Привод подвижного зеркала интерферометра

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалистическихРеспублик(22) Заявлено 100179 (21) 2711249/25-28 (51) М, Кл. с присоединением заявки Мо(23) Приоритет С 01 В 11/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытийДата опубликования описания 231180(72) Авторы изобретения Г,К.Кладов и Д.А.Шакуля Физико-технический институт низких температур АН Украинской ССР( 54) ПРИВОД ПОДВИЖНОГО ЗЕРКАЛА ИНТЕРФЕРОМЕТРА Изобретение относи им устройствам и мож овано для перемещени ания подвижного эерк чес- поль- ониро- ерометтся к опт ет быть и я и поэиц ала интер и пектрометрах точнаммы зависит от узла и системы управл точной.Известен и держит делител волновую плас из которых со пьезокристалл тодетектор, с является функ ностей пучков ый сотверть одно 2 ским на, фоторого нсив- змы 1 3 терферометр,кото ь пучков света,ч инку,два зеркала мещено с керамич м, призму Воласт гнал на выходе к ией разности инт выходящих из пр 5 0 ра.В Фурье-с ость интерферогр годвижного зеркала ения его приводом.При слабых потоках излучения время измерения одной точки интерферограммы может составлять минуты, поэтому требуется удерживать оптическую разность хода с заданной точностью практически неограниченное время. Стабильность оптической разности хода только за счет. конструктивных мер ,подбор материалов,виброэащита и т.п.) присуща для больших длин волн, а видимая или ближняя инфракрасная область спектра оказывается недостасигнал интегрируется и поступает наьеэокристалл для поддержания разности хода пучков на .постоянном уровне 11Недостатком известного устройства является то, что для работы требуется высокое (порядка нескольких киловольт) напряжение, что вызывает трудности в управлении, особенно в условиях вакуумирования, как зто часто требуется для фурье-спектрометров.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является привод подвижного зеркала интерферометра, содержащий блок фотоприемников, оптически связываемый с интерферометром, блок управления, информационный вход которого подключен к выходу блока фотоприемников, коммутатор, информационный вход которого подключен к выходу блока фотоприемников, а управляющий вход - к первому выходу блока управления, аналоговый ключ, информационный вход которого подключен к выходу коммутатора, усилитель, вход которого подключен к выходу аналогового ключа, механически связывае" мый с зеркалом исполнительный элемент, вход которого соединен с выходом усилителя, и реверсивный счетчик, вход781562 20 25 формула изобретения которого соединен с выходом блока уп-,равления (2.Недостатком устройства являетсято,что сигнал рассогласования имеетнужный для стабилизации знак тольков пределах от заданной точки9.5позиционировайия.Воздействие ударов вибрациЯ, вызывающих отклонение на большую величину,приводит к перемещению точки удержания на величину, кратную периоду.Цель изобретения - повышение виброустойчивости,Поставленная цель достигается тем, что привод снабжен блоком сравнения, вход которого подключен к выходу реверсивного счетчика, а первый выход - к управляющему входу аналогового ключа, блоком коррекции, вход которого подключен ко второму выходу блока - . сравнения, и ключом, информационный вход которого подключен к выходу блока коррекции, управляющий вход подключен ко второму выходу блока сравнения, а выход - ко входу усилителя. На чертеже изображена блок-схемапривода.Привод подвижного интерферометра1 с источником 2 опорного излучения, 30например гелий-неоновым лазером, содержит блок 3 Фотоприемников, оптически связываемый с интерферометром,блок 4 управления, коммутатор 5, входкоторого подключен к выходу блока Управления, аналоговый ключ б, усили"тель 7, вход которого подключен к выходу аналогового ключа, исполнительный элемент 8, реверсивный счетчик 9,блок 10 сравнения, блок 11 коррекции,ключ 12, выход которого подключен ко 40вХоду усилителя 7,Работа привода осуществляется сле"дующим образом. Опорное излучение с длиной волны 45 %о от источника 2 вводится в интерферометр 1. Любым известным способом с выхода блока 3 фотоприемника получают два сигнала, сдвинутые по фазе на четверть длины волны один из кото рых АЬп - х, другой Асов х .Сиго оналы поступают в блок 4 упрМЬления, который вырабатывает сигналы + 1 и - 1 для реверсивного счетчика 9 (с пери"о (оодом следования А , -- в зависимости от установлений дискретности счета) . Кроме того, блок 4 управления вырабатывает сигналы управления коммутатором 5, который подготавлй вает сигнал для исполнительного элемента 8.Текущее значение кода и реверсив" ного счетчика 9 с помощью блока 10 65 сравнения постоянно сравнивается сзаданным кодом п, В момент подачи нареверсивный счетчик 9 сигнала " 1 или+1 текущее значение оптической разности хода связано с кодом счетчикавыражением 0Х = - иК Мгде К - коэффициент, зависящий от дискретности счета К = 1,2 и 4,По достижении кодом счетчика и"заданного значения по, сравнивающееустройство вырабатывает сигналЬ и=О,по которому открывается ключ б, ианалоговый сигнал АэЫ. (х-х) с комййомутатора 5 поступает через усилитель7 на исполнительный элемент 8, замы 1 кая цепь отрицательной обратной связи.Если теперь на зеркало подаетсявоэмуцение, вызывающее изменение кода счетчика, на выходе блока 10 сравнения появляется сигнал Д и 4 О.СигналЬ и0 поступает на вход блока11 коррекции, который вырабатываеткорректирующий сигнал, например,в виде ь 9 и (4 и ) и открывает ключ 12, посредством которого корректирующийсигнал подается на исполнительный элемент 8.Канал регулирования, включаюцийкоммутатор 5 и аналоговый ключ б приэтом отключается,Чувствительность канала регулирования, включающего блок корректирующего сигнала 11 и аналоговый ключ 12равна установленной дискретности счета.Регулирование положения подвижногозеркала интерферометра в соответствии с описанной схемой позволит повысить. виброустойчивость системы измерения при возмущениях, вызывающих перемещение подвижного зеркала большее,чем установленная дискретность счета. Привод подвижного зеркала интерферометра, содержащий блок фотоприемников, оптически связываемый с интерферометром, блок управления, информационный вход которого подключен к выходу блока фотоприемников, коммутатор, информационный вход которого подключен к выходу блока фотоприемников, а управляющий вход - к первому выходу блока управления, аналоговый ключ, информационный вход которого подключен к выходу коммутатора, усилитель, входкоторого подключен к выходу аналогового ключа, механически связываемый с зеркалом исполнительный элемент вход которого-соединен с выходом усилителя, и реверсивный счетчик, вход которого .соединен с выходом блока уп равления, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения виброус8110/40 Тираж 801 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., додписно Заказ 4/5 Филиал ППП Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 тойчнвости, он снабжен блоком сравнения, вход которого подключен к выходу реверсивного счетчика, а первыйвыход - к управляющему входу аналогового ключа,.блоком коррекции, вход которого подключен ко второму выходублока сравнения, и ключом, информадионный вход которого подключен к выходу блока коррекции, управляющийвход подключен к выходу блока сравнания, а выход подключен ко входу усилителя.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Франции Р 2145345,кл. 6 01 В 9/00, 1973.2, Инфракрасная аппаратура высокого разрешения. Под ред. Г.Н.Шишина,М фМир, 1972, с. 23, 88 (прото