Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических поверхностей вращения

)5 6 01 В 11/24 ТЕНИ ии регистрина точность Оптикомеха, М 6,Интерфероества астроеханическая с.17-20, КОНТРОЛЯ ЕСКИХ ПОизмерительля контроля ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Аганин А.В.Влияниедисторсрующей ветви интерферометраконтроля оптических деталей.ническая промышленность,с.45-48.Пуряев Д.ТГоршков В,А.метр ИКАПдля контроля качномических зеркал. Оптикомпромышленность, 1980, М 12,(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯФОРМЫ ВОГНУТЫХ ОПТИЧВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ(57) Изобретение относится кной технике, предназначено д Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля формы вогнутых оптических поверхностей вращения.Известны интерферометры для контроля формы вогнутых оптических поверхностей вращения. Общий недостаток интерферометров заключается в том, что интерференционная картина, наблюдаемая в плоскости регистрации, искажена дисторсией рабочей ветви.Наиболее близким к предлагаемому интерферометру по технической сущности и решаемой задаче является интерферометр ИКАПдля контроля качества астрономических зеркал. Интерферометр содержит осветительную, эталонную, регистрирующую ветви, рабочую ветвь с компенсатором и разделительный элемент. формы вогнутых оптических поверхностей вращения, Целью изобретения является повышение точности контроля. Пучок лучей, вышедший из лазера, преобразуют в параллельный пучок лучей, который светоделителем разделяется на два пучка: эталонный и рабочий, В рабочей ветви расположен компенсатор, выполненный из афокального и положительного менисков, и контролируемая поверхность, отразившиеся от которой лучи света образуют рабочий волновой фронт. О качестве контролируемой поверхности судят по измерениям интерференционной картины, которая возникает в результате взаимодействия рабочего и эталонного волновых фронтов. 1 ил. Основные недостатки известного интерферометра заключаются в следующем, а Использование в регистрирующей ветви стандартного фотообъектива, который не О компенсируетдисторсию рабочей ветви интерферометра, приводит к искажению интерференционной картины в плоскости регистрации, В рабочей ветви интерферо" метра на компенсатор поступает сфериче- ъфР чч ский волновой фронт, Поэтому перед компенсатором стоит высококачественный объектив, формирующий сферический вол-д новой фронт, что накладывает дополнительные требования к точности изготовления объектива и юстировке рабочей ветви интерферометра,Целью изобретения является повышение точности контроля и упрощение конструкции.1768965 оставитель Н. Кулакова хред М.Моргентал Соколова Те Корректор П, Гереши едакт Заказ 3638 ТиражВНИИПИ Государственного комитета по113035, Москва, ЖПодписноебретениям и открытиям при ГКНТ СССаушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 10 Указанная цель достигается тем, что в рабочей ветви интерферометра установлен компенсатор, выполненный из афокального и положительного менисков, установленных с зазором и ориентированных таким образам, что их вогнутые поверхности обращены к светоделителю, а объектив регистрирующей ветви выполнен в виде пласковыпуклой линзы с фокусным расстоянием 0,70,8 фокусного расстояния компенсатора и ориентированной так, что ее выпуклая поверхность обращена к регистратору интерференционной картины.На чертеже показан интерферометр, схема его применения и ход лучей в нем, Здесь; 1 - осветительный блок 2 - светоделитель, 3 - компенсатор, 4 - контролируемая поверхность, 5 - эталонное плоское зеркало, 6 - объектив, 7 - плоскость регистрации.Интерферометр действует следуюшим образом,Осветительный блок 1 преобразует пучок лучей, вышедший иэ лазера, в параллельный пучок лучей требуемого диаметра, который поступает на светоделитель 2 и разделяется на два пучка. Один из них идет в эталонную ветвь интерферометра, в которой расположены компенсатор 3 и контролируемая поверхность 4. Лучи света, отразившиеся от эталонного плоского зеркала 5, образуют эталонный волновой фронт. Лучи света, отразившиеся от контролируемой поверхности, образуют рабочийволновой фронт. О качестве контролируемой поверхности 4 судят по измерениям5 интерференционной картины, которая возникает в результате взаимодействия рабочего и эталонного волновых фронтов,Объектив 6 проецирует интерференционную картину на плоскость регистрации 7.10 Формула изобретенияИнтерферометр для контроля формывогнутых оптических поверхностей вращения, содержащий последовательно установленные осветитель и светоделитель15 светового потока на рабочий, в котором установлен компенсатор, и эталонный с размещенными в нем зеркалом ипоследовательно установленные объектив,оптически связанный с зеркалом и компен 20 сатором через светоделитель, и регистраторинтерференционной картины, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышенияточности контроля, компенсатор выполнениз афокального и положительного мени 25 сков, установленных с зазором и ориентированных так,что их вогнутые поверхностиобращены к светоделителю, а объектив выполнен в виде плосковыпуклой линзы с фокусным расстоянием 0,7-0,8 фокусного30 расстояния компенсатора и ориентированной так, что ее выпуклая поверхность обращена к регистратору,