Пггхомов

Номер патента: 189097

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Бергман, Веннер, Готман, Михалович, Пггхомов, Петраковский

МПК: H01L 21/00

Метки: полупроводниковыхприборов

...закрепленной на нем заготовкой; на фиг. 2 представлено копировальное приспособление; на фиг. 3 показан эталон с растровой пластиной.Заготовку 1 в виде тонкой, чисто обработанной полупроводниковой пластины, с двух сторон которой па общей оси расположены призматические пазы 2, ставят на технологический спутник 3 и жестко закрепляют с помощью винтов 4 фиксаторами 6, входящими в пазы, В верхней части корпуса 6 копировального приспособления закреплен винтами 7 негатив 8, В рабочем положении заготовка 1 прижата к негативу пружинами 9, передающими давление на заготовку через кольцо 10, шарики 11, гнездо 12 и спутник 3.Точность совмещения заготовки с негативом обеспечивают сферическая головка фик сатора 13, входящая в конусное гнездо 14...