Способ контроля качества адгезии пленок

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 1 1 4 И 19/04 ЗСГСво ТЕН тра ьЬДь е т 1.ИюЛ К АВТОРСКОМУ ЕЛЬСТ МВ ф(57) Изобретениетельной технике,контроля качествапозволяет повысит носится к испытаедназначено длядгезии пленок и точность при контоле нных ировании лучом лазера меющего до 10 Вт/см скоростью плотность мощности отпо поверхности пленкисканирования, равной орости распроОСУДАРСТЭЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ОПИСАНИЕ ИЗ(56) Авторское свидетельство СССУ 911325, кл,С 01 М 19/04, 1980 54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТИИ ПЛЕНОК ества адгезии вакуумно-напыеталлических пленок. При скаЯО 1374101 странения звука в материале пленки,в соединении генерируются термоупругие напряжения, которые сопровождаются генерацией акустоэмиссионных импульсов. При этом в соединении непроисходит нарушения контакта пленкис подложкой, а генерируемая амплитуда напряжений максимальна. В случаеплотности мощности более 10 Вт/смв адгезионном соединении возникаютизменения физико-химического состояния поверхности пленки. При уменьшении скорости сканирования в соединении накапливается тепло, приводящеек нарушению адгезии пленки. За времяокончания кадра развертки луча лазера на поверхности пленки на цифровомчастотомере формируется числа, харак- (дтеризующее качество адгезии пленки,и чем,оно меньше, тем лучше качест- Сво адгезии. 1 ил, 1374101Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способамконтроля качества.адгезии пленок, нанесенных на подложки.Целью изобретения является повышение точности при контроле качестваадгезии вакуумно-напыленных металлических пленок.На чертеже показана схема устройства для реализации предлагаемогоспособа.Устройство содержит импульсный наносекундный лазер 1 с блоком 2 накачки, фокусирующее сферическое зеркало 3, пьезоприемник 4, предназначенный для связи с контролируемым соединением 5, предварительный 6 и основной 7 усилители, нормализатор 8 импульсов, частотомер 9, связанный со 20сферическим зеркалом 3 механизм 10развертки луча лазера по Х-У и генератор 11 строчной и кадровой разверток луча лазера,Способ осуществляют следующим образом.Сформированный в блоке 2 накачкилуч лазера 1 плотностью мощности10 - 10Вт/см направляют на сферическое зеркало 3, которое Фокусирует 30луч и направляет на пленку контролируемого соединения, выполненного извакуумно-напыленных металлическихпленок, например Сг, Сц, Аи и др. наполикадровых подложках, Луч лазера 1непрерывно сканирует с помощью генератора 11 и механизма 10 развертокпо поверхности пленки со скоростью,равной скорости распространения звука в материале пленки. При сканированин лучом лазера 1 по поверхностипленки в соединении генерируютсятермоупругие напряжения, которые сопровождаются генерацией акустоэмиссионных импульсов и регистрируютсяпьезоприемником 4. Пьезоприемник 4может быть подключен для регистрацииакустических колебаний в зоне воздействия нагрузки как непосредственно кплеяке, так и к подложке, Плотностьмощности луча лазера 1 10-10 Вт/смг 50обеспечивает неразрушающий контрольсоединения, т.е. без нарушения контакта пленки с подложкой, при этом вадгезионном соединении генерируются55наибольшие амплитуды напряжений. При плотности мощности менее 10Вт/см амплитуда напряжений в адгезионном соединении недостаточна для ее регистрации. Если плотность мощности больше 10 Вт/смг, в адгезионном соединении возникают изменения физико-химического состояния поверхности пленки, Скорость сканирования лучом лазера, равная скорости распространения звука в материале пленки, реализует акустоупругий режим генерации акустических колебаний, соответствующий наносекундному импульсному методу их возбуждения. При уменьшении скорости сканирования накапливается тепло в соединении, приводящее в нарушение адгезии пленки.Принятые пьезоприемником 4 акустоэмиссионные сигналы преобразуются в усилителях 6 и 7 в электрические и поступают на вход нормализатора 8 импульсов, который преобразует их в видеоимпульсы с частотой, соответствующей числу принятых пьезоприемником 4 акустоэмиссионных импульсов, С выхода нормалиэатора 8 импульсов сигналы поступают на частотомер 9, работающий в режиме счета импульсов и управляемый синхроимпульсом от генератора 11 кадровой развертки, За время окончания кадра развертки луча лазера 1 на поверхности пленки на цифровом частотомере 9 формируется число, характеризующее качество адгезии пленки, и чем оно меньше, тем лучше качество адгезии пленки.формула изобретенияСпособ контроля качества адгезии пленок, по которому на соединение со стороны пленки воздействуют нагруз-. кой, регистрируют акустические коле- бания в зоне воздействия и по их величине судят о качестве адгезии, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности при контроле вакуумно-напыленных металлических пленок, нагрузку создают путем сканирования непрерывным лучом лазера, имеющего плотность мощности от 10 до 10 Вт/см, со скоростью сканирования, равной скорости распространения звука в материале пленки.,1374101 Составитель В.Свиридов Техред И.Верес редактор А.Лежнина Корректор Л, Пилипенко Тирах 847 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5