Устройство для изготовления полупроводниковыхприборов

Номер патента: 1671574

Опубликовано: 23.08.1991

Авторы: Завада, Масленков, Ярош

МПК: B65G 47/31

Метки: бракованных, гибкого, демонтажа, кристаллов, него, носителя, полупроводниковых, рамки-спутника, удаления

...4 подает рагку-спутник 1 на цневгодорогкУу 10 7 (фиг. 2) несущей плигы 6 цо с и г цлбо чую зону, где фиксиру гся уцорлл 10 таУ что край раглки-ступцка 1 находися н;д Окном 8 несущей цлиПод д:.йствис.л привода 21 под ру",;,я тр; .рса 22 с 45 закрепленныгл на н=и цус оногл 24 цо вор тйкальньм направляющим 23 псэреглещается вниз, Пуансон 24 ерег. ещаясь низ открыгяет край гибкоо с-,ситлля 1.1 от рс 1 ки-спутни, а 4 по;,аег о о в оунс 8 ц су "., "0 плиты 6 и пэрегибае с доль цар валиУОз 25 и 26 глеханизма 14 за атаибкого носится13 (фиг. 4), Отср: лци край гибкого ногителя 13 афпг, 2 О,и:" ый адгез;",цо поверхностью х цуэнсс у 24. воздушныгл 55 потоко,л из сопла 9 по 1 уцмается к паре валиков 25 и 26 гехаг 11 эслл 14 захвата гибкого...

Номер патента: 14754

Опубликовано: 31.03.1930

Автор: Минервин

МПК: G03B 27/04

Метки: аппарат, копировальный, негативов, пленочных, позитивов

...красная 5 и белая 6 электрические лампочки. В крышке, над средним отделением, прорезано прикрытое матовым стеклом 5 окно 4, выше которого между бортами 6, 6 крышки помещается на шарнире нажимная доска 7, запираемая между пазами посредством пружин 9, 9, входящих в петли 10, 10. На нижней стороне доски 7, в частях ее, расположенных над боковыми отделениями коробки, имеются прорезы 8, 8, под которыми в крышке находятся косые щелевидные отверстия 11, 11 а. Негативная и позитивная пленки, наложенные одна на другую, помещаются в левом отделении коробки, закрываемом дверцей 12, н пропускаются через отверстие 11 в пространство, образованное прорезом 8, которое служит для того, чтобы пленки могли свободно изгибаться. Затем обе пленки...

Номер патента: 1725704

Опубликовано: 20.09.1996

Авторы: Башевская, Белов, Заказнова, Колмакова, Рогов, Тюнькова

МПК: H01L 21/302

Метки: пластин, полирования, полупроводниковых

Способ полирования полупроводниковых пластин, включающий наклейку на каждый спутник трех пластин, размещение спутников в гнездах кассеты на полировальнике, воздействие на пластины вращающегося полировальника и абразивного состава при нагружении пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности обработки, обработку пластин ведут при линейной скорости точки полировальника, совпадающей с положением центра кассеты, от 1,4 до 2,4 м/с и давлении от 5 до 7 кПа, причем используют абразивный состав динамической вязкостью 4 8 сП.

Номер патента: 1792557

Опубликовано: 09.01.1995

Авторы: Башевская, Белов, Рогов, Смычникова, Тюнькова

МПК: B24B 31/00

Метки: пластин, полирования, полупроводниковых

...такжеразброс толщины по пластине.1 В процессе обработки пластин шламполупроводникового материала остается наполировальнике. Масло постепенно улету 15чивается с полировальника, особенно, еслипроводится обработка материалов группыА В (Станки снабжены вытяжной вентиляЧцией), Экспериментально установлено, чтопри продолжительности обработки 20-50мин стабильно поддерживается требуемаяплоскостность пластин арсенида галлия,При продолжительности менее 20 мип измерение плоскостности носит необъективный характер, т.к, количество снятого спластин припуска мало. Однако при этомвполне понятно, что масла на полировальнике вполне достаточно, и его количествопрактически не влияет на точность обработки пластин, Если продолжительность...

Номер патента: 1829770

Опубликовано: 10.04.1996

Авторы: Заболотская, Рогов, Савушкин, Смирнов

МПК: H01L 21/304

Метки: доводки, пластин, полупроводниковых

...маслом, затем на нем устанавливают зубчатые колеса 2 и 4 (е=З мм, =22, гэ=105), между которыми размещают четыре колеса-сателлита 3 (хг=38), обеспечивая зацепление между ними. В отверстиях 5 ко лес 3 размещают четыре спутника с пластинами, Прижимной диск 8 с прокладкой 11 совмещают с колесом 2, добиваясь размещения шпильки 9 в отверстия 10 колеса, Ось вращения прижимного диска 8 помещают в 30 направляющую штангу корпуса на расстоянии - 150 мм от оси вращения доводочного диска. Посредством кронштейнов 12, сохраняя равномерность перемещения колес- сателлитов 3 между колесами 2 и 4, внешнее 35 колесо 4 жестко закрепляют на корпусе 13устройства.Создают давление на пластины из расчета Р=6,0 кПа. Доводочный диск приводят во вращение с...