Способ изготовления пленочных мембран

"ф ,Я 010897 359 Н 04 ОПИСАНИЕ ИЖЖРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВ ление, о т л ичто, с целью упского процессапленочных мембрпредварительноское покрытие сющими форме мембэлектродов исполний, полученныйтки при следующеКонцентрациякислоты, ЖПлотность токмА/см 2-20 ан 0,1-1 бо ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(72) В.И.Курмашев и В.И.дубин (71) Иинский радиотехнический инсти тут(56) 1, Патент Великобритании В 1381376, кл. Н 04 к 7/12, 9 У 5.2. Авторское свидетельство СССР В 34920, кл, В 04 К У/00, 1970. (54)(57)СПОСОБ ИЗГОТОВХВНИЯ ПЛЕНОЧНГГХ МЕМБРАН,: включающий гапьваииче" ское осаждение металлической пленки на электроды и ее последующее отдеч ающий ся тем рощения технологнчеи улучшения качества ан, на электродах формируют диэлектричеокнами, соответствуран, а в качестве ьэуют пористый крем- путем анодной обрабом режимеплавиковой10-50Изобретение относится к акустике,в частности к методам изготовлениятонких мембран для микрофонных уст-ройствИзвестен способ изготовленчя мемб 5ран конденсаторных микрофонов включающий помещение внешнего кольца вуглубление, выполненное в листе пластического материала и имеющее высоту и диаметр, равные высоте и диамет.ру самого кольца, укладывание Фольги накольцоприжим накладкой из мягкогоматериала, имеющей отверстие диамет-.ром, равным внутреннему диаметрувнешнего кольца закрепление внутрен 15него кольца на подвижной оправкеи с ее помощью вдавливание внутренне.го кольца во внешнее через отверстиев накладке1 3,Однако при этом способе изготовле 2 Ония мембраны сложен технологическийпроцесс,Наиболее близким техническим решением к предлагаемому являетсяспособ изготовления пленочных мембран в кОтОром на плоские электродынз нержавеющей стали наносят гальва"ническим методом металлическуюпленку., которую соединяют одним изизвестных способов спайкой 1 с жесткой ЗОоправкой и.отделяют электроды отметаллической пленки 1.23 Однако способ изготовления пленоч ных мембран сложен, так как включает необходимость использования жесткой оправки для отделения металлической пленки от электрода и связанных с этим техчологических операций. При изготовлении мембраны таким способом снижается ее качество, так как воэмо. жен ее разрыв при отделении от элект. рода из-за Очень высокого сцепления с электродом из нержавеющей стали,Цель изобретения - упрощение технологического процесса и улучшение качества пленочных мембран.Поставленная цель достигается тем что в способе изготовления пленочных мембран, включающем гальваниче-.: ское осаждение металлической пленки на ее электроды и ее последующее от; деление, на электродах предварит ль-: но формируют диэлектрическое покры-. тие с окнами, соответствующими Форме мембран, а в качестве электродов используют пористый кремний, полученный путем анодной обработки при следующем режиме1-200 Концентрация плавиковой кислоты,10-50Плотность токаЙА/смВремя обработки, мин 0,1-10Использование пористого кремния в качестве электродов,на которые произ водят гальваническое осаждение металлической пленки, вызвано тем, что при осаждении металлической пленки на полированный кремний происходит самопроизвольное ее отслаивание при незначительной толщине, вследствие низкого сцепления металла с полированным кремнием. Полированный кремний позволяет с помощью варьирования режимов и состава раствора для его получения изменять размер, количество и глубину пор на поверхности кремния, а следовательно, изменять и силу сцепления гальванически осаж; денного металла с пористым кремнием.При концентрации плавиковой кислоты менее 10 как и при плотности тока более 200 мА/смпроисходит переход процесса формирования пористого кремния в процесс электрополировки, Максимальная концентрация плавиковой кислоты в электролите обусловлена тем, что чистая плавиковая кислота имеет концентрацию 50 . Нижнее значение плотности тока равное 1 мА/см связано с тем, что при2меньших плотностях тока скорость фор мирования пористого кремния незначи-. тельна. При времени анодной обработки менее 0,1 мин глубина пор слишком мала, чтобы обеспечить достаточное сцепление слоя осажденного металла с пористым кремнием. При времени анодной обработки, превышающем 10 мин, дальнейшего увеличения сцепления металлической пленки с пористым кремнием не происходит,Для получения мембран заданных размеров. на электродах из пористого кремния Формируют диэлектрическое покрытие требуемой конфигурации например путем избирательного нанесения на электроды из пористого кремния химически стойкого лака. После гальванического осаждения металли ческой пленки в окна диэлектрического покрытия осуществляют механическое отделение металлической пленки от электрода, например, путем приложения усилия, сдвигающего метал 3 089766 4лическую пленку на поверхности элект верхность электрода, шероховатость рода. .которого составляет Ч 14 и надежноПолученные данным способом метал- обеспечивают .повторяемость электролические пленки имеют поверхность акустических свойств мембран привысокой чистотыдублирующую пс-сравнительно простой технологии.Составитель А.ТрегубовРедактор Е,Лушникова Техред Л.Мартяшова Корректор С.ШекмарЗаказ 2954/55 Тираж 635 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 13035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул. Проектная, 4