Миголинец

Номер патента: 1474524

Опубликовано: 23.04.1989

Авторы: Бандровская, Гаврик, Житов, Когут, Козак, Конопальцева, Миголинец, Мучичка, Попович, Шаркань

МПК: G01N 21/41, G02B 6/10

Метки: градиента, непоглощающей, пленки, показателя, преломления, толщине

...Не-Ие лазер с длиной волны излучения=0,63 мкм.п, =пд р =п 1, р =1, 35; и =2,30; п,=п Р 3,40. 10 Временная зависимость показателя п(г) определяется по формулеГп -11"К (с) 15п+1 .где К (г) - отражение от поверхности1пленки, нанесенной напервый контрольный образец.20Временная зависимость толщины наносимой пленки Й(С) определяется по формулеКЧ (г.) с 1Д(, )щ .е,. щ.=3 и ь25 где Ч (С) - производная эффективностьфазового сдвига,К (г) - постоянное значение коэфОфициента отражения награнице подложка - пленка второго контрольного35образца,п-поо и,+и,К- коэффициент отражения отвторого контрольного образца, являющийся результатом интерференции впленке.Профиль показателя преломлениясовместно напыленной пленки Се 8"-МИР,полученной термическим...