Привод подвижного зеркала интерферометра

) Заявлено 17 2.75(И) 2300461/18-25заявкис нрнсоединени куФрствеемй виатет ссср еа делам юзаоретеей и открытий5.01,79 Яюллетеиь Яованин описания 06.01,7(54) привод подвижного зи клпА интерком омсп л Изобретение относится к оптико-интерференционным устройствам и может быть использовано в быстросканирующих Фурьеспектрометрах низкого разрешения и спектрометрах Фабри-Перо.Известны приводы подвижного зеркала интерферометров, в которых для перемещения зеркала используются пьеэодвигатели 1, либо линейные двигатели электромех а ничес кого тина Р ) .Известный привод подвижного зеркала интерферометра 3) содержит неподвижный шток и мембраны, укрепленные с одной стороны на штоке, а с другой - на неподвижном основании,Недостатком известного устройства является наличие паразитной модуляции на выходе интерферометра, которая обусловлена наличием переменной составляющей наклонов зеркала при движении, вследствие ошибок соосности и параллельности установки мембран, приводящей к паразитной модуляции полезного сигнала,Целью изобретения является уменьшение паразитной модуляции выходного сигнала.Указанная цель достигается тем, что в приводе подвижного зеркала интерферометра известной конструкции, содержащем шток, ненодвнжное основание и мембраны, укрепленные с одной стороны на штоке, а с другой - на неподвижном основании, он снабжен двумя рамками с выступами, прн этом. рамки установлены на неподвижном основании, а одна мембрана защемлена между выступами.Конструкция привода подвижного зеркала изображена на чертеже.Устройство содержит неподвижное зеркало 1, подвижное зеркало 2, подвижный шток 3, неподвижное основание 4, мембраны 5 и .6, рамки 7 н 8 с выступами и дви.гатель 9.Привод работает следующим образом. т 5 . В сканирующем интерферометре неподвижное зеркало 1 расположено параллельно подвижному зеркалу 2, которое установлено иа нодвчжном штоке 3, соединенном с неподвижным основанием 4 мембранами о и 6.Мембрана б защемлена между соеднненны ми с неподвижным основанием рамками 7 н8, имеющими выступы. Подвижный шток соединен с двигателем 9.Оптическое излучение, попавшее в интерферометр, подвергается многократному от641273 формула изобретения а Составитель А Текрел О. Луго Тираж Уба ЦИИИГИ Государственного к но Ледам изооретеннй 13 О 35, йоскаа, Ж.35, Раув над ППП Патент, г. УжгоМелае Корректор Л. ВеседовскПодписноеСССРрытийб., д. 4/5Проектная, 4 Редактор В. СмирягннаЗаказ 7494/35 митета и отк скан и ражению между неподвижным 1 и подвиж. ным 2 зеркалами. Перемещение зеркала 2 линейно, параллельно самому себе и воз. вратно-поступательно осуществляется изменением разности хода интерфериру 1 О 1 цих пучков, т. е. Происходит сканирование, результатом которого является переменная интер. ференционная картина. При установке подвижного зеркала на подвижном штоке 3 такое перемещение происходит под действием привода 9, например линейного двигателя электродинамического типа. При наличии несоосности Или непараллельности установки мембран между зеркалами имеет место угол наклона, который при движении является переменной величиной. Он обусловливает пе ременную контрастность интерференционной картины, что проявляется в виде паразнтной модуляции интерферограмм ы. Юстировка сканирующего интерферометра производится в два этапа: в статике и динамике, Б статике юстировка осуществляется для одного положения зеркал. При этом предвари- тельной параллельности зеркал добиваются изменением их взаимного положения. Статическая юстнровка не позволяет обнаружить погрешностей в изготовлении мембран и сбор ке всего янтерферометра. В динамике имеет местО второй этап 1 Остнровки, при котором в процессе перемещения зеркала и при не.прерывной регистрации интерферограммы производится изменение давления рамки 8 с выступамн на мембрану 6 посредством не- прямолинейного изменения положения р;1 мки 8. Это сопровождается натяжением мембраны и перемещением подвижного штока 3 в направлении натяжения.Процесс юстировки сканиру 1 ощего интерферометра продолжается до исчезновения паразитной модуляции полезного сигнала,В таком положении рамка 8 жестко фиксируется,Данный сканирующий интерферометр по сра вне нрпо с аналогами имеет большее быстродействие и большую величину изменения разности хода, что обеспечивает высокую производительность и спектральное раз. решение спектрометров, а по сравнению с прототипом имеет более высокую контрастность интерференционной картины, вследствие уменьшения углов наклона зеркала при перемещении, что сопровождается уменьшением паразитной модуляции выходного сигнала интерферометра,т. е. увеличением спектрального разрешения спектрометра и точности измеряемого спектра. Привод подвижного зеркала интерферометра, содержащий шток, неподвижное основание и мембраны, укрепленные с одной стороны на штоке, а с другой - на неподвижном основании, отличающийся тем, что, с целью уменьшения паразиткой модуляции выходного сигнала, на неподвижном основании установлены две рамки с выступами, а одна мембрана защемлена между выступами. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Интерферометр Фабри-Перо. Приборы для научных исследований, О, 1966, с. 103.2. Интерферометр Фабри-Перо с электромеханической системой сканирования, ПТЭ4, 1967, с. 235,3. Сканирующий интерферометрЭ.И; 1(.И.Т.14, фер. 78, 1965.