C23C 16/46 — характеризуемые способом, используемым для нагрева подложки

Номер патента: 123645

Опубликовано: 01.01.1959

Автор: Сытилин

МПК: C23C 16/46

Метки: горячей, камере, пленок, соединений, сублимированных, химических

...периодически, твердого вещества,ких соедию получе 1 е газообри непреВ известных способах нанесение сублимированных пленок (люминЯсцирую 1 цих и нелюминесцирующих) производят периодическим впуском в горячую камеру твердых веществ при непрерывном потоке газоз. Однако при этом способе нельзя получить равномерную по структуре и ",олщине пленку по всей поверхности подложки.В предлагаемом способе этот недостаток устранен путем осуществления периодической химической реакции в газовой фазе. Для осуществления предлагаемого способа находящиеся в камере-реакторе (она может быть одновременно колбой для электронно-лучевой трубки) под. ложку и твердые вещества непрерывно нагревают до заданной температуры; одновременно из камеры-реактора откачивают...

Номер патента: 344034

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Алексеев, Антипов, Киселев

МПК: C23C 16/46

Метки: всесоьознаяnldslko-iolifieckafиблотекл

...поверхностью через трубки в заглушках.На чертеже приведена схема построения процесса по предлагаемому способу, например, для случая нанесения проводящего станнатного покрытия на поверхность диэлектрической трубки методом пиролиза, где- изделие, 2 - заглушки (соединены между собой), 3 - испаритель, 4 - подводящая трубка, 5 - отводящая трубка.Процесс нанесения проводящего покрытия 5 на внутреннюю поверхность изделия ведетсяв пределах ограниченного объема, Длина рабочего участка значительно меньше длины изделия. Источником газовой среды служит испаритель 8. Необходимый для процесса 10 формирования покрытия воздух подается через подводящую трубку 4, а образующийся поток паров отводится за пределы рабочего объема через отводящую...

Номер патента: 953003

Опубликовано: 23.08.1982

Авторы: Воронин, Глускин, Димант, Куркин, Мурзин, Хлапов

МПК: C23C 16/458, C23C 16/46

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...толкателе камеру металлизации и эагрузочноразгрузочную камеру разобщает заслонка при выходе на режим, смене 25 деталей и т.п. При этом также предотвращается попадание паров исходного соединения и продуктов их распада на изделия.На чертеже показана принципиальная схема предлагаемой установки.Она содержит загрузочно-разгрузочную камеру 1 с транспортером 2 и толкателем 3, торцовая часть которого ныполнена в виде заглушки 4 с резистиннымнагревателем 5, предназначенным для перемещения изделия б, шлюзовое устройство 7 с заслонкой 8, камеру 9 металлизации, помещенную в промежуточную камеру 10, причем камера 9 металлизации снабжена испа ряющим устройством 11. Промежуточная камера .10 соединена с шлюзовым устройством 7, установленным на верхней...