Стекло

95 АНИ Сеоз Советски Сециавистическик РеспубликЗОБРЕТЕп АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ ополнктельное к авт. свил-ву -1)2479259/29-3(22) Заивлено 25,04,77 3/ пением заявки Ясударстнеиный коинте СССР о делам изобретений н открытий(23) ПриорОпуб ет 04,79, Бюллетень К 66,112,:7(088.8) ковано публикования описания 3(104 72) Авторы нзобретения.Чичинадзе Змвитель Институт кибернетики Академии Наук Грузинской ССР 54) СТЕКЛ 0,1- 0 4 - б 4,5- б0,01- 0 тками указанн ичный от фосфи обретения - .ра ва стекла для вых приборов н ия, которые бу СаР КТР и даст ьтй спай с приб тигается тем, вес.В: ЛХОБт етение относится к стеко нности, а именно к саста мым для защиты активной роводниковых приборов, и ых из кристаллов фосфида внешних воздействий.тно стекло, включающее в льнойвам,час- эгогал Г 21,1,5О у".5 0,5 -0,2 б 5 - 7 8,5 - 20,5 4,5- 6,5 1,5- 2 7 -55 5 -35 4 -12 0,5 в 3 1)к предстекло е близким изобретен в вес,Ъ: 48 8о остав ляетс 2 1 ИО 221 - 4При введении в составстекла окислов серебра и-0,01-0,3 р Ад,02-0,2 вестановится светочувствитеминесцентным (при освещенстекла ультрофиолетовымисветофильтром УФСнаблюсинее свечение), что дает 0,5- 3 б - 22 4 - 6 1,5- 4 ,01- 0,3 0,8- 1,8 0,1-0,3 1.1 гп Сп Изобпромышлприменяти полутовленнлия, отИзвевес.%:Б 102А 1гго,1,а,ОСао Иа 2 0ХОНайболоженномвключающБЮ,А 12 О,Иа О Лодебадзе, М.И.Бродзели, Г.А.Накашидзеи Л,Г,Игебришвили Недоста ляется отл Дель из кого соста проводнико фидов галл близкий к куумоплотн Это дос содержит в в Б о,В 20 ИаО,1 (2 ых стекол явда галлия КТ эработка тазащитыполуа основе фос дет иметьнадежный ва орами.что стекло укаэанного церия (Сео4 сЪ) стекло льным и люии такого лучами с дается ярковозможностьприменять его как фотоситалл, то естьнаносить и вытравлять на стекле щели определенных размеров и конфигураций.При введении в состав вышеуказанного стекла лишь определенных количеств ионов серебра (А 9-0,02-0,2 5вес.Ъ), после наводки при температурео580-660 С, стекло приобретает яркуюоранжевую окраску,Данное стекло как с добавками, таки без них дает вакуумноплотный спай 10с молибденовым стеклом ЗС, ЗС-2 и ЗС,Температура варки стекла 1350-1420 С, продолжительность варки 2,5-5 час.;температура обжига 480-540 С,5температура размягчения - 520-580 С,температура спаивания с СаР 560-590 СЕсли при варке указанного стеклабудет наблюдаться выделение вторичной мошки, то ее следует охлаждать от 20температуры варки до температуры эатвердения, медленно со скоростью50 град./час, после чего получают однородное стекло с блестящим коллером:шихту следует составлять с применением окислов, карбонатов и нитратов,Проваренное и обоженное стеклоимеет КТР с(. в ц равное 5,1-6,2.10град-. , удельное электрическоесопротивление 10" - 10 ом.см.Стекло хорошо смачивает поверхность СаР и дает с ним вакуум-плотный надежный спай при температуре560-590 С. Стекло хорошо обрабатывается газовой горелкой.Спай стекла с ( аР можно получить 35известными способами. Пленки из стекла можно получить как с применениемионна-плазменного распыления, так иметодом выдувания, а более толстыепластинки - с толщиной более 0,1 мм, 40шлифовкой и полировкой, В последнемслучае спаивание целесообразно проводить с применением вакуумной устанонки при давлении 10 -10 мм рт,ст.Изобретение поясняется примерами, 45П р и м е р 1. Стекло содержащее(в вес. Ъ): 8102 -551 ВО -15; Ь 1 э 0-6,А 1 аОз 10 ЕгО -4; ХО -2; К 20 -5;НаО -3 варят в алундовых тигляхемкостью 100 мл в силитовой печи притемпературе 1400 С; продолжительностьварки 3,5 час., среда - слабо восстановительная, Окислы лития, калия инатрия в шихту вводят в виде карбона 1 ав, ВО - в виде борной кислоты,остальйые компоненты в виде окислов 55марки "г" или "гЭА".При 1400 С производят отлив стеклав специальные Формы, полученные образцы обжигают в муфельной печи при520 фС в течение 8 час. с выдержкой, 60при максимальной температуре,0,5 ч КТРб.о оо полученного стекла51-5410 град. , электрическоесопротивление приблизительно5.10 ом.см., химстайкость 1 - гидравлический класс. Иэ обоженного стекла, методом выдувания получают пленки с Й - толщиной 0,1 мм и при температуре 590 С вместе с кристаллом ОаР помещают в муфельную печь. При 590 С происходит спаивание стекла с БаР.П р и м е р 2, Стекло состава (вес.Ъ)". 810 -47; Ва 0 -35; 110 -2; А 12 э 11Ег 2 1: К 0 - 2, )2 а 2 ИО -1,5 варят в алундовых тиглях емкостью 100 мл в силитовой печи при температуре 1380 С, продолжительность варки 3,5 час., среда слабо-восстановительная.При 1380 С. производят отлив стекла в металлические Формы и полученные образцы обжигают в муфельной печиопри 500 С в течение б час, с выдержкой при максимальной температуре в течение 0,5 час. Астекла49-51.10 град".1 , электрическое сопротивление 9.10 ом,см.Стекло дает вакуумноплотный надежный спай с СаР.П р и м е р 3. Стекло, содержащее в вес.Ъ: Я 3.0 -47, ВО -35, 1,1 0 в .2, А 1 0 -11, ЕгО, -1, К,О -2, Ма 0 -0,5, ХОЪ -1,3 с добавкой 0,1 Ъ СеОЕ и 0,1 Ъ Ау , варят и обжигают по описанному выше режиму. Добавки церия и серебра на величину КТР стекла влияют незначительно, но делают его фоточувствительным. С применением шаблона, нанесенного на отполированную пластинку иэ укаэаннога стекла (с размерами 20 х 20 мм и толщиной 0,1 мм) и ультрафиолетового освещения (лампа РВК в , 1, фильтр - УФС) на поверхность образца можно нанести скрытое изображение, которое после термической обработки (при 590 С) выявляется в виде закристаллизованных участков с конфигурацией шаблона. Такие участки можно удалять известными способами (с применением НР). Такие пластинки тоже дают надежный спай с СаР - при 590 С.При покрытии полупроводниковых приборов защитным слоем из данного стекла в несколько раз увеличивает их срок работы и повышается надежность.формула изобретения1. Стекло., включающее 810 , ВО,2 фА 1203, Наго, К 20, Ь 120, Ж 03, о т - личающееся тем,что,сцелью получения вакуумплотного спая с Фосфидом галлия, оно дополнительно содержит Ег 02 при следующем соотношении компонентов в вес.Ъ:8101 47 -55ВОз 15 -35А 20 З 4 -12Иа 20 05-32 - 52 - б1 - 2Ег 01 1 - 4Заказ 2110/3 Тираж 555 ПодписноеНИИИ 1 И 1 осударственного комитета ГСГРделам изобрете ний и открытий11303 , Москва, ",-35, Рауиская набд.4/5филиал 1111 И1 атен, г. Ужго 1 од, ул. Проектная,2,Стекло по п.1,о т и и ч а ю щ ее с я тем, что, с 1 елью получения2 крааенного стекла при термообработкеоно дополнительно содержиг Ац 0,02-0,2 вес.,Ъ,3, Стекло по п п. 1 и , о т л ич а ю ш е е с я тем, что, с цельюполучения фоточувствительного стекла,оно дополнительно содержит СеО 0,01 --0,3 вес%.Источники информации, принятыево внимание при экспертизе1,Авторское свидетельство ГССРР 503826, кл. С 03 С 3/10, 1976.5 2, Авторское свидетельство СГСРУ 520333 кл С 03 Г 3/04, 1976,