Интерферометр для контроля формывогнутых сферических поверхностей

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ Сви ИТВЛЬСТВУ Союз Советских Социанистичесии к Республикс присоединением заявки Йо(23) Государстееииый комитет СССР ао делам изобретений и открытий(088. 8) Дата опубликования описания 230481" )"; 7,Г "."ц иМ Московское ордена Ленина и ордена Трудового Краснодар ДНамени Высшее техническое училище им. Н,Э.Ваумана " -"(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ,ФОРМЫ ВОГНУТЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы вогнутых сферических поверхностей при их изготовлении и аттестации.Известен интерферометр для контроля Формы сферических поверхностей, содержащий осветительную, систему расположенные последовательно по ходу лучей светоделитель, объектив, аплаиатический мениск и регистратор интерференционной картины (11.Однако интерферометр обладает сравнительно невысокой точностью кон" ,троля, обусловленной.тем, что цена интерференционной полосы равна половине длиныволны получения используемого источника и, кроме того, сравнительно высокая трудоемкостьконтроля из-за повышенной чувствительности интерференционной картины к децентрировкам контролируемой поверхности.Цель изобретения - повышение точ" ности и снижение, трудоемкости контроля.Поставленная цель достигается тем, что интерферометр снабжен плоским зеркалом с отверстием, устанавливаемым в фокальыой плоскости объектива отражающим покрытием к контролируемой поверхности, относительно центракривизны которой зеркало смещаетсяна величину, большую или равную д/4,где д .- диаметр отверстия, центр которого совмещен с Фокусом объектива.На чертеже представлена принципиальная схема интерферометра.Интерферометр содержит осветительную систему, выполненную в виде лазера 1 и микрообъектива 2, расположенные последовательно по ходу лучейсветоделитель 3, объектив 4, апланатический мениск 5 со светоделитель 15 ной поверхностью 6, плоское зеркало7 с отверстием 8,обращенное отражающим покрытием 9 к контролируемой поверхности 10, и регистратор 11 интерФеренционной картины,Ю Плоское зеркало 7 установлено так,что его отражающее покрытие 9 лежитв Фокальной плоскости объектива 4,а центр отверстия 8 совмещен с Фокусом Р объектива 4.25Плоское зеркалб 7 смещается относительно центра кривизны контролируемой поверхности 10 на величину,большую или равную й/4, где й - диаметр отверстия 8 плоского зеркала823845 Формула изобретения Составитель О. ФоминТехред Ж. Кастелевич Корректор В. Сини Ьдактор Н, Кончицк Тираж б 42 ВНИИПИ Государственного ко по делам изобретений и 3035, Москва; Ж, РаушскаяЗаказ 2082/5 Подписноеета СССРрытий.аб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектна 7, а центр кривизны С поверхности 10 лежит в плоскости покрытия 9.Интерферометр работает следующим образом.Излучение лазера 1 проходит микрообъектив 2, светоделитель 3, объектив 4 и падает на светоделительную поверхность б апланатическогомениска 5 по нормалям к ней. Часть йэлучения отражается.от светоделительной поверхности б и образуетволновой фронт сравнения. Другаячасть проходит светоделительную поверхность б, отверстие 8 плоскогозеркала 7, отражается последовательно от контролируемой поверхности 10,плоского зеркала 7 и вновь от контролируемой поверхности 10, повторно ,проходит через отверстие В плоскогозеркала 7 и объединяется с волновымФронтом сравнения на светоделительной поверхности 6 апланатического 20мениска 5.Объединившиеся волновые франтыинтерферируют и поступают в регистратор 11 интерференционной картины,Изменение настройки интерферометра осуществляется малыми подвижками(на чертеже не показаны) апланатического мениска 5 вдоль и перпендикулярна оптической оси.Вследствие того, что лучи светаотражаются от контролируемой поверхности дважды, цена одной интерференционной полосы равна й /4, где Ядлина волны излучения используемогоисточника, что повышает чувствительность интерферометра в два раза посравнению с известным. Плоское зеркало 7 образует совместно с контролируемой поверхностью 10 систему кошачий глаз, что значительно снижает чувствительность интерферометра к децейтрировкам контролируемой поверхности 10.Повышение точности и производи-. тельности контроля достигается за счет введения плоского зеркала 7 с отверстием 8, установленного определенным образом в схеме интерферометра. Интерферометр для контроля формы вогнутых сферических поверхностей,содержащий осветительную, систему, расположенные последовательна по ходу лучей светоделитель, объектив, апланатический мениск и регистратор интерференционной картины,а:т л ич а ю щ и й с я тем, чта, с целью повышения точности и снижения трудоемкости контроля, ан снабжен плоским .зеркалом.с отверстием, устанавливаемым в Фокальной плоскости объектива отражающим покрытием к контролируемой поверхности, относительно центра кривизны которой зеркало смещается на величину, большую или равную й/4, где й - диаметр отверстия, центр которого совмещен с фокусом объектива.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР ,Р 28430 б, кл. 6 01 В 9/02, 1970,у.Ю