Способ автоматического регулирования процесса выращивания монокристаллов из расплава методом вытягивания (по чохральскому)

Номер патента: 108648

Автор: Добровенский

ZIP архив

Текст

СуммарНый эффект изменения характера теплообмена на границераздела фаз, а следовательно, и скорости кристаллНзацИи, лучше всегочувствует сам кристалл, изманяя при этом свои поперечные размеры иположение границы раздела фаз. Если теплоотвод становится интевсивнее, дивметр кристалла увеличивается, 2 Г)аница фаз Опускается В сторону расплава, и наоборот. Способ авто)атичеокого регулироваиНя процесса ВыращиВдния мэнокрестал;ОВ из р 2-плаВ 2 служит для получениявоспроИзвсдимых по физическ:м свойства) и геометреческой форме моиокр иота 1 Лов.Таки)1 Ооразом, авто)атческое регу 1 е 1)овае 1 е скорости кристаллизации 1 може 0 свести ек 2 ВтоматичеокоМу рсгулироваиО поперечеых размеров кристалла и положения границы раздела фаз, Такое регулирование можно осуществить, используя явледле поглощеН 5 прямого пучкарадиоактеного изученИя или еетроннопо, В зависи.;ости От мсловиикристаллизации и от природы кристаллизуемого вещества. На черте)кепоКазана схема автоматического регулировавия процесса выращиваниямонокристаллов из расплава методо Вытягивания с пременониС излучений радиоактвеых изотопов.От источника 1 радиоактивное излучение, пройдя через утоненныев этом месте стальные охлаждаемые стенки 2 аппарата, отверстия экранов и нагревателя 3, стенки тгд 5 4, и границу раздела расплав - кристаллОВ Б попадает В приюНик 6 радоактеВного излучения,Вырабатываемыи прие)ником элйктричеокий сигнал, зависяпиивеличины поглощения в кристалле еи преМька:Още 1 к нему области расплаВа, формируется и усиллвается блоком 7 и по кабелю передается навход электронного преобразователя 8, где сравнивается с сигналом, полученным от дополнительного устройства.ДОПОЛНИТЕЛЫНОЕ УСТРОЙСТВО, ЯВЛЯЮ 1 ЦЕЕСЯ ЭТаЛОННОЙ ЧаСТЬЮ СХЕМЫ,состоит из радНоактинного источника 9, аналогечеоо источнику 1, клива 10 поглотителя со стрелкой, приемника излучения 11, аналогичногоприемнИку 6 и формируемого блока 12,РазностныЙ сигнал должен модулиронаться, уоиливаться и подаватьзатем к исполнительно)у механизму 13, который изменяет положениесердечника индукционной катушки 14, являющей:я датчиком телеметрической системы вторичного прибора 15, воздействуОщего лИбо на регуляровочный трансформатор нагрева, либо на скорость )ытягивания кристалла, либо на то и другое одновременно. Необходимый диаметр кристаллаустававлИвается за время процес а один раз рукояткой 6 путем вводсния спбциально пРОт 21)1 РованаОГО эталонеоГО кипа 10 к Отсчитываетс 5по шкале 17,При выведеенном клине до начала кристаллизации разностный сиг.нал ТОГО,ели друГОГО зеака Во. деистВует на исполнительныР Мсханизх.,З 2 СТ 2 ВЛЯЯ СИСТОМ 1 ПРЕ ХОДИТ В ) анНОВ ЕСЕЕ ПУТЕМ ЕИЗМСПЕЕ 1 ИЯ Ха) 2 КТЕР 2теплообМена на границе расплав - кристалл.С помощью 200 уст)оеСтва можно осуществлять регулированеепо заданНой програ)г)е, выращивая кристалл любой плавной формы,или использовать его для воспроеЗводимого получения электронно-дьрочных (Р-и) переходов нужного качества в полупроводниках. Д)я этого вместо клеина 10 нужно вставить либо криталл того же вещества, нозаданной формы, либо специально подобранный по плотности 1 поглотитель излуччееия источника ; затем, пролВИГ 251 вперед указанныЙ эталон, следует непрерывно, в течение в:ео процесса вращать кристаллили поГлотитель со скоро тью, ")2 ВНОЙ скорости ВытяГивания монокристалла при помощ, привода с редуктором 18, Любой удачно полученныйкристалл Может являться в дальнейшем эталоном,для получения большого количества себе псдобеьх кристаллов.108648ПредметизобретенияСпособ автдмапического регулирования процеооа выращивания моно- кристаллов,из расплава методом вытягивавия (по Чохральскому), отл,ичающийся тем, что регулирование характера теплообмена на границе раздела фаз, а следовательно, и скорости кристаллызации, осуществляется путем непрерывного контроля диаметра растущего кристалла с помощью изменения характера поглощения радиоактввного излучения вкристалле и непрерывного сравнения его с эталовным, с последующим воздейотвием на температурный режим печи ил 1 и скорость вытягивания.

Смотреть

Заявка

559644, 24.10.1956

Добровенский В. В

МПК / Метки

МПК: C30B 15/26

Метки: выращивания, вытягивания, методом, монокристаллов, по, процесса, расплава, чохральскому

Опубликовано: 01.01.1957

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-108648-sposob-avtomaticheskogo-regulirovaniya-processa-vyrashhivaniya-monokristallov-iz-rasplava-metodom-vytyagivaniya-po-chokhralskomu.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ автоматического регулирования процесса выращивания монокристаллов из расплава методом вытягивания (по чохральскому)</a>

Похожие патенты