Электрический конденсатор

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК ПАТЕНТУ Сфюа Советскйх Социалистическия Республик(51)М. Кл.з Н 01 6 4/06 Государственный комитет СССР оо делам изобретений и открытий(У 2) Авторы иаобрете Иностранная фирма "Сименс АГ" (ФРГ) 71) Заявител ЭЛЕКТРИЧЕСКИЯ КОНДЕНСАТОР 2 ми еие возния и ния хническоявляется содерж 1Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использова"но при изготовлении тонкопленочныхконденсаторов. 5Известен электрический конденсатор, содержащий два металлическихслоя противоположной полярности, ислой диэлектрика, расположенный между ними 13.1Такие слои делают в форме трапеции и располагают со сдвигом в направлении, перпендикулярном к параллельным сторонам трапеции. Этот конденсатор обладает пониженным нспользованием поверхности подложки, таккак даже при незначительном отклонении трапеции от прямоугольной формытребуется относительно большое взаимное смещение отдельных слоев, чтобы получить на скошенной стороне трапеции требуемую изоляционную полосу,а с другой стороны, при большом отклонении от прямоугольной формы, контакт с более коротким из параллельных кантов трапеции становится трудно осуществимым,Наиболее близким по те йсущности к предлагаемомуэлектрический конденсатор 30 щий по меньшей мере два металлических слоя и слой диэлектрика, размещенные на подложке, причем каждый из слоев выполнен в виде параллелограмма и смещен относительно предыдущего слоя в направлении под углом к кромкам слоев, а металлические слои одной полярности имеют вывод вдоль контактных площадок с противеполож- . ных сторон ) 2).Его недостатком является небольшое емкостное использование поверхности подложки и ненадежный контакт обкладок с контактными площадкаЦель изобретения - обеспечен можности надежного контактирова повьзаение емкостного испольэова поверхности конденсатора.Поставленная цель .достигается тем, что в электрическом конденсаторе, содержащем по меньшей мере два металлических слоя и слой диэлектрика, размещенные на подложке, причем каждый из слоев выполнен в виде параллелограмма и смещен относительно предыдущего слоя в направлении под углом к кромкам слоев, а металлические слои одной полярности имеют вывод вдоль контактных площадок с про 1001871Второй металлический слой 5 связан внахлест со второй контактной площадкой В и образует контактную полосу 9, Соответствукщую контактную полосу 10 образует соединение внахлест первого металлического слоя 3 с первой контактной площадкой 2.Неэффективные части обкладок, полу чаемые благодаря косому сдвигу отдельных слоев, существенно меньше, чем неэффективные полосы, которые получаются при сдвиге параллельно неконтактируемым краям обкладок. 65 тивоположных сторон, величина смещения слоев в направлении, параллельном контактным площадкам, меньше,чем величина смещения слоев в направлении, перпендикулярном контактнымплощадкам, на 100 мкм. 5Величина смещения слоев в направлении перпендикулярном контактнымплощадкам, составляет 200 мкм, а величина смещения слоев в направлении,параллельном контактным площадкам, 10составляет 100 мкм,На фиг. 1 схематически изображенпредлагаемый электрический конденсатор, на фиг. 2 .- диэлектрическийслой, поперечный разрез. 15На подложке 1 электрического конденсатора расположены контактныеплощадки 2 и 8. Первый металлическийслой 3 напыляется на подложку и соединяется внахлест с контактной пло- щщадкой 2На этот металлический слой3 напыляется слой диэлектрика 4,Слой диэлектрика 4 смещен по отношению к металлическому слою 3 в направлении, которое не является параллель- д 5ным ни одному из краев первого металлического слоя 3. На слой диэлектрика 4 напылен второй металлическийслой 5. Он также сдвинут по отношению к слою диэлектрика 4 в направлении, которое не является параллельнымни одному краю слоя диэлектрика 4. Впоказанном примере сдвиг осуществляется в направлении диагонали квадратных слоев с 3 по 5. Слой диэлектрика 4 имеет краевую зону 7, в которой35его толщина сильно уменьшается и вконечном итоге сходит к нулю. Этакраевая зона возникает, например,при напылении слоя полимеризата отверждаемого действием тлеющего разряда в отверстии маски.Изображенная широкой штриховкойчасть слоя диэлектрика 4, лежащаяснаружи изображенной узкой штриховкой эффективной емкостной области бконденсатора, шире, чем краевая зона 7 слоя диэлектрика 4. Благодаряэтому в эффективной емкостной областиобеспечивается равномерная толщинадиэлектрика и тем самым равномерная,электрическая прочность,Слой диэлектрика 4, как и ,вило, толще, чем металлические слон 3 или 5. Из-эа этого область, покрытая полимеризатом, отверждаемым действием тлеющего разряда, возвышается под остальной частью, В эффективной емкостной области возникает еще одно повьааение из-за имеющегося там полного комплекта металлических слоев. Чтобы можно было сдвинуть маску при изготовлении конденсатора, не повредив при этом уже напыленные слои, маску перед сдвигом приподнимают на определенную величину, которая должна быть больше, чем сумма напыленных слоев за вычетом толщины металлического слоя одной полярности.Для контактирования обкладок вдоль расположенных друг против друга контактных площадок предпочтительно, если величина смещения в направлении, перпендикулярном к контактным площадкам, больше, чем величина смещения в направлении, параллельном контактным площадкам.Диэлектрические и металлические слои предпочтительно делать прямо угольными, При относительно узкой контактной площадке подходят, в частности, квадратные слои. Для прямоугольных и, в специальных случаях, квадратных, слоев предпочтительно, если величина смещения в направлении, перпендикулярном к контактной площадке, составляет 200 мкм, а в направлении, параллельном контактной площадке - 100 мкм.Величина смещения в направлении, параллельном контактным площадкам, учитывает перепад толщины поверхностного слоя полимеризата, отверждаемого действием тлеющего разряда. Величина смещения в направлении, перпендикулярном контактной площадке, учитывает дополнительно к перепаду толщину, необходимую для монтажа присоединительных элементов или контактных слоев ширину и допуски расстояния между присоединительными элементами или контактными слоями. Если для этого ширины недостаточно, то следует контактную площадку сделать шире, чем это необходимо для перепада толщины.Формула изобретения1. Электрический конденсатор, содержащий по меньшей мере два металлических слоя и слой диэлектрика, размещенные на подложке, причем каждый из слоев выполнен в виде параллелограмма и смещен относительно предыдущего слоя в направлении под углом к кромкам слоев, а металлические слои одной полярности имеют вывод вдоль1001871 г;1 НИИПИ Заказ 1473/79 Тираж 701 Подписноенлиал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул.Проектная,4 контактных площадок с противоположных сторон, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью обеспечения возможности надежного контактнрования и повицения емкостного использования поверхности конденсатора, величина сме-щения слоев в направлении, параллельном контактным площадкам, меньше величины смещения слоев в направлении, перпендикулярном контактньм площад-. кам, на 100 мкм.2. Конденсатор по п. 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что величина смещения слоев в направлении, перпендикулярном контактньм площадкам, со-,ставляет 200 мкм, а величина смещения слоев в направлении, параллельном контактныа площадкам, составляет 100 мкм.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе