Устройство контроля контактирования

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциал истицескихРеспублик(51) М, Кл. 23/О 1/О соединением за 01 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий(43) Опубликовано 05,12,76,Бюллетень 4 (45) Дата опубликования описания 25.03,7 53) УДК 621.316, .58 (088,8)(5 ТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ КОНТАКТИРОВАНИЯ Изобрете ке, а именн чия контакт е относится к микроэлектрони к устройствам контроля налимежду выводами измеряемой схемы и контактами контактовсем тп тм интегральнора измеритерудования,Известнь на вх татов Ньного или испытательного обоаличия устройства контроля н жду выводами приборов и сооти двойными контактами ко ых контроль осуществляе ния коммутатором всех д в в одну последовательную пь, замыкающими звеньями коств контактов ме ветствуюшим тора, в котор путем включе ных контакто трическую це торой являют ющим анализ нтактся щ вой- элекизмери- контактмы с потд оды приборов, с последуояния образовавшейся лем ным ися вы ом с мощь ки 5 цепи тройства является лько о наличии илиуказании качестнтактов.ества контактирова рушения контактов снабжено анализаконтактирования, ром поочередно ко нэпрольные я проак од ель 2 может имет ак и двухпроводные линии обратной свя ества контактов ком тся устройство 9, к олнено в виде одног мого коммутатором контролируемому двзмерит измер и 7. Длмутато линии 6 и ерки качодключае ыть вып м ож орое анализатор поойному подключае к каждому Недостатком этого ус то, что оно информирует т отсутствии контактов без ва и места отсутствия кС целью контроля кач ния с указанием мест на предлагаемое устройство тором контроля качества подключаемым коммутат контролируемым двойным контактам,лненным в виде измерителя сопротивлемалых величин с усилителем, соединенс пороговым устройством, включеннымод блока логической обработки резульизмерения.а чертеже представлена схема устройи его подключение, например к зондостановке для функциональной проверкиосхем на пластине,Функциональная проверка микросхемы 1емниевой пластине до ее разрезки наьные кристаллы производится2, который подключается клошадкам 3 измеряемой схею двойных зондов 4 зондовой установ такту, либо из нескольких автономных анализа-оров, число которых равно числу контролируемых контактов, подключаемых коммутатором одновременно. Анализатор представляет собой, например, четырехточечный изме- Ьритель сопротивлений малых величин,которыйподсоединен к контролируемому контакту вдвух спаренных точках 10 и 11 с операционным усилителем 12, формирующим сигнал.При таком включении точка 10 имеет прак-тически нулевой потенциал, благодаря чемуконтроль места контактирования осуществляется при нулевом потенциале на выводе 3микросхемы, что исключает возможные повреждения микросхем при контроле контактирования,Кроме того, для предотвращения попадания на вывод микросхемы высокого напряжения от источника 5, которое может привестик пробою микросхемы при плохом контактесо стороны половины зонда 4, включенной вточке 10, анализатор имеет ограничительноесопротивление 13, включенное параллельноизмеряемому переходному сопротивлению доконтактов коммутатора 8, В случае необ -ходимости иметь предварительный уровеньнапряжения, на фоне которого измерялосьбы падение напряжения, соответствующееконтролируемому переходному сопротивлению,в анализатор включено сопротивление 14. ЗОАнализатор имеет усилитель 15, которыйподнимает выходной уровень напряжения операционного усилителя и компаратор 16,представляющий собой пороговое устройство,вырабатывающее логический сигнал. Логичес-укие сигналы поступают в блок 17 логической обработки результатов измерения и выработки соответствуюших команд. Для оценкиправильности работы устройства 9 служитинформатоо 18, Источники питания Е могут 40быть как постоянного, так и переменного,напряжения. В случае одновременного подключения нескольких анализаторов каждыйиз них должен иметь свой источник питания,что устраняет взаимное влияние анализато бров друг на друга при проверке контролируемых цепей, Зтим исключаются возможныеповреждения микросхем при контроле и перетеие токов, что могло бы привести кнеправильному контролю.ЯУстройство контроля качества контактирования выполнено на интегральных схемах,а коммутатор устройства выполнен на герметизированных контактах с электромагнитным управлением.Устройство работает следующим образом.От измерителя 2 подается команда напуск зондовой установки 5, в результатепроисходит контактирование зондов 4 с контактными плошадками 3 микросхемы 1.Пос- ф, 60 ле контактирования из зонцовой установкиподается команда на подключение устройства 9. Логический блок 17 выдает командуна включение коммутатора 8, В случае применения нескольких анализаторов коммутатор подключает их одновременно, в результате такая схема проверки обладает большимбыстродействием, Если используется одинанализатор, то коммутатор подключает егопоочередно ко всем исследуемым местамконтактирования, После срабатывания коммутатора 8 устройство 9 подключается к зондам 4. От источника Е напряжение подаетсяна зонды и на операционный усилитель 12.Усилитель 12 является преобразователемпереходного сопротивления, возникающегов месте контактирования зонда 4 с контактной площадкой микросхемы в напряжение,пропорциональноевеличине переходного сопротивления. Сигнал, сформировавшийся в операционном усилителе 12, поступает в усилитель 15, который поднимает уровень сигнала и подает его на компаратор 16, Здесьпроисходит сравнение пришедшего сигнала сопорным сигналом, Если величина переходного сопротивления в месте контактированиялежит в диапазоне от нуля ом. и до заданной величины, значение которой задаетсярегулируемым уровнем порога срабатываниякомпаратора 16, то уровень сигнала с усилителя 15 ниже уровня порога срабатываниякомпаратора, и последний не включается,т.е. в этом случае на выходе компараторавырабатывается логический сигнал, соответствующий хорошему качеству контакта.Логические сигналы со всех компараторов подаются в суммирующее устройство -блок 17 логической обработки результатовизмерений и выработки соответствующих команд. Если все логические сигналы соответствуют хорошим контактам, то блок 17 выдает команду на включение измерителя 2для проверки микросхемы 1, предварительно подав команду на коммутатор 8 для отключения устройства 9. Величина переходного сопротивления,на которое настраивается порог срабатывания компаратора 16,выбирается такой, чтобы практически исключалосьвлияние ее на точность измерения параметрамикросхем,После окончания измерения микросхем 1измеритель 2 снова подает команду для перехода зондовой установки 5 на следующуюмикросхему. Если же величина переходногосопротивления хотя бы в одном из контролируемых контактов равна или выше заданной,то уровень сигнала с усилителя 1 5 в одномиз анализаторов превышает уровень порогасрабатывания компаратора 16 и последнийвыдает логический сигнал, соответствуюший5плохому контакту, В этом случае в автоматическом режиме работы устройства 9 блок 17 вырабатвюает команду для переконтактирования зондовой установки с данной микросхемой.Формула изобретения1. Устройство контроля контактирования 10 выводов исследуемого объекта с двойными контактами контактора, содержашее коммутатор, блок логической обработки измерений иинформатор, отлич аюшееся тем, что, с целью контроля качества контактиро- Я вания с указанием мест нарушения контактов и повышения надежности работы устройства, оно снабжено анализатором контроля качества контактирования, подключаемым коммутатором пээчереднэ кэ всем кэнтрэлируемым двойным контактам,выпэлненным в виде измерителя сопротивлений малых величин с усилителем, соединенным с пороговым устройством, включенным на вход блока логической обработки результатов измерения,2, Устройство по п, 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что оно снабжено несколькими одинаковыми автономными анализаторами контроля качества контактирования, подключаемыми коммутатором одновременно, число которых равно чиспу контролируемых мест контактирования.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Прибор РС 2 778005, тип НР 10, разработка ЛНПО "Красная заря".