Способ нанесения пленки для изготов-ления мембранного модулятора cbeta
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Оп ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветсккиСоциалистическиеРеспублик и 853591 Дополнительно авт. свид-ву 52610/18-2 2)Заявле 51)М. К 12.79 ( с присоединением заявки М 02 Е 119 Ъоударстеэииый комитет СССР до делам изобретений и открытий.81. публиковаво 53) 5. 5.888,8) Дат бл ия описания(72) Авторы изобретен В. Кирющева н В. А. Рабинов Одесский ордена Трудового Красного Знаме политехнический институт(71) Заявит 4) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНКИ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННОО МОДУЛЯТОРА СВЕТАожностьНедостатками способа являются сл ии и большая трудоемкость. лее близким по технической сущи достигаемому результату к изобретению вляется способ нанесения пленки для изг ленив мембранного модулятора света, осн ый на использовании в качестве исходног материала мембраны модулятора раствора одня, включающий нанесение на подложк раствора коллодия н последующую сушку Такой способ не позволяет наносить пл ую ме на перфорированную повераллельных ти элемент ычислитель тх модуля техники, в частноптоэлектронныхборов - мембра х с:хтем н приров света. отововено л" целью изобреночной мембр е ллетония является н т на петзфорированнуюпо способу нанесмембранного модиспользованзпт вмембраны модулятчающем нанесенидия и последующуюку с цанесенной Изобретение относится к области техноло.гии изготовления элементов вычислительной Известен способ нанесения плнкн для изго товления мембранного модулятора своза 111, по которому на поверхность перфорированной подложки наносится слой фоторезиста, запоя. няющий отверстия, После просушивания фото резист полируют до тех пор, пока его по.верхность не сравняется с подложкой. Образец покрывают тонким слоем желатины, на поверхность которой равномерно осаждают мелкие частицы, а затем наносят металлическую пленку напылением в вакууме. Образец протирают влажной тканью, удаляют выступающие частицы и промывают, В металлической пленке - мем. бране образуются мелкие поры. Затем удаляют фоторезист, для чего образец погружатст в растворитель, который диффундирует сквозь поры в металлической мембране, и растворяют фото резист, заполняющий отверстия. тигается благодаря тому чтоения пленки для изготовления улятора света, основанному на качестве исходного материалаора раствора коллодия, вклюе на подложку раствора колло.сушку, после сушки подлояе.пленкой погружают в сосуд с853591 4ки для подведения опорного электрическогопотенциала.Предложенный способ обеспечивает достаточную адгезию мембраны к подложке н возможность металлизации мембраны напылением5в вакууме.Использование способа значительно упрощает технологию изготовления мембранных мо.дуля торов,Брак при изготовлении минимален,Экономический эффект от использованияспособа изготовления мембранных матричныхмодуляторов света с количеством ячеек 32 х 32составляет ориентировочно 50 руб. на каждыймодулятор. При изготовлении мембранного модулятора на пластину из кремния с управляющими электродами наносили слой диэлектрика, в котором методами фотолитографии делалась перфорация в виде матрицы круглых отверс. тий. При. этом отверстия перфорации расположены над управляющими электродами.Для изготовления мембраны был взят раст. вор коллодия, представляющего собой ЗУоный раствор коллоксилина в смеси этилового спирта и эфира, Раствором поливали промежуточную подложку из окиси кремния. После сушки на воздухе при комнатной температуре образовывалась тонкая пленка, Подложку с образовавшейся пленкой погружали в сосуд с водой, где происходило ее отделение от подложки. Затем в тот же сосуд с водой погружали подложку с перфорированным слоем (диаметр отверстий 50 200 мкм, глубина перфорации 2 4 мкм) и подводили ее под отде. лившуюся пленку. На этой же пластине извлекали иэ воды пленку и высушивали при 20 С на воздухе в горизонтальном положении. Толщина полученной пленки менее 5 мкм. Вы. сыхая, пленка приклеивалась к верхней плоскости подложки и натягивалась в местах над отверстиями, причем остатки воды испарялись из-под пленки, так как пленка коллодия проницаема для молекул воды, Затем на пленку, равномерно натянутую и приклеенную к перфо-. . рированному слою, наносили напылением зер. кальный слой алюминия и контактные площад. Составитель Н. НазароваРедактор Л, Утенина Техред Ж, Кастелевич Корректор Н, Бабинец Заказ 5669/23 Тираж 539 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3водой, отделяют пленку, помешают в тот же сосуд пластину с перфорированной поверхностью, подводят под отделившуюся пленку и вместе с пленкой извлекают из сосуда, после чего повторяют процесс сушки.Полученная мембрана металлизируется напылением в вакууме для обеспечения достаточной электрической проводимости и отражательной способности,Формула изобретения Способ нанесения пленки для изготовления мембранного модулятора света, основанный на использовании в качестве исходного материала мембраны модулятора раствора коллодия, включаюший нанесение на подложку раствора коллодия и последующую сушку, о т л и ч аю ш и й с я тем, что, с целью нанесения пленочной мембраны на перфорированную поверхность, после сушки подложку с нанесенной пленкой погружают в сосуд с водой, отделяют пленку, помещают в тот же сосуд пластину с пер. форированной поверхностью, подводят под отделившуюся пленку и вместе с пленкой извлекают из сосуда, после чего повторяют процесс сушки. 5 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. 1 Г. Соаептпо, Ф Г. Ябьчагт АкетЬгапе раде сотроаег", ВСА Вечеа, 1973,ч, 34,Х 1,р.45.2. ФТМ "Микросхемы, фотошаблоны прецизионные", Типовые технологические процессыНбкО 054002, ред. 1-68, с. 23.
СмотретьЗаявка
2852610, 07.12.1979
ОДЕССКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГОЗНАМЕНИ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
КИРЮЩЕВА ИРИНА ВЛАДИМИРОВНА, РАБИНОВИЧ ВЛАДИМИР АБРАМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G02F 1/19
Метки: cbeta, изготов-ления, мембранного, модулятора, нанесения, пленки
Опубликовано: 07.08.1981
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-853591-sposob-naneseniya-plenki-dlya-izgotov-leniya-membrannogo-modulyatora-cbeta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ нанесения пленки для изготов-ления мембранного модулятора cbeta</a>
Предыдущий патент: Офтальмологическая линза снепрерывным изменением диоптрийностив меридианальной плоскости
Следующий патент: Компаратор световых потоков
Случайный патент: Опалубка для бетонирования колонн