Интерференционное устройство для измерения штриховых мер

/236 88.8)11735,1975.25006,979.ННОЕ УСИХОВЫХ МЕ РОИСТВОР тноси ой те ся к кон нике, вя измерень изобретизмерени дл р, Целчност Ю вой ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЬПИ ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ШТР(57) Изобретение орольно-измерительчастности к средсдлины штриховых мения - повышение то достигается за счет четырехкратногопрохождения световым потоком измеряе"мого расстояния. Перемещение отража-стелей приводит к смещению интерференционных полос, соответствующемуалгебраической сумме перемещений ихвершин вдоль объекта, что соответствует удвоенной величине перемещения фокуса микроскопа в силу его,расположения на каретке, установленной в такое положение, при которомфокус микроскопа совмещен со штри-,хом меры, т.е. объектом, удвоенноеперемещение фокуса микроскопа вдолькоторого соответствует удвоенномурасстоянию между штрихами меры. 1 ил.Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к средствам для измерения длиныштриховых мер.Цель изобретения - повышение точности измерений.На чертеже изображено интерференционное устройство для измеренияштриховых мер.Устройство содержит станину 1,интерферометр, включающий установленные на станине 1 осветитель 2,полупрозрачные пластины 3 и 4, регистрирующий узел 5 и уголковыеотражатели 6 и 7. На станине 1 установлена с возможностью перемещениявдоль объекта 8 каретка 9 с расположенными на ней уголковыми отражателями б и 7 и микроскопом 1 О, размеденным таким образом, что его Фокусрасположен симметрично относительнооптических центров отражателей 6 и 7.На станине 1 установлена также система из отражающих элементов, последо-,вательно размещенных один за другимпод углом один относительно другого,отражающими поверхностями навстречу друг другу. Отражатель б оптически связан с элементом 11, а отражатель 7 оптически связан с элементом 12 и через пластину 4 с регистрьрующим узлом 5,Устройство работает следующимобразом.Световой поток от .осветителя2 через пластину 3 проходит наотражатель б, образуя измерительныйпоток, и отражается на пластину 4,образуя опорный поток. От отражателя б световой поток через отражательные элементы 11 и 12 падает .на отражатель 7, а от него, пройдя через пластину 4 - на регистриРующий узел 5.Таким образом, световой поток проходит измеряемое расстояние четыре раза. Измерительный поток, прошедший через пластину 4, смеши-.вается с опорным потоком, отражен" ным этой пластиной 4, и образует на регистрирующем узле 5 интерференционную картину в виде полос. Пере- мещение оптических центров кажцого из отражателей б и 7 вдоль объекта 8 приводит к смещению интерференционных полос, соответствующему величине и направлению перемещения, Перемещение двух отражателей 6 и 7ЗО Интерференционное устройство дляизмерения штриховых мер, содержащеестанину, интерферометр, включающийосветитель, установленный на станине, и уголковый отражатель, микроскоп, каретку, установленную с возможностью перемещения вдоль объектаизмерения, и регистрирующий узел,установленный на станине, а уголковый отражатель и микроскоп расположены на каретке, о т л и ч а ю щ е е -с я тем, что, с целью повышенияточности измерений, оно снабженовторым уголковым отражателем, установленным на каретке, и системой изотражающих элементов, установленныхна станине последовательно один эадругим под углом один относительнодругого, отражающими поверхностяминавстречу друг другу, первый из отражателей оптически связан с первым;из отражающих элементов, а второйоптически связан с последним изотражающих элементов и с регистрирующим элементом, а микроскоп размещентаким образом, что его Фокус расположен симметрично относительно оптических центров отражателей,35 40 45 50 55 приводит к смещению интерференционных полос, соответствующему алгеб-,раической сумме перемещений их вер"шин вдоль объекта 8, что соответствует удвоенной величине перемещенияФокуса микроскопа 10 в силу егорасположения на каретке 9. Каретку9 устанавливают в такое положение,при котором Фокус микроскопа 10 совмещен со штрихом меры, которая является объектом 8, Перемещая каретку 9 до совмещения фокуса микроскопа 1 О с другим штрихом меры, регистрируют смещение интерференционныхполос, величина которого, соответствующая удвоенному перемещениюфокуса микроскопа вдоль объекта 8(штриховой меры), соответствуетудвоенному расстоянию между штрихами меры,В устройстве используется ва-.куумированный корпус.Предлагаемое размещение микроскопа приводит в совокупности с остальными признаками к исключению погрешВности Аббе, что позволяет повыситьточность измерения, в частности,штриховых мер. Формула изобретения1224568Составитель В. Климова Редактор А. Огар Техред Н,Бонкало Корректор Л. Пилипенко Заказ 1913/36 Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4