Мшцшышмешдябиблиотека

О П И С А Н И Е 337674ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республикисоединением заявкиКомитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРПриоритет публиковано 05.Ч.1972. Бюллстснь15 ата опубликования описания 31 Х.1972 Ъ ДЬ, 621.38 о.002(088.8 авторытзобрстсци А. И. Пипко,исковский, И. В. Златкис и Л. Н. Шелихов Заявитель ВСЕСОЮЗНАЯ БИБЛ 1 тОТЕЯА СПОСОБ О ДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ Г В ВАКУУМНОМ ОБЪЕМ ВЫД ЕЛ,ЕН 2 1 6 давления, сигла вакууметр 7, а нтегратор 8. Часть чающая насос 5, го прибора 1 вецт датчико поступает тронный 1 емы, вклю исследуемо рибора в вакуумной си давление Р:. При зак фиксированный проме лированной части ваку оны насоса 5 давление ну теме ытии жуток мной снимакс = Ра - Р 1 мин точное давление в насосегде Р - при закрытоВ изолирсо стороны лекция произ 20 личину та м вен ованн прцб ой,де тиле 9.ой части вакуумцои системы езульгате газовыдетие давления на веповыш чмаиПри быстром опкрытии промежуток времени Л(,в людаться цестациоцарный рцзующийся повышением чину вентиля 9 тотеме буде процесс, ха авлеция ца через наба,ктепкачка вакуу производитсянасосом 4 пре ысоковакуумн я,насосом 5. Д Предварительная обора 1 1 см, фиг, 1)тиль г и ловуш у Зного разрежения. Вприбора производитс тного причерез вен- дварителья откачка авление в 2 макс - Р 2 макс Рзограниченная кривой измене- ЛР и горизонтальной линией,адь Р ленця О пця Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению газовых потоков в вакуумных объемах,В известном опособе определения скорости газовыделения, при котором измеряют исходное давление, установившееся,в вакуумной системе, содержащей исследуемый объем, вентиль и датчик давления, имеет место малая чувствительность измерений.По предлагаемому способу, с целью повышения чувствительности измерений, участок вакуумной системы с датчиком давления непрерьино опкачивают, интегрируя выходной сигнал датчика.На фиг. 1 представлена принципиальная блок-схема поста откачки электровакуумного прибора; на фиг. 2 показана динамика изменения да 1 вления в вакуумной системе уточки А и В соопветствуют началу закрытия и открытия высоковакуумного вентиля; кривая 1 характеризует изменение давления,в объеме откачиваесмого прибора; кривая 11 - изменение давленця под вентилем; кривая 111 - изменецие давления в области датчика давления). системе измеряюнал с которогозатем - на элеквакуумной сист5 изолируется оттилем 9.соопветствующей значению остаточного давления Р характеризует количество газа, откачиваемого насосом 5 после закрытия вентиля 9 до установлеьгия,давления Р,.М НПлощади Рь и Р 2, ограниченные,кривои изменения давленияК 2 Р = Р - Рьи горизонтальной линией, соопветствуьощей давлению Рз, характеризуют количество на топленного в течение промежутка времени Л 1 газа, откачиваемого насосом 5 помысле открытия вентиля 9. Текущая разность давлений15ЬР=Р - Рхарактеризует изьменение давления в объеме прибора 1.Измерение скорости газовыделения производят следующим обр азом. 20Измеряют установившиеся в системе давление Рз датчиком 6. Затем закрывают,вентиль 9 на фиксированный промежуток времени М и, .измеряя с помощью того же датчика 6 новое установившееся давление Рь, опре деляют разность давления1 Рмакс - РЗ - ь минОдновременно, интегрируя выходной сигнал датчика 6 с,помощью электронного интегра тора 8, определяьот площадь Г(ЬьР), Затем отрывают вентиль 9 и с помощью датчика 6 и тото же интегратора определяют площадь Гь (,ЛР) .Зная объем вакуумной системысо стороны насоса 5 до вентиля 9, искомую .величину скорости газовыделения Я находят по уравнениюр 11 Рмакс 1 ИаР)д гдеПредмет изобретенияСпособ определения скорости газовыделения в вакуумном объеме, например,в вакуумном приборе на откачном посту, цри котором измеряют исходное,давление, установившееся в вакуумной системе, содержащей исследуемый объем, вентиль и датчик давления, изолируют исследуемый объем от участника с датчиком давления на фиксированный промежуток времени, по истечении которого исследуемый объем подсоединяют к вакуумной системе и,повторно изьмеряют давление, отличаюиийся тем, что, с целью повышения чувствительности измерений, участок вакуумной системы с датчиком давления непрерывно откачивают, интегрируя выходной сигнал датчика,337674 мин брею 8,сею фю Составитель В. Мирошки актор А. Батыгин Техред Т. Курилко Корректор Л. Орлов пография, пр. Сапунова аказ 1414/14 Изд,62 Тираж 448НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СовМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Подписное Министров СССР