Манипулятор для измерения барьерных емкостей поверхностно барьерных структур

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик 11 764977 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51) М. Кл. В 25 1 15/00 Государственный комитет Опубликовано 23.09.80. Бюллетень35Дата опубликования описания 28.09,80по делам изобретений и открытий(71) Заявитель Одесский государственный университет им, И. И, Мечникова(54) МАНИПУЛЯТОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ БАРЬЕРНЫХ ЕМКОСТЕЙ ПОВЕРХНОСТНО-БАРЬЕРНЫХ СТРУКТУРИзобретение относится к электронной технике, непосредственно для измерения барьерных емкостей (менее 0,3 пф) поверхностно- барьерных структур, Манипулятор может быть применен на преприятиях, занимающихся изготовлением и исследованием поверхностно-барьерных структур, имеющих малые барьерные емкости.Известен манипулятор для измерения электрических параметров полупроводниковых структур, содержащий пьедестал и контактный зонд 11.Однако этот манипулятор не позволяет измерять барьерные емкости поверхностнобарьерных структур.Наиболее близким устройством является манипулятор для измерения барьерных емкостей поверхностно-барьерных структур, содержащий металлизированный подвижный пьедестал, на котором устанавливается с поверхностно-барьерными структурами полупроводниковая пластина, оптическим контактом к пьедесталу и контактный зонд 21.Недостатки манипулятора следующие: наличие паразитной емкости порядка 0,3 пф между контактным зондом и полупроводниковой пластиной понижает точность измерения и не позволяет измерить барьерные емкости менее 0,3 пф.Цель изобретения - повышение точностиизмерений за счет уменьшения паразитной емкости - достигается тем, что над полупроводниковой пластиной расположен заземленный электрод, размером не менее величины пластины и жестко связанный с пьедесталом, имеющий две взаимно перпендикулярные щели для контактного зонда. Паразит 1 О ная емкость между полупроводниковой пластиной и контактным зондом практически отсутствует, так как они разделены заземленным электродом.На фиг. 1 изображен общий вид предлагаемого манипулятора; на фиг. 2 - то же, вид сверху.Предлагаемый манипулятор содержитподвижный пьедестал 1, на котором расположена полупроводниковая пластина 2 с поверхностно-барьерными структурами 3, рас О положенными на полупроводниковой пластине; контактный зонд 4, осушествляюший контакт с измеряемой поверхностно-барьерной структурой; заземленный электрод 5, размером не менее размера пластины, имею.,сщий две взаимно перпендикулярные щелидля контактного зонда, жестко связанныйс подвижным пьедесталом, электрическиестойки 6 для крепления заземленного электрода к подвижному пьедесталу; две взаимно перпендикулярные щели 7 в заземленномэлектроде для контактного зонда.Работает устройство следующим образом,На пьедестале 1 устанавливается полупроводниковая пластина 2 таким образом,чтобы она полностью находилась под заземленным электродом 5. Пьедестал 1 перемегцарется в горизонтальной плоскости таким образом, чтобы сдна из поверхностно-барьерных структур 3 оказаласьпод кончиком контактного зонда 4. Контактный зонд 4 опускается до соприкосновения е поверхностнобарьерной структурой 3. Производится отсчет барьерной емкости по измерителю емкости. После этого контактный зонд приподнимается и перемещением пьедестала под егокончик подводится следующим измеряемыйповерхностно-барьерный диод.20Применение предложенного манипулятора позволяет измерить барьерные емкостиповерхностно-барьерных диодов порядка0,003 - 0,004 пФ, что важно при разработкеСВЧ-диодов миллиметрового диапазона, все то время как с помощью известных устройствнельзя замерять барьерную емкость менее0,3 пФ,Манипулятор для измерения барьерныхемкостей поверхностно-барьерных структур,содержащий металлизированный подвижныйпьедестал, на котором установлена с поверхностно-барьерными структурами полупроводниковая пластина омическим контакттом к пьедесталу и контактный зонд, отличаюи 4 ийся тем, что, с целью повышения точности измерения за счет уменьшения паразитной емкости, над полупроводниковой пластиной расположен заземленный электрод,размером не менее величины пластины,жестко связанный с пьедесталом и имеюгций две взаимно перпендикулярные щелидля контактного зонда.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР51830, кл. В 25 Х 15/00, 1976,2. Смирнов Ю. С, и др. Заводская лаборатория,7, 1975, с. 20 - 21 (прототип).СосТехре Тираж ПИ Государсделам изоб Москва, Ж - П Патент,витель ЕК. Шуф1033 твенного ретеннй 35, Рауш г. Ужгор Редактор П. ГорьковаЗаказ 6404/14ВНИИпо113035,Филиал ПП. Косиноврлч Корректор МПодписноекомитета СССРи открытийская наб. д. 4/5од, ул. Проектная,ароши