Способ формирования рисунка в металлических пленках
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
)5 Н 05 К 3/10 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ К А(54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИ В МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ (57) Изобретение относится к э технике, в частности к способа РИСУ ектронно получени сится к электронной способам получения элементов и проводя- пленок, а также для еских печатных плат. Изобретение отн технике, а частности рисунка резистивных щих тонких и толсты металлизации керамиаюй 1 зобретения - расширение технох возможностей способа путемя номенклатуры получаемых рии обеспечении их точности,г.1, 2 и 3 последовательно показаии технологического процесса.агаемый способ формированияметаллических пленках осуществдующим образом,Цел огическ увеличени сунков пр ны операц Предл рисунка в ляется слевдют тонторой неПодложку-основание 1 покр кой металлической пленкой 2, в к обходимо получить рисунок (фигНа диэлектрическую подлож 3 наносят металлическую пленку(21) 4453737 (22) 04.07.88 (46) 15.03.9 (71) Москов СКИЙ ИНСТИТ (72) В,Г.Бл А,М,Василь (53) 655.1/: (56) Патент кл. Н 05 КЗ КОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ рисунка резистивных элементов и проводящих толстых и тонких пленок, а также для металлизации керамических печатных плит. Цель изобретения - расширение номенклатуры получаемых рисунков и повышение их точности. Способ заключается в нанесении сплошной металлической пленки на подложку, изготовлении шаблона с негативным изображением рисунка, совмещении шаб-, лона и подложки с пленкой и нагреве их в вакууме. При этом материал шаблона может образовывать легколетучие соединения с металлической пленкой. Нагрев осуществляют до температуры испарения легколетучего соединения, 3 ил. 4 методом фотолитографии вытравливаютрисунок. обратный рисунку схемы (фиг,1).Шаблон 3 накладывают на основание 1.всю систему помещают в вакуумную камеру(фиг.2) и подвергают отжигу. Материал 0 с,пленки подбирают в соответствии с диаг- ( )раммой состояния: материалы металлических упленок шаблона и основания должны образовывать легоколетучие интерметаллические соединения. В процессе нагрева ввакууме в результате взаимной диффузии Эобразуются интерметаллические соединения, которые возгоняются в вакууме, чтоприводит к удалению реагирующих пленок дв местах их контакта (фиг.3),Примеры конкретного выполнения приведены в таблице,гаемый способ позволяет р менклатуру получаемых рис ысить их точность и да1635292 Формула изобретенияСпособ формирования рисунка в метал лических пленках, заключающийся в нанесении на подложку сплошной металлической пленки, изготовлении шаблона с негативным изображением рисунка и формировании резистивных элементов, 10 о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью Пример 2 Пример 1 ПоликорНикель Поликор Никель Электронно-лучевой а 10 7,5 12,5 100 250-300 60 Поли кор Молибден Электронно-лучевой 2105 8 14 130-140 500-600 60 600 10Материал подложки- шаблонаМатериал пленки на шаблонеМетод нанесения пленкиРежимы нанесения; Р,мм. рт, ст,О,кВ1,А1 луча,мАоТ подл., СТнапыл. МинМатериал подложки-основанияМатериал пленки на основанииМетод нанесения пленкиРежимы нанесения: Р,мм. рт. ст.О,кВ1,А1,мАоТ подл., Стнапыл. МинТтерм., СТтерм., МИНРежимы отжига после наложенияшаблона на основание:., Стотж, минР,мм рт. ст.Образующиеся интерметаллическиесое инения расширения технологических возможностей путем увеличения номенклатуры получаемых рисунков при обеспечении их точности, формирование резистивных элементов выполняют путем совмещения шаблона и подложки с пленкой с последующим нагревом в вакууме, при этом шаблон выполнен из материала, образующего легколетучие соединения с металлической пленкой. а нагрев осуществляют до температуры испарения легколетучего соединения,1635292 фМР, 3 оставитель И, Королевехред М.Моргентал рректор С.Шекмар Редактор А, Маковска аказ 762 Тираж 510 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 10
СмотретьЗаявка
4453737, 04.07.1988
МОСКОВСКИЙ АВИАЦИОННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. К. Э. ЦИОЛКОВСКОГО
БЛОХИН ВАДИМ ГЕРГИЕВИЧ, ШИШКИНА ТАТЬЯНА ИВАНОВНА, КВОН ГЕОРГИЙ ЭРОВИЧ, ВАСИЛЬЕВ АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ, СЕЛЕЗНЕВ ВИКТОР АНДРЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H05K 3/10
Метки: металлических, пленках, рисунка, формирования
Опубликовано: 15.03.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1635292-sposob-formirovaniya-risunka-v-metallicheskikh-plenkakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ формирования рисунка в металлических пленках</a>
Устройство для измерения толщины пленок на металлических подложках
Номер патента: 947644
Опубликовано: 30.07.1982
Авторы: Бажин, Белик, Каменцев, Коржавый, Кулаков, Ступак, Файфер, Шестов
МПК: G01B 15/02
Метки: металлических, пленок, подложках, толщины
...нов, прошедших через гнализатор б, и представляет собой цилиндрический стакан с отношением длины к диаметру 5/2.Далее устройство содержит блок 7 питания, генератор 8 напряжения задержки, электрометрический усилитель 9, дифференциальный усилитель 10, двухкоординатный самописец 11, мишень 12 цил.ндрической Формы с измеряемой пленкой на внутренней поверхности, неподвижную штангу 13 корпуса измерительного преобразователя 1 и шток 14 держателя цилиндрической мишени 12.Лнализатор выполнен в виде трех- сетчатых диафрагм, внешние сетки соединены между собой и находятся под нулевым потенциалом относительно измеряемого образцг, что исключает влияние напряжения задержки на первичный пучок. Нг среднюю сетку от генератора 8 напряжения задержки...
Способ определения прочности пленки, нанесенной на металлическую подложку
Номер патента: 947688
Опубликовано: 30.07.1982
МПК: G01N 3/00
Метки: металлическую, нанесенной, пленки, подложку, прочности
...В процессе деформированияматериал подложки упрочняется и О,предел текучести повышается. Однако947688 формула изобретения 30 Составитель М. Кузьмин Техред М. Надь Корректор М. Шарошн Редактор М. Янович Тираж 887 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 5620/64 филиал ППП 1 Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 это увеличение ограничено предель-, ным значением предела текучести, после достижения которого увеличение деформации уже не вызывает существенного увеличения напряжения. Этот факт используется при последующем совместном деформировании подложки и пленки, когда предел текучести не изменяется и остается равным предельному значению...
Способ получения полимерного покрытия на металлической подложке
Номер патента: 1136750
Опубликовано: 23.01.1985
МПК: C09D 3/733, C09D 5/08
Метки: металлической, подложке, покрытия, полимерного
...лагаемому способу, имеет высокую адгезию, малоизменяющуюся с т мпературой, высокое сопротивление удару 5 при низкой температуре и высокуюкоррозионную стойкость,Таким образом, как показываетанализ таблицы, покрытие, полученное предлагаемым способом, имеет высокую 10 межслоевую адгезию и улучшенные физико-механические свойства по сравнению с покрытием, полученным известным способом.750 1 113 бИзобретение относится к нанесениюполимерных покрытий на металличес"кие подложки и может быть использовано при нанесении коррозионностойких покрытий,Известен способ нанесения полимерного покрытия на металлическуюподложку, вкЛючающий нанесение покрытия иэ эпоксидной смолы с последующим отверждением и последующеенанесение покрытия из олефиновойсмолы...
Способ контроля адгезии тонких металлических пленок к диэлектрическим подложкам
Номер патента: 1033937
Опубликовано: 07.08.1983
Авторы: Архипова, Гуров, Суминов, Тучин
МПК: G01N 19/04
Метки: адгезии, диэлектрическим, металлических, пленок, подложкам, тонких
...поглотитель мощностиэлектромагнитного поля, который размещают между источником электромагнитного поля и пленкой, уменьшаютобъем поглотителя до тех пор, покапленка не отслоится, и по изменениюобъема поглотителя судят об адгезиипленки к подложке,Способ осуществляют следующим образом.На диэлектрическую подложку наносят одним из известных методов металВНИИПИ Заказ 5615/4Филиал ППП Патент ,лическую пленку, Размещают подложку с пленкой в электромагнитном поле сверхвысокой частоты таким образом, цтобы поверхность металлической пленки находилась сб стороны источникаэлектромагнитного поляРазмещают между источником электромагнитного поля и поверхностью пленки поглотитель мощности электромагнитного поля, например, дистиллированную воду,и...
Способ контроля адгезии тонких металлических пленок к диэлектрической подложке
Номер патента: 1727040
Опубликовано: 15.04.1992
Авторы: Архипова, Глудкин, Гуров, Конюхова, Назаренко
МПК: G01N 19/04
Метки: адгезии, диэлектрической, металлических, пленок, подложке, тонких
...техническому рЕшению является способ контроля адгезии тонких металлических пленок к диэлектрическому основанию, заключающийся в том, что пленку,1727040 35 40 45 50 Составитель И.КонюховаТехред М.Моргентал Корректор Н.Ревская Редактор В,Трубченко Заказ 1275 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 нанесенную на диэлектрическое основание,помещают в электромагнитное поле сверхвысокой частоты, увеличивают мощностьполя и определяют адгезию по уровню мощности поля в момент отслаивания пленки. 5Недостатком прототипа является то, чтоданным способом возможно контролировать...
Предыдущий патент: Рентгеновский генератор
Следующий патент: Держатель для радиоэлементов
Случайный патент: Состав для химической обработки никелевых сплавов