Способ формирования слоев пористого кремния

Номер патента: 1459542

Авторы: Блохина, Изидинов, Исмайлова

Описание

Способ формирования слоев пористого кремния, включающий электролитическое анодирование кремния n-типа проводимости с уровнем легирования ND 1014 см-3 при стационарном освещении в концентрированной плавиковой кислоте, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества слоев за счет повышения степени и однородности пористости, электролитическое анодирование проводят в интервале плотности токов от 30 до 150 мА/см2 в течение времени от 20 до 60 мин при освещенности рабочей поверхности кремния, которую устанавливают согласно соотношению
G = i/1,5 + 30,
где G - освещенность, люкс;
i - плотность тока электролитического анодирования, мА/см2.

Заявка

4253099/25, 06.04.1987

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Изидинов С. О, Блохина А. П, Исмайлова Л. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: кремния, пористого, слоев, формирования

Опубликовано: 10.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1459542-sposob-formirovaniya-sloev-poristogo-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ формирования слоев пористого кремния</a>

Похожие патенты