Способ соединения материалов на основе нитрида кремния

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 04 В 37 00 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Институт сверхтвердых материаловАН УССР(56) Авторское свидетельство СССРМ 1641793, кл. С 04 В 37/00, 1989.(54) СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ Изобретение относится к технологиисоединения керамических материалов.Известен способ соединения горячепрессованных материалов на основе нитридакремния (см. авторское свидетельствоСССР М по заявке М 4632990/33, 89 г. С 04В 37/00),Недостатком этого способа является ограничение возможности соединения нитридокремниевых материалов способомполучения керамики, Этот способ соединения применим лишь для керамики, получен-ной способом горячего прессования,позволяющим получать изделия только про- -стых форм.Целью настоящего изобретения является расширение технологических возможностей соединения нитридокремниевЫхматериалов независимо от способов получения, а также расширения номенклатуры-соединяемых изделий,Поставленная цель достигается тем, чтов известном способе соединения горячепрессованных материалов, включающем шлифовку соединяемых поверхностей, сборку,.,Ж 1763425 А 1(57) Использование: изобретение относится к технологии соединения керамических материалов. Сущность изобретения: способ включает шлифовку соединяемых поверхностей, сборку, предварительный нагрев в вакууме до 1200 - 1300 С со скоростью 10 - 30 град/мин и последующую термообработку при 1300 - 1600 С под давлением азота 10 - 200 МПа с изотеомической выдержкой в течение 1 ч. 1 табл. нагрев до температуры 1300-1500 С под давлением азота 10 - 200 МПа с изотермической выдержкой в течение одного часа, согласно изобретению после сборки соединяемых поверхностей осуществляют предварительный нагрев в вакууме до Т = =1200 - 1300 С со скоростью 10 - 30 С/мин,Нитридокремниевые материалы, полученные методом горячего прессования, в поверхностном слое содержат некоторую часть свободного кремния, для материалов, полученных другими способами (спекание, газостатическое уплотнение, компрессионное спеканиеи др.) это не характерно,Для реализации механизма соединения через синтез нитрида кремния при азотировании в режиме горячего прессования необходимо обеспечить химический состав поверхности нитридокремниевых материалов, полученных различными способами, близкий к тому, который получается после горячего прессования, т,е. обеспечить наличие на поверхности свободного кремния,Эта задача решается в процессе нагрева в вакууме до температуры 1200 - 1300 С40 45 откачивают воздух до вакуума 10 ат; после 50этого включают нагреватели. Нагрев осуще; .ствляют со скоростью 10-30 с/мин до температуры 1200 - 1300 С; затем в рабочуюзону газостата или печи высокого давления 55 со скоростью нагрева 10 - 30 С/мин, когданачинается диссоциация нитрида кремния собразованием свободного кремния.Указанные параметры позволяют получить в поверхностном слое изделий включения свободного кремния, Последостижения указанной температуры с заданной скоростью в рабочую зону нагнетают азот до требуемого давления споследующим выходом на температурныйрежим, обеспечивающий экзотермическуюреакцию синтеза, посредством которойпроисходит соединение.Следует отметить, что осуществлениенагрева в вакууме до температуры ниже1200 С не позволяет получить необходимуюконцентрацию свободного кремния в поверхностном слое, и в итоге соединение изделий не происходит.Нагрев в вакууме выше 1300 С обеспечивает восстановление необходимой частикремния, однако ведет с одной стороны кпорообразованию, что исключает возможность прочного соединения, а с другой стороны затрудняет или исключаетвозможность возгорания свободного кремния, из-за укрупнения частиц кремния, которое происходит вследствие коагуляциимелких частиц,Осуществление нагрева со скоростьюменее 10 С/мин ведет к порообразованиювследствие вовлечения в процесс диссоциации больших массивов приповерхностногослоя.При осуществлении нагрева со скоростью более 30 С/мин необходимое количество свободного кремния не образуется,поскольку нитрид кремния не поверхностине успевает диссоциировать.Способ осуществляется следующим образом.Изделия изготавливаются различнымиметодами (спекание, горячее прессование, газостатическое уплотнение и др,); соединяемые поверхности шлифуются: изделия помещают в тигель, накладывая друг на друга соединяемые поверхности; тигель помещают в рабочую зону газостата или печи высокого давления; из газостата или печи компрессорами нагревают азотдо давления 10 - 200 МПа; после этого повышают температуру до 1300 - 1500 С; осуществляют изотермическую выдержку в течение часа; охлаждают изделия вместе с газостатом или 5 10 15 20 25 30 35 печью; затем стравливают азот и вынимают монолитную конструкцию.Все остальные аспекты процесса идентичны способу-прототипу.П р и м е р. Проводили соединение двух образцов нитридокремниевой керамики, один из них получен методом высокотемпературного газостатического уплотнения, второй - методом спекания с последующей шлифовкой для получения требуемого размера.Образцы накладывали друг на друга, помещали в тигель, который вставляли в рабочую зону газостата, Из рабочей зоны откачивали воздух до вакуума 10 ат., после чего включали нагреватели. Нагрев осуществляли со скоростью 20 С/мин до температуры 1250 С. После этого компрессорами нагнетали азот до давления 100 МПа с последующим подъемом температуры до 1450 С с изотермической выдержкой в течении 1 часа, Затем со скоростью 10 С/с осуществляли охлаждение до комнатной температуры и стравливали азот, Вынутые из рабочей зоны образцы представляли собой монолитный материал, что подтверждено исследованиями на оптическом и растровом электронном микроскопах, мик- . рорентгеноспектрал ьном анализаторе,С тем же материалом проводили те же операции при граничных и при выходе за граничные значения заявляемых режимов, Данные сведены в таблицу.Предлагаемый способ позволяет повысить качество соединения. В способе-прототипе реакция происходит на контакте двух поверхностей горячепрессованных материалов с включениями свободного кремния различной дисперсности, поскольку при горячем прессовании изотермическая выдержка осуществляется под механическим одноосновным давлением без присутствия азота и создаются условия для островкового образования крупных поликристаллических образований наряду с мелкодисперсными кристаллическими включениями. В п роцессе реакции крупные включения кремния не успевают прореагировать, вследствие быстрого прекращения доступа азота в закрывающийся шов и сохраняются в нем. Это повышает вероятность хрупкого разрушения при долговременных циклических нагрузках, Предлагаемый способ, применяемый для нитридокремниевой керамики, полученной любым способом, свободен от этого недостатка, поскольку материалы, полученные спеканием или газостатическим уплотнением, практически не имеют свободного кремния. Его появление1763425 Название объекта ис- следований ММ и/и Скорость предварительногонагрева6 Темпе рату- Давление ра изотер- изотермичемической ской вывы е жки е жки Температура предварительго наг ева Результаты опытаСпособ попрототипу 100 1400 нет соединения однородное соединение с включениями к емния 1400 100Взяты два горячепрессованных образца нитридокремниевой керамики аналогичногосостава,Составитель П. КислыйТехред М.Моргентал Корректор Е. Папп Редактор А. Кулакова Заказ 3427 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 на поверхности изделия контролируется параметрами предварительного нагрева.Предлагаемый способ позволяет реализовать все преимущества прототипа перед аналогами для всего круга нитридокремниевых материалов в отличие от узко ограниченных горячепрессованных в прототипе, Таким образом возникает возможность соединения крупногабаритных, сложнопрофильных изделий, которые методом горячего прессования получить невозможно, поскольку здесь осуществляется одно- основное приложение давления и возможные только простые плоские формы, а для спекания предварительно сформованных изделий никаких ограничений формы нет. Кроме того свойства материалов, полученных методом высокотемпературного газостатического уплотнения, а в ряде случаев и другими методами выше, чем после горячего прессования. Таким образом экономический эффектпредложенного способа по сравнению с прототипом опосредован через применение новых техйологий изготовления состав ных частей из нитридокремниевойкерамики и снижения доли обработки, необходимой для получения требуемой геометрии изделия. 10 Формула изобретенияСпособ соединения материалов на основе нитрида кремния, включающий шлифовку соединяемых поверхностей, сборку, нагрев до 1300 - 1500 С под давлением азо та 10 - 200 МПа с изотермической выдержкой втечение 1 ч, отл и ч а ю щ и й ся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, после сборки соединяемых поверхностей осуществляют предваритель ный нагрев в вакууме до 1200-1300 С соскоростью 10 - 30 град/мин.