Способ определения адгезии тонких пленок к подложке

1 н 993108 ОП ИСАЙКЕизовритенияК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспубпик(23) Приоритет Гесударетвехявй квинтет СССР яа евам хзабретеивй и етхритийОпубликовано 30,01.83. бюллетень М 4 Дата опубликования описания 30,01.83) ф "в7 Рдт.:Беноруссннй ардена Трудового Красного Знаменанй 4 ЙФрвйтдный /университет нм. В. И, Ленинав(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК К ПОДЛОЖКЕ1Изобретение относится к испытаниямматериалов, а именно к способам определения адгезни тонких пленок к подложкам.Известен способ определения адгезиипленки к подложке, заключающийся в том,что на подложку с отверстием наносит 5пленку, подают в отверстие жидкую среду под давлением и определяют времяотслоения пленки от подложки, по которому судят об адгезии 1 ,К недостаткам этого способа относ 1 йс. 10ся низкая точность определения адгезиииэ-за попадания пленки в отверстие пЮложки и невозможность определения щтгезии тонких пленок из-за их разрушенияпод давлением среды.Наиболее близким к предлагаемому потехнической сущности и достигаемому результату является способ определенияадгезии тонких пленок к подложке, зак 20лючаюшийся в том, что на подложку наносят пленку, на границу соединения пленки с подложкой воздействуют активнойжидкой средой и определяют время отслоа 2ния пленки от подложки, по которому судят об адгезии 21.К недостаткам известного способа относятся низкая точность определения адгезии, обусловленная произволом в определении времени отслаивания иэ-за неоднородности адгезии на различных участках соединения пленки с подложкой, и большая трудоемкость нри определении адгезии группы пленок исза их поочередного на несения на подложку и испытания.Бель изобретения - повышение точнооти определения адгезии н сокращение времени при испытании группы пленок.Для достижения поставленной цели сог ласно способу определения адгезии тонких пленок к подложке, заключающемуся в том, что на подложку наносят пленку, на гра ницу соединения пленки с подложкой воздействуют активной жидкой средой и определяют время отслоения пленки от подлож ки, по которому судят об адгезии, используют трафарет, с помошью которого наносят на подложку несколько одинаковыхВНИИПИ Заказ 445/58 Тираж 871 Подписное Филиал ППП фПатент", г. Ужгород. ул, Проектная, 4 3 99310рядом расположенных пленок, воздействиеактивной средой осуществляют одновременно на все пленки и определяют время очслоения заданного количества пленок, покоторому судят об адгеэии.Кроме того, количество отслоившихсяпленок задают равным половине их обшь- .го количества,Способ осуществляют следующим обраэоме 1 ОНа поверхность подложки устанавливаюФтрафарет, имеющий одинаковые рядом расположенные окна, например, в виде кругов,квадратов, элементов микросхем и т.пНаносят, например, термическим испарением 1на подложку через трафарет группу пленокиз испытуемого материала и после конден-сации пленок трафарет снимают, Разделенные на отдельные элементы пленки выравнивают неоднородности от обработки пьверхности подложки и обеспечивают равномерную адгеэию пленок к подложке.Подложку с нанесенными на нее пленками погружают в активную жидкую срду. При этом активная среда одновременно воздействует на границы соединениявсех пленок с подложкой. Воздействиеактивной среды осуществляют до отслоения заданного количества пленок от подложки, например половины их общего количества, и определяют при этом времяотслоения;. этого заданного количествапленок, а об адгезии всей группы пленоксудят по времени отслоения, заданногоколичества пленок.П р и м е р. Методом термическогоиспарения в вакууме на стеклянную подложку через бронзово-никелевый трафаретосаждают группу пленок меди толщиной1000 А.За одно напыление на поверхность подложки нанесено 280 пленок. Подложку спленками погружают в активную жидкостьдецинормальный раствор динатриевой солиэтилендиаминтетрауксусной кислоты. Наблюдают процесс отслоения пленок черезлупу и фиксируют время отслоения разлитогоо количества пленок, При этом устанавливают, что 140 пленок, т.е. половинаобщего количества испытуемых пленок,отслаивается за 2,5 мин, а время полно- Ого отслоения пленки достигает 14,5 мин.Анализ отслоения пленок от подложки по 8 4казывает, что время попного отслоения отдельной пленки не может служить объективной мерой .адгезионной связи. пленок с подложкой, так как адгезионная связь отдельных пленок в значительной степени неоднородна.Наиболее объективным показателем качества адгезии является время отслоения половины одновременно испытуемых пленок от их общего количества.Предлагаемый способ позволяет повысить точйость определения адгезии тонких пленок к подложке путем выравнивания адгезионной связи между пленкой и подложкой за счет нанесения группы пленок на одну поверхность подложки и сократить время испытания эа счет одновременного воздействия активной средой на все пленки и определения времени отслоения по времени отслоения заданного количества пленок. ф о р м у л а изобретения 1. Способ определения адгезии тонкихпленок к подложке, заключающийся в том,что на подложку наносят пленку, на гра-ницу соединения пленки с подложкой воздействуют активной жидкой средой и определяют время отслоения пленки от подложки, по которому судят об адгезии,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повышения точности определенияадгезии и сокращения времени при испытании группы пленок, используют трафарет, с помощью которого наносят на подложку несколько одинаковых рядом расположенных пленок, воздействие активнойсредой осуществляют одновременно на всепленки и определяют время отслоениязаданного количества пленок, по которому судят об адгезии.2. Способпоп, 1, отличаю -щ и й с я тем, что количество отслоившихся пленок задают равным половине ихобщего количества.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРМ 263976, кл. (3" 01 Й 19/04, 1967.Авторское свидетельство СССР