Способ получения сублимированных пленок из химических соединений в горячей камере

Номер патента: 123645

Автор: Сытилин

ZIP архив

Текст

Эй 123645 Класс 22, 15 СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ М, С, Сытилин СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СУБЛИМИРОВАННЪХ ПЛЕНОК ИЗ ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ В ГОРЯЧЕЙ КАМЕРЕЗаявлен 23 ноября 1956 г. за462757/23 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Опубликовано в Бюллетене изобретений21 за 1959 г, 1 ПЛЕН- я икоПредмет изобретения Способ получения сублими пений в горячей камере, о тл и пия равномерного покрытия по разные вещества впускают в ка рывном нагревании подложки и рованных пленок из химиче ч а ю щ и й с я тем, что, с цел структуре и толщине, исход меру-реактор периодически, твердого вещества,ких соедию получе 1 е газообри непреВ известных способах нанесение сублимированных пленок (люминЯсцирую 1 цих и нелюминесцирующих) производят периодическим впуском в горячую камеру твердых веществ при непрерывном потоке газоз. Однако при этом способе нельзя получить равномерную по структуре и ",олщине пленку по всей поверхности подложки.В предлагаемом способе этот недостаток устранен путем осуществления периодической химической реакции в газовой фазе. Для осуществления предлагаемого способа находящиеся в камере-реакторе (она может быть одновременно колбой для электронно-лучевой трубки) под. ложку и твердые вещества непрерывно нагревают до заданной температуры; одновременно из камеры-реактора откачивают воздух. Как только давление в камере начнет возрастать, перекрывают кран на линии камера-форвакуумный насос и затем кратковременно открывают кран на линии камера-газ. В камере-реакторе происходит химическая реакция между газообразными веществами, а выделяемый при этом продукт с малой упругостью пара равномерным слоем осаж дается по всей геометрической поверхности подложки. На этом цикл заканчивается.Количество указанных циклов зависит от заданной толщинь ки, объема и температуры камеры, температуры подогревател личества испаряемого вещества.Активатор желательно вводить после нанесения пленки.

Смотреть

Заявка

462757, 23.11.1956

Сытилин М. С

МПК / Метки

МПК: C23C 16/46

Метки: горячей, камере, пленок, соединений, сублимированных, химических

Опубликовано: 01.01.1959

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-123645-sposob-polucheniya-sublimirovannykh-plenok-iz-khimicheskikh-soedinenijj-v-goryachejj-kamere.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения сублимированных пленок из химических соединений в горячей камере</a>

Похожие патенты