Емкостной измеритель перемещений

,тельной технике и может быть испольЗовано в машиностроении для измерения перемещений,Известен емкостный измеритель перемещений, содержащий генератор, емкостный дифференциальный преобразователь и блок обработки "измерительного сигнала 1 .Недостатком известного измерителя является невысокая точность измеренияНаиболее близким по техническойсущности к изобретению является емкостный измеритель перемещений,содержащий генератор, один выводкоторого соединен с общей точкойприбора, коммутатор, емкостной дифференциальный преобразователь перемещения с потенциальным электродом,подключенным к генератору, экрани-.рующим электродом, подключенным кобщей точке прибора, и .секционированным токовым электродом, секции которого подключены к входамкоммутатора, блок управления, выходкоторого подключен к управляющемувходу коммутатора, компаратор токовс двумя имеющими общую точку диф"Ференциальными обмотками, подключенными к первым двум выходам .коммута"тора, третий выход которого подключен к общей точке прибора, и обмоткой смещения, один вывод которойсоединен с общей точкой дифферен-.циальных обмоток, регулируемой обмоткой, включенной между вторымвыводом обмотки смещения и общей.тоЧкой прибора, и указательной обмоткой, и детектор равновесия вхо"дом подключенный к указательной обмотке, выход которого связан с управляющим входом регулируемой об, ",мотки 23Однако для этого измерителя ха"рактерца недостаточно высокая точ"ность измерения. Цель изобретения - повышение точности измерения.Поставленная цель достигается тем, что экранирующий электрод выполненс двумя рядами равномерно расположенных электрически прозрачных окон, а секции токового,электрода расположены в два ряда и в каждом ряду соединены через одну, образуя по две группы секций в каждом ряду, окна и межоконные промежутки зкранирующего электрода и секции токового электрода выполнены одинаковыми по ширине, ряды окон экра нирующего электрода или ряды секций токового электрода выполнены со смещением в половину ширины секции один относительно другого, а комму" татар. выполнен в виде четырех трехф позиционных переключателей.10 На чертеже приведена блок-схемаустройства.Устройство содержит генератор 1"и емкостный дифференциальный преобразователь с потенциальным 2, экра" нирующим 3 и секционированным токовым 4 .электродами, коммутатор 5, входы которого подключены к секциямтокового электрода 4, блок б управления, выход которого подключен куправляющему входу коммутатора 5,компаратор 7 токовс дифференциальными обмотками 8 и 9, обмоткой 10 смещения, регулируемой 11 и указательной 12 обмотками, детектор 13, равновесия, подключейный к указательнои обмотке 12. Тоновый электрод 4 разделен на секции 4.1 и 42, 4.3 и 4.4, расположенные в.два ряда, причем секции 4,1 и 4.2 первого ряда смещены относительно секций 4.3 и 4.4 второго, ряда на половину ширины секции. Секции токового электрода, в каждом ряду соединяются через .одну. Дляэтогогруппы секций данного .ряда соединяют по разные его стороны, что позволяет все соединения выполнить однослойным печатным монтажом. Соединительные элементы находятся под электрически непрозрачными участка" ми экранирующего элеютрода и поэтому на результат измерения не влияют. На экранирующем электроде 3 расположены два ряда электрически про- М зрачных окон, которые геометрически расположены над соответствующими рядами секций токового электрода 4. При этом промежуток между рядами секции токового электрода 4 40 находится под электрически непрозрачным межрядным Промежутком экранирующего электрода 3.Группы секций токового электрода4 с помощью коммутатора 5, управляемого блоком б управления, подключаются к дифференциальным обмоткам 8 и9 компаратора 7 токов или к общейточке прибора. Другие концы дифферен-.циальных обмоток 8 и 9 компаратора7 токов подключены через последовательно соединенные:обмотку 10 смещения и регулируемую обмотку 11 кобщей точке прибора. На компаратор7 токов нанесена также указательная,обмотка 12, которая подключена к де"тектору 13 равновесия, управляющемучислам витков регулируемой обмотки11 компаратора 7 токов.Устройство работает следующимобразом,Пусть окно экранирующего электро,да 3 расположено так, что секции 4.1 и 4,2, подключенные в данный момент к дифференциальным обмоткам 8 и 9 компаратора 7 токов, открыты