Номер патента: 894804

Авторы: Астров, Горькова, Карпеченков, Слушков, Шоткин

ZIP архив

Текст

Союз СоветскмкСоциалмстмческнхРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 894804(51) М. Кд. Н 01 С 7/00 Государственный комитет оо делам изобретений н открытий Опубликовано 30.12 81 Бюллетень М 48Дата опубликования описания 30.12,81 РЗ) УДК 621,396. ,69 (088,8) М. Г. Спупьков, В. И. Карпечепков, Л, И. Горькова,Е. И. Астров и Ю. А, Шоткине:(71) Заявитель Горьковский политехнический институт(54) РЕЗИСТИВНЫ 1 т МАТЕРИАЛ Изобретение относится к электронной технике, в частности к резисторостроению, и может быть применено в качестве проводящегоспоя для.тонкопленочных резисторов и дляэлементов схем, полученных методом ионноплазменного напыления.Известны резистивньте материалы на основе тутоплавких металлов и их соединений,применяемые для получент 1 я тонких пленокметодом ионно-плазменного напыления, напри 1 омер, Ог - 81, Ог - ЗЮг 11,Недостатком резистивных пленок, полученных из этих материалов, является высокийТКС (температурный коэффициент сопротивления) (13000-5000 10 б/ С) и плохая воспро 15изводимоеть результатов.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является сплав 2) хрома,кремния и вольфрама, который содержит,вес,%:Хром 52-60Кремний 34-47Вольфрам 1 - 6Недостатком известного резистивного материала является малый диапазон номиналов и высокий ТКС получаемых реэистивных пленок: тонкопленочные. резисторы имеют ТКС до + 1800 е 10 б 1/С и удельное злектросопротивление до 50 Ом/п.Цель изобретения - расширение диапазона значений удельного сопротивления и снижения температурного коэффициента сопротивления.Поставленная цель достигается тем, что в резистивный материал, состоящий иэ хрома, вольфрама и кремния, дополнительно введена двуокись марганца, при следующем соотноше нии компонентов, вес,%:Вольфрам 2 - 15Кремний 2 - 15Двуокисьмарганца 2 30Хром ОстальноеВведение в известный реэистивный материал двуокиси марганца позволяет снизить ТКС получаемых резистивных пленок, расширить диапазон их удельных сопротивлений, сохранить во всем диапазоне высокую стабильность их свойств во времени при температуре окружающей среды до + 200 С.894804 Таблица 1 Окись марганца Мп 01 КремнийСмеси Хром ВольфрамСг В 12 15 10 63 94 30 10 45 10 83 Таблица 2 Сплав Удельное сопротивление, Ом/г 1 ТКС, 101/ С 5 - 5000,8 - 150 50 - 5000 150 - -100 300 -- 15 150 - -150 0)8 - 250 150 -- 50 ВНИИПИ Заказ 1150 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Кроме того, введение МОО, способствует стеклообразованию, что позволяет получать более прочные мишени для ионно-плазменного юпы пения,В табл. 2 приведены результаты испытаний мощностью 0,5 Вт типа МЛТ, полученных на предельных и среднем составах предлагаемого ьвтериала, в том числе для удельных сонротивлений до 200 Ом/П приведены результаты, полученные как на безнарезных, так и на наКак видно иэ таблицы, полученные из предлагаемого сплава резистивные пленки имеют более широкий диапазон номиналов и более низкий ТКС, чем резистивные пленки, полученные из известного сплава,Этот резистивный материал в настоящее время находится на стадии внедрения в серийное производство и при внедрении позволит получить зкономический эффект, связанный с улучшением электрических характеристик по лучаемых из него резисторов. Формула изобретения Резистивный материал для изготовлениятонкопленочных резисторов, включающий хром,волБф 1 йм и кремний, о т л и ч а ю ш и й 4 П р и м е р, Для получения мишеней готовят 4 порошкообразные смеси, содержащие исходные компоненты в количествах (вес.%),приведенных в табл. 1, резных резисторах, а для удельных сопротив. лений свыше 200 Ом/о приведены результа. ты, полученные только на нарезных резисторах, что обусловлено ограничением до 200 Ом выл пуска в производстве беэнарезных резисторов типа МЛТ - 0,5 Вт.) с я тем, что, с целью расширения диапазона значений удельного сопротивления и снижения температурного коэффициента сопротивления, 40он дополнительно содержит двуокись марганца при следующем количественном соотношении компонентов, вес,%:Вольфрам 2 - 15Кремний 2 - 1545 Двуокисьмарганца 2 - 30Хром Остальное Источники информации,принятые во внимание при экспертизе50 1, Кондратов Н. М. Реэистивные материалы.-"Обзоры по электронной технике". Сер, "Ма.териалы". Вып. 4 (635), 1979, с. 23,2, Авторское свидетельство СССР Ио 376816,кл, Н 01 С 7/02 (прототип),551/83 Тираж 787 Подписное

Смотреть

Заявка

2872128, 22.01.1980

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3312, ГОРЬКОВСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

СЛУШКОВ МИХАИЛ ГРИГОРЬЕВИЧ, КАРПЕЧЕНКОВ ВАСИЛИЙ ИВАНОВИЧ, ГОРЬКОВА ЛЮБОВЬ ИВАНОВНА, АСТРОВ ЕВГЕНИЙ ИВАНОВИЧ, ШОТКИН ЮРИЙ АРОНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01C 7/00

Метки: материал, резистивный

Опубликовано: 30.12.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-894804-rezistivnyjj-material.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Резистивный материал</a>

Похожие патенты