Резистивный материал

Союз Советскиз Социалистическими РеспубликОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ пп 791783 АВТОРСКОМ И ЕТЕЛЬСТВУ Дополните ное к авт. свид-ву) Заявле 2,79 (21) 2733349/18 л. С 27/02 В 1/02 исоединением заяви сударственный комитет СССР по делам изобретений и открытий) Приорите Опублико плетень Йо 48 но 30,12,80 53) УД,8) та опубликования описания 30,12(54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИА к области - ть испольпеременных очных резисх аттенюатоИзобретени радиотехники зовано при из ниэкоомных ме торов и плавн е относитс и может бы готовлении талло-плен опеременны аВ известных резистивных элементах в качестве резистивного материала для уменьшения контактного сопротивления использованы пленки благородных металлов, например, палладия 111 Однако этот материал не обеспечивает требуемой износоустойчивости.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является резистивный материал, используемый для создания постоянных металлопленочных резисторов с низким температурным коэффициентом сопротивления и высокой стабильностью. Он содержит от 50 до 90 вес. металла, выбранного из группы:платина,родий,иридий, палладий, золото, серебро и не менее, чем два металла выбранных иэ группы: вольфрам, рений, тантал, молибден, гафний, цирконий, ниобий в количестве от 10 до 50 вес. 12.Однако использование этого сплава в тонкопленочных переменныМ резис-. торах не позволяет получить высокую износоустойчивость резистивных элементов, так как его основу 50-90составляет относительно мягкий ниэкоомный благородный металл.5 Цель изобретения - повышение износоустойчивости.Для достижения поставленной целирезистивный материал, содержащийтантал и палладий, содержит исходные 10 компоненты в следующем соотношении,вес.:Тантал 55-94Палладий 6-45.Содержание палладия в слое эа 15 пределами 6-45 вес. приводит к значительному ухудшению свойств материла.Например, уменьшение содержанияпалладия до 3 вес. при прочих равных условиях приводит к возрастанию 20 контактного сопротивления до 21 Ом,а увеличение содержания палладиядо 50 вес. ведет к потере иэносоустойчивости. Необратимое относительное изменение сопротивления резистив ного слоя с 50-ным содержаниемпалладия достигает 15 через 100000перемещений подвижного контакта,Нанесение тонкопленочных слоевиз предлагаемого резистивного мате риала осуществлялось на подложке из791783 сопротивление осаждаемой пленкипо контрольному образцу. Варьируяскоростями осаждения тантала и палладия, получали пленки резистивногоматериала с различным соотношениемкомпонентов.Основные характеристики пленок,полученных иэ предлагаемого реэистивного материала с различным содержанием тантала и палладия, приведеныв таблице.16 21 12 0,5 0,2 100 97 94 0,2 0,6 80 40 1,2 1,5 0,5 60 40 55 45 50 50 0,5 8,0 152,0 20 0,4 4,0 16 Из таблицы следует, что на основе реэистивного материала могут быть получены тонкопленочные резисторы с удельным поверхностным сопротивлением.20-80 Ом/п, выдержиьающие до 100000 циклов перемещений подвижного контакта иэ графита при нагрузке на него 3,7 10н/м, Относительное изменение сопротивления при этом составляет 0,6-0,8, а контактное сопротивление находится в пределах 0,5-12 Ом, В то время, как у переменных металлопленочных резисторов, тяпа СП 2-3 необратимое изменение сопротивления уже 4 О после 500 циклов перемещения скользящего контакта может достигать 10.Уменьшение содержания палладия в предлагаемом материале менее 6 приво дит к резкому возрастанию контактного сопротивления, а увеличение его выше 45 - к потере иэносоустойчивости.Использование реэистивного материала с предлагаемым содержанием исходных компонентов позволяет получить тонкопленочные реэистивные слои с высокой износоустойчивостью при одновременном сохранении малого по величине и стабильного в процессе эксплу- атации контактного сопротивления, т.е. дает возможность создавать значитель- И Формула изобретения Составитель В. Ленская Техред М,Голинка Корректор Л, Иван Редактор Т.Рыбалов Заказ 9403/26 Тираж 694 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ситалла путем одновременного испарения в вакууме иэ отдельных источников массивного тантала и палладия,причем испарение тантала производилось иэ электронно-лучевого испарителя, а палладия - из реэистивного.Давление остаточных газов в вакуумной камере составляло 1,3 10Па.В процессе напыления контролироваласьгемпература подложки, скорость испарения тантала и палладия, а также ное контактное давление в 5-10 разпревышающее давление в известныхконструкциях металлопленочных потенциометров. Это позволяет избежатьпоявления "дробовых" эфФектов при перемещении подвижного контакта по резистивыому слою, которые особенноотрицательно сказываются на характеристиках плавнопеременных аттснюаторовпри этом уменьшается начальный скачоксопротивления и расширяется частотныйдиапазон работы плавнопеременныхаттенюаторов. Реэистивный материал, содержащийтантал и палладий, о т л н ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения.износоустойчивости, он содержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес.:Тантал 55-94Палладий 6-45Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1.Патент США 93629776,кл. 338-140,1 опублик. 1975.2.Патент США 93833410,кл.117/227,опублик. 1977 (прототип),