Способ соединения сапфира с металлом

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК я)5 С 04 В 37/00 БРЕТЕН ЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ К АВТОРСКОМУ СВИД(56) Рубашев М.А, и др, Термостойкие диэлектрики и их спаи с металлом в новой технике,М.: Атомиздат, 1980, с, 221;Авторское свидетельство СССР М 1437360, кл. С 04 В 37/00, 1986, (54) СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ САПФИРА С М ЕТАЛЛОМ(57) Изобретение относится к химии и металлургии и может быть использовано г. ри разработке различных узлов: вакуумноплотных вводов, высокотемпературных датИзобретение относится к химии и ме-. таллургии и может быть использовано при разработке и изготовлении различных узлов: вакуумно-плотных вводов, высокотемпературных датчиков и т.п.иЦель изобретения - обеспечение стабильности характеристик изготавливаемых узлов и повышение выхода годных.Способ соединения сапфира с металлом реализуется следующим образом,На сапфировую подложку методом напыления или гетероэпитаксии наносят пленку кремния аморфной, поликристаллической или кристаллической структуры, После фотолитографии на пленке формируют требуемую топологию. Далее на слой кремния наносят методом вакуумного напыления слой диффузионно-активного металла, вЫ 1719375 А 1 чиков и т.д. Цель - повышение выхода годных и обеспечение стабильности характеристик изготавливаемых узлов, На сапфировую подложку наносится пленка кремния, Далее на области кремния наносится слой диффузионно-активного металла - алюминия, На подложку накладывают металлическую деталь с приплавленным слоем стекла. Предварительно поверхность стекла подвергается обработке пучком ионов инертного газа, Сборку нагревают до температуры 150 - 1200 С и подают электрическое напряжение 300 - 1.000 В в течение 5 - 10 мин. Получены соединения сапфира с металлом с выходом годных в среднем 50-700/. 1 табл. частности алюминия (А 1). Слой А 1 может на- ф носиться на подложку как локально с помощью масок, так и сплошным слоем на всю -а подложку, после чего необходимую конфи- О гурацию ему придают фотолитографией. После нанесения слоя металла подложку разделяют на элементы. На элемент накладывают металлическую корпусную деталь с приплавленным слоем стекла, Предварительно поверхность слоя стекла подвергают обработке пучком ионов аргона, поступаю- ъ щих из источника ионов, В качестве источника ионов может служить или установка ионного легирования, или установка плазмохимической обработки. Ускоренные ионы инертного газа, бомбардируя поверхность стекла, очищают ее от различного рода загрязнений и активируют ее за счет созданияв поверхностном слое стекла дополнительных дефектов, активирующих процесс диффузии пленки металла вглубь стенки, создавая тем самым дополнительный обьемный заряд, увеличивающий сцепление стекла с кремнием и толщину диффузионого слоя,Сборку помещают в установку электростатического соединения, где от источника питания подают постоянное напряжение 300 - 1000 В, при этом отрицательный полюс источника питания прикладывают к металлическому корпусу. а положительный полюс к полюсу металла сборки, Сборку нагревают до температуры активации диффузионных процессов 250-500 С. После достижения необходимой температуры на сборку подают электрическое напряжение 300-10000 В в течение 5 - 10 мин,Благодаря возникновению сильного внутреннего электрического поля между слоем стекла и слоем кремния и диффузии металлической прослойки в слой стекла получают неразьемное соединение сапфира с металлической деталью.П р и м е р. На пластины из монокристаллического сапфира с нанесенной гетероэпитаксиальной кремниевой пленкой (структуры кремния на сапфире - КНС) на вакуумной установке типа УРМ или УВН термическим методом наносят пленку А 1 толщиной 0,8 - 2,0 мкм. Далее формируют фоторезистивную маску и проводят последовательное травление слоев А в растворе НС и кремния в растворе КОН, В результате на упругом элементе формируют тензорезисторы, контактные площадки и проводники. Пластины алмазным кругом на установке скрайбирования разрезают на отдельные чувствительные элементы,Отдельно изготавливают металлостеклянные узлы путем приплавления слоя стекла, например С 48-1 или С 52-1 к окисленной пластине из ковара 29 НК с последующей шлифовкой и полировкой поверхности слоя стекла до 12-13 кл, чистоты. После очистки стеклоузлы помещают в установку ионного легирования "Везувий", Режимы обработки: 100 кэВ, ток пучка 1 мкА, время обработки 10-20 мин, Металлический корпус со стеклом, обработанным ионами, устанавливают на чувствительные элементы, совмещают слои стекла и слой А 1 между собой, осуществляют нагрев сборки до 450 С, подают напряжение 900 В в течение 10 мин. Нагрев осуществляют в контролируемой ат 10 как при бомбордировке ионами аргона производится очистка поверхности от мик розагрязнений и образуются свободные 40 20 25 30 35 45 50 55 мосфере - вакууме или инертном газе (азоте). После соединения узлы охлаждают и используют для дальнейшей сборки приборов или датчиков,Благодаря наличию пленки диффузионно-активного металла, наносимой на полупроводниковую пленку, и.предварительной очистке стекла ионами аргона, достигаются следующие преимущества: уменьшаются внутренние напряжения в зоне соединения корпуса с сапфиром, активируется диффузионная способность поверхности стекла, так атомные и молекулярные связи. Атомы А 1 пленки, имеющие большое сродство к сапфиру (А 20 з), не приводят к возникновению напряжений в кристаллической решетке сапфира, это обуславливает стабильность временных характеристик тензодатчиков во времени.Использование предлагаемого способа по сравнению с прототипом позволяет повысить выход годных в среднем с 20-40 до 50-70 о ,Данные приведены в таблице,Кроме того, обеспечивается стабильность характеристик узлов для тензодатчиков, повышается точность измерения на 10-15% за счет исключения релаксационных процессов в зоне соединения сапфира с металлом в процессе эксплуатации изделий (у прототипа сдвиг нулевого уровня составляет 20 - 25 оот номинального выходного сигнала, по предлагаемому способу 5-8). Формула изобретения Способ соединения сапфира с металлом, включающий размещение между соединяемыми поверхностями сапфира и металла компенсирующих прокладок из слоев кремния и приплавленного к металлу стекла, сжатие сборки, нагрев и приложение постоянного напряжения, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью повышения выхода годных и обеспечения стабильности характеристикузлов, на поверхности сапфира последовательно наносят слой кремния толщиной 1,5-5,0 мкм и перекрцвающий его слой алюминия толщиной 0,8-2,0, а присоединяемую к сапфиру поверхность стекла предварительно активируют путем обработки ее ионами аргона.1719375Составитель С. Кохэн Редактор Н. Киштулинец Техред М.Моргентал Корректор В, Гирняк Заказ 738 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101