Керамический материал

ОНИЙЗОБРЕХЕНИЯ Соаа Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 141 77 Р 1) 2544483/29-33 С 04 В 35/10 с присоединением заявки Й 9 Государетвениый комнтет СССР до делам изобретений и откоытий(54) КЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ Окись алюминия,обожженная в средесухого водородаОкись галлия 99, 5-99, 9200,1 т 0,5 Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может бытьиспользовано для изготовления высокотемпературных изделий, работающих в интервале температур до 315 ос,в том числе конденсаторов, подложекдля микросхем и оснований резисторовВ настоящее время как в отечествен.ной, так и зарубежной технике дляизготовления различного вида подложек, работающих при высокой температуре, используют корундовуюкерамику с небольшими добавками дляснижения температуры спекания,Известен керамический материал1), содержащий, вес, е: данный материал опекается при 1 б 7030 С в вакууме с остаточным давлением не более 10 ф ьм, рт.ст, Микропористость керамики1. Материал имеет трудоемкую технологию изготовления, так как обжиг глинозема в среде сухого водорода малопроизволителен из-а отсутствия в промыаленности печей большого габарита.Наиболее близким техническим решением к данному является используемый в СССР для изготовления подложек микросхем керамический материал Поликор, в который в качестве минерализатора к окиси алюминия добавляют различные соли магния в количестве 0,2-0,25 вес.В в пересчете на М 90 2, Поликор характеризуется высокими физическими и диэлектрическими свойствами, спекается в вакууме при температуре порядка 1750 фС. Материал обладает механической прочностью порядка 3000-3500 кг/см, диэлек-. трической проницаемостью Г = 10,5- 10 8 при частоте 10 Гц; т.цд при 20 С 10 удельным объемом электро 1сопротивлением при 100 ВСб, при 400 Сом си.В связи с высокой температурой спекания этого материала его изготовление в производстве представляет значительные трудности,Целью изобретения является снижение температуры спекания при сохра - ненни высоких диэлектрнЧеских характеристик в широком интервале температур, что обеспечит возмож99,0-99,8100,2-1,0 Окись алюминия Двуокись цирконияили гафния Предлагаемый материал с добавкой Н 10 Температу ра спекания, аС Р,ам с цзя /с)10 10 610+ 00+ 1 3) ОО 310"101320 200 ест афн омп ия и двуокись циркоующем соотношес.: добавк при сл ентов,ериала в конденса и ям: 1 а м д в и 9,0-9 кись алюмин кись цирко или г ния Дв ни я тиз ССР 1,94568 2,ки и о ва. М ству,аж 70рамиудникоельл, Проектная,4 жго од Г,ность использования материала наряду с изготовлением подложек для изготовления высокотемпературных конденсаторов, работающих при 315 С,Поставленная цель достигается тем, что керамический материал на 5 основе окиси алюминия с добавками содержит в качестве последних двуокись циркония или гафния, вес.: П р и м е р 1В вибромельницу загружают порошок глинозема 99,8 и добавку двуокиси гафния 0,2, формуют 15 заготовки и спекают их при 1570- 1630 С. Электриче кие характеристики материала: ф 1 при 315 С(3-4)10;315 С: 10 - 10 з ам смП р и м е р 2, Материал, содер жащий глинозема 99 и 1 двуокиси гафния или циркония имеет температуру спекания 1580-1640 С,Электрическиео хаюактеристики материала:96 315 С (3-10) 10 Рч 315 С=10 - 10 амсм.П р и м .е р 3, При содержании в материале 99,5 .АУО и О, 5 двуокиси циркония, температура его спекания составляет 1580-1640 С. ЭлектриПри использовании аткачестве диэлектрика ля тров он отвечает требо ан315 не более 1010 ф и р 315 нменее 10 Ийч сиТКЕ материалов с добавками НХОколеблется в пределах +(95-126)1/ С 10 Б; с добавками Е О в прегО-6 2лах +(100-:139) 1/ С 10Формула и зобрет ени,яКерамический материал на основеокиси алюминия с добавками, о т лч а ю щ и й с я тем, что,с цельюснижения температуры спекания присохранении высоких диэлектрическиххарактеристик, он содержит в каЦНИИПИ Заказ 6541/5Филиал ППП Патент,ческие характеристики: ф 3150 С (6-10) 10 , Р 315 С: 10 ам г.Компоненты (глинозем и добавку) измельчают в вибромельнице в течение 10-12 час до размера частиц не более 2,5 мкм, затем готовят образцы либо прессованием дисков, либо отливкой через фильеру пленки, на которые наносят серебряные или Мо,-Мп электюоды Образцы обжигают при 1600130 С в воздушной среде или 1580+300 С в вакууме при Мо-Мп металлизации, и получают дисковые или монолитные конденсаторы или подложки для различного вида микросхем.Предлагаемый материал характеризуется широким интервалом спекания при,наличии небольшой микропористости: при обжиге в воздушной среде микропористость - 5; при спекании в вакууме - 2,при сохранении размера,пор 5 мкм и менее, что делает воэможным изготовление этих материалов по пленочной технологии (1 50 мкм) Г изгиба образцов - 3500 кг/см(ср,знач.)Ниже в таблице приведены некоторые свойства данного материала,аф 0,2-1,Источники информации,ые во внимание при экспе Авторское свидетельство 2, кл.С 04 В 35/10, 1972 Химическая технология ке гнеупоровПод.ред,П,П.Ь Литература по строит 1972, 310-319. Подписное