Способ определения градиента показателя преломления непоглощающей пленки по толщине

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН ОСУДАРСТВЕННЫИ КПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОПРИ ГКНТ СССР ИТЕТРЫТИЯМ ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ВИДЕТЕЛЬСТ К АВТОРСК сударственнь ниаркань,ровская,опович,Н.Б,Житов ия подложзателю и момент ожные грани поВпоследствии отивоп време ложек непараллельны. по полученным данным временные зависимост локления плекки п(с) кн Й. На подложку рольного образца, вы зрачного материала с ляютсяателя преины пленпред пока и а первого контолненную из пролюбым показателем преломления, промежуточный сл няющимся показат чальное значение носиться може рерывно ломпени змес не ем оторого равн ока онечзателю преломл кое - показате лируемой пленк я подлпреломл троил. ия к ы 2атериалов для по трольного образц 1 и 2 приведены преломления пле едлагаемым спосо Ф ти выбора первого кНа фиг показател ложк профи к, ом. еле ннь с неике плен(21) 4262888/24-10 (22) 01.04.87 (46) 23.04.89. Бюл. Ф 1 (71) Ужгородский говерситет (72) И,И.Мучичка, И.П.Ш И.М.Миголинец, И.К.Банд Л.И.Конопальцева, И.И.1 О.И,Когут, Е.В.Гаврик, и М.И,Козак(53) 621,373.826(088.8)(56) Комраков Б,М., Шапочкин Б,А. Измерение параметров оптических покрь;тий. - М.: Машиностроение, 1986, с. 107-119.физика тонких пленок./Под ред.Х са и др. М.: Мир, 1978, т.8, с.90-9 (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГРАДИЕНТА ПОКАЗАТЕЛЯ РЕЮОМПЕНИЯ НЕПОГЛОЩА 1 ОЩЕ ПЛЕНКИ ПО ТОЛЩИНЕ(57) Изобретение относится к оптоэлектронике и позволяет повысить то ность определения градиента показателя преломления пленки по толщине. Изобретение относится к оптоэлектронике и предназначено для контроля показателя преломления при изготовлении градиентных волноводных структур и интерференционкых покрытийпрерывно изменяющимся по толщки показателем преломления.Цель изобретения - повышение точности определения градиента показателя преломления и расширение возможкос,80147452 С 01 Б 21/41, С 02 В 6/10 Дополнительной целью изобретения является расширение возможности выбора материала для подложки первого контрольного образца, Способ заключается в измерении коэффициентов отражения по двум контрольным образцам, подлож ки которых выполнены из материалов с различными показателями преломления,причем показатель преломлки одного из них равен попреломления пленки в начал Профиль показателя преломлениясовместно напыленной пленки МцР-ХпЯполученной термическим н,.парением ввакууме из двух источников с регули 1474524ровкой количества каждой из осаждаемых компонентов, приведен на фиг.1,Материалом подложки первого контрольного образца выбран ЕИ для вто 5 рого контрольного образца - СаР. В качестве источника монохроматического света использован Не-Ие лазер с длиной волны излучения=0,63 мкм.п, =пд р =п 1, р =1, 35; и =2,30; п,=п Р 3,40. 10 Временная зависимость показателя п(г) определяется по формулеГп -11"К (с) 15п+1 .где К (г) - отражение от поверхности1пленки, нанесенной напервый контрольный образец.20Временная зависимость толщины наносимой пленки Й(С) определяется по формулеКЧ (г.) с 1Д(, )щ .е,. щ.=3 и ь25 где Ч (С) - производная эффективностьфазового сдвига,К (г) - постоянное значение коэфОфициента отражения награнице подложка - пленка второго контрольного35образца,п-поо и,+и,К- коэффициент отражения отвторого контрольного образца, являющийся результатом интерференции впленке.Профиль показателя преломлениясовместно напыленной пленки Се 8"-МИР,полученной термическим испарениемв вакууме из двух источников с регулировкой количества каждой из осаждаемых компонент, приведен на фиг. 2.Материалом подложки первого конт 50рольного образца выбран Еп 8, на который предварительно нанесена пленкаЕп 8-Се 8 с произвольным непрерывнымградиентом показателя преломления,причем первый слой этой пленки 2 п 8,а последний верхний - Се 8 , Материа 55 1 К С 1 К К 1-К, И) -К4 у(г)=-агссов24 к а,(с) 1-к,С)зо лом подложки второго контрольного образца выбран СаР. В качестве источника монохроматического света использован Не-Ие лазер.формула изобретения1, Способ определения градиента показателя преломления непоглощающей пленки по толщине, заключающийся в измерении коэффициентов отражения, измерении толщины пленки Й и определении зависимости показателя преломления от толщины пленки п(Й), о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности определенияградиента показателя преломления, измеряют в процессе нанесения по двум контрольным образцам зависимости коэффициентов отражения монохроматического света от времени нанесения К,(С) и К(С), при этом подложки контрольных образцов выполнены иэ материалов с различными показателями преломления, а показатель преломления подложки первого контрольного образца равен показателю преломления пленки в начальный момент процесса нанесения, причем. противоположные грани подложки непараллельны, затем по величине К(й) определяют зависимость показателя преломления пленки от времени нанесения п(е), а по величине К (г) определяют зависимостьтекущей толщины пленки от времени нанесения Й(1), затем определяют градиент показателя преломления п(с 1)по зависимостям п(1) и Й(С).2. Способ по п. 1, о т л и ч а ющ и й .с я тем, что, с целью расширения воэможности выбора материала для подложки первого контрольного образца, перед нанесением пленки с определяемым градиентом показателя преломления по толщине на подложку первого контрольного образца, выполненную из прозрачного материала с любым показателем преломления, наносят пленку с непрерывно изменяющимся показателем преломления, начальное значение которого равно показателю преломления подложки, а конечное - показателю преломления пленки с определяемым градиентом показателя преломления в начальный момент нанесения.1474524 7 2,70 2 1 Ф фмкру 0, О,Б 02 ОФ 0 Составитель Н. КирееваРедактор Н,Тупица Техред Л.Сердюкова Корректор М.Пож м при ГКНТ СССР Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,10 Заказ 1885/40 ВНИИПИ Госуда Тираж 7 твенного коми 113035, Моск8 Подписное ета по изобретениям и открыт а, Ж, Раушская наб., д. 4