Интерферометр

( 171 2654 ОПИСАНИЕ йЗОьРЕ 1 ЕНИЯ Союз Советских СоцИалистических Республик(51) М, 1 л.-6 018 9/О нением заявкирисо Гасударственные комитет СССР по делам изобретений и открытий(71) Заявитель восибирскии электротехническии инстит(45) Дата опубликовани Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано, в частности, для измерения смещения некоторой контролируемой поверхности относительно опорной, для из мерения изменения длины тела и изменения показателя преломления прозрачных объектов под влиянием различных воздействий.Наиболее близким к изобретению по сво ей технической сущности является интерферометр, содержащий источник света, одинаковые плоскопараллельные прозрачные пластины, установленные так, что луч света падает на первую пластину под углом 5 45, а вторая пластина расположена параллельно первой на пути луча, прошедшего первую пластину, опорное зеркало, расположенное так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии, соединяю щей центры плоскопараллельных прозрачных пластин, предметное зеркало и регистрирующий узел 11).Известный интерферометр позволяет измерять смещение поверхностей. В этом слу чае опорное зеркало неподвижно, а предметное зеркало связывается с перемещаемой поверхностью, В этом интерферометре отражающие поверхности опорного и предметного зеркал перпендикулярны, что за- ЗО трудняет измерение изменения длины тела под влиянием различных воздействий, например в дплатомстре, т, е. ограничивает функциональные возможности пнтерферометра.Целью изобретения является расширение функциональных возможностей интерферометра, например возможности измерения с помощью одного и того же интерферометра смещения некоторой контролируемой поверхности относительно опорной, изменения длины тела и изменения показателя преломления прозрачных объектов под влиянием различных воздействий,Цель достигается тем, что плоскопараллельные прозрачные пластины установлены под углом 90" одна к другой, а предметное зеркало расположено так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии, соединяющей центры этих пластин.На фиг. 1 изображена принципиальная схема интерферометра в случае измерения смещения контролируемой поверхности объекта относительно опорной поверхности; на фиг. 2 - то же, в случае измерения изменения показателя преломления прозрачного объекта; па фиг. 3 - то жс, в случае измерения изменения длины объекта.Интерферометр содержит источник 1 света, одинаковые плоскопараллельные про712654 г,Составитель Л, Лобзовахред А, Камышникова роекторы: А, Галахова и О. Данишева актор Т. Морозова Изд.124рственного комитета СССР3035, Москва, Ж, Раушск Заказ 2790/16НПО Поиск Гос ипография, пр. Сапунова зрачные пластины 2 и 3, установленные под углом 90 одна к другой, опорное зеркало 4, расположенное так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии 00, соединяющей центры пластин 2 и 5 3, предметное зеркало 5, расположенное так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии 00, и регистрирующий узел 6.Интерферометр работает следующим об разом.Луч света от источника 1 падает на пластину 2 под углом 45 и расщепляется на два параллельных луча, которые проходят пластину 3, после чего один из них (опор ный) попадает на отражающую поверхность опорного зеркала 4, другой (предметный) - на отражающую поверхность предметного зеркала 5. Отраженные опорный и предметный лучи попадают на 20 пластину 3 и после отражения от ее граней интерферируют. Интерференционную картину наблюдают с помощью регистрирующего узла 6.В случае измерения смещения контроли руемой поверхности объекта 7, связанного с зеркалом 5, относительно опорной поверхности зеркала 4 и измерения изменения длины объекта 7 (см, фиг. 1 и 3), разность хода интерферирующих лучей изменяется и 30 происходит смещение интерференционной картины. Го величине этого смещения можно рассчитать искомые величины по общепринятой методике.Гри измерении изменения показателя преломления объекта 7 (см. фиг. 2) разность хода опорного и предметного лучей изменяется за счет изменения оптического хода луча, прошедшего через исследуемый объект 7. Формула изобретения Интер ферометр, содержащий источник света, одинаковые плоскопараллельные прозрачные пластины, предметное зеркало, опорное зеркало, расположенное так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии, соединяющей центры плоскопараллельных прозрачных пластин, и регистрирующий узел, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, плоскопараллельные прозрачные пластины установлены под углом 90 одна к другой, а предметное зеркало расположено так, что его отражающая поверхность перпендикулярна к линии, соединяющей центры этих пластин. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Коломийцов Ю. В, Интерферометры.Ленинград, Машиностроение, 1976, с. 52 -55 (прототип). раж 810 Подписноеделам изобретений и открытийнаб., д, 4/5