Плисковскнй

Номер патента: 337674

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Златкис, Пипко, Плисковскнй, Шелихов

МПК: G01L 23/00, H01J 9/385

Метки: мшцшышмешдябиблиотека

...интегрируя выходной сигнал датчика.На фиг. 1 представлена принципиальная блок-схема поста откачки электровакуумного прибора; на фиг. 2 показана динамика изменения да 1 вления в вакуумной системе уточки А и В соопветствуют началу закрытия и открытия высоковакуумного вентиля; кривая 1 характеризует изменение давления,в объеме откачиваесмого прибора; кривая 11 - изменение давленця под вентилем; кривая 111 - изменецие давления в области датчика давления). системе измеряюнал с которогозатем - на элеквакуумной сист5 изолируется оттилем 9.соопветствующей значению остаточного давления Р характеризует количество газа, откачиваемого насосом 5 после закрытия вентиля 9 до установлеьгия,давления Р,.М НПлощади Рь и Р 2, ограниченные,кривои изменения...