Резистивный сплав

Союз Советских Социапмстмцеских Респубпнкц 11647750 1) Дополнительное к авт. свиа в 22) Заявлено 23. 09,77 (21) 2527311 П 8-21с присоединением заявки Ое -51) М, Кл."Я 01 С 7/06 С 22 С 27/О Госудорстеенный комитет СССР по делам необретеннй н открытнй(54 ИВНЫИ СПЛ. меет недостат турного коэфф Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении высокоомных резистивных элементов интегральных схем.Известен резистивный материал для изготовления тонкопленочных резисторов, содержащий хром, окислы кремния и других металлов 11.Недостатком этого материала являются сравнительно высокий температурный коэффициент сопротивления, что не позволяет изготавливать прецизионные резисторы с ТКС порядка 10 5 град , узкий диапазон удельного поверхностного сопротивления пле. нок на его основе и невысокая стабильность сопротивления.Известен также резистивный сплав, содержащий хром, кремниЙ, церий и металл переходной группы 2).Однако этот материал иочно низкое значение темпера ц. циента.Цель изобретения - снижение температурного коэффициента сопротивления.Это достигается тем, что резцстцвный сплав, содержащий хром, кремний, ц рцй илц магний и металл переходной группы, содержит в качестве металла переходной группы тантал при следующем количественном соотношении компонентов, вес.%:Хром 36,0 - 40,9 Тантал 5,0 - 19,0Цсрий илц магнии 1,010,0 Кремний, Остальное, Для изготовления сплава приготавливают шцхтовук. смесь, Крупность исходных материалов составляет 4 20 мкм. Для син. теза материала порошки исходных составляюгцих подвергают мокрому смешиванию в среде этилового спирта (200 мл на 1 кг порошка) в течение часа, Затем полученную смесь суцат в термошкафу при 100 - 11 ОС в течение 5 ч и подвергают протирке через сито 40 мкм для разрушения конгломератов. Готовую смесь прессуют под давлением 1 - 1,5 т/см в брикеты д = 20 мм, 1 т = =15 - 20 мм и подвергают высокотемпературной вакуумной термообработке в вакуумной пецц типа СМВЛ при вакууме 3 - 7 10мм. рт. ст и 1300 С н течение 4 ч. После этого продукты нзацмодейстния измельчают в яммовом барабане ем.647750 Фир,тьулй оибрегенпг 40,9 1.0,0г 0 44,Составитель И. .ил оно на редакгор Л, аагона 1 ехред О.,угони Корректор Д. Ме.гьницеггко Закат З 25 М 5 Гараж 922 1 и,гин ное ИН 1111 осударстнанного комитета СССИ но гв лам наОоьатеннй н открьо ииЗИЗ 5, гхьггсква, )К-З 5, Раугсная иаб., д. 415 Филиал 1111 Патент, г Ужггрод, ул. 11 роектнан, 4костью 0,5 л в теч.Иие 4 г в сргде этиловогоспирта. Далее получсццуьо сльесь сушат втермошкафах при 1=-50- 10 С в течение Зчи просеивают через сито 4 мкм.Примеры конкретного выполгеция сплавас оптимальным содержацием ицгредиец.тов, вес,%:Лример 1Хром 38,4Тантал 122Церий 2,9Крем ций г 1" гПример 2ХромМагнийТанталКремний. Указанные составы позволяот получить методом исццоплазмеццого распылецця высокоомцые преццзиоццые тоикоплецочцыс резисторы со следующими характеристиками: цри толщине резистивцой пленки от 0,02 до 0,14 мкм стабильность соцротивлеция зд 1000 ч цри 1 =130 С составляет 0,05 - .0,06%, температурный коэффициент сопротивления (0,2 - 0,5) 1 О 4 град, удельное 25 цоверхцостцое сопротивлецие 2002000 ом/п.Г 1 реимуьество предлагаемого резистивного мдтерцала заключается в том, что при ТЕХЦОЛСГИоЕСКСй толпИЦЕ РС:Иетцииой Па Ц- ки сцыпе 100 цм гемцердтурцый ксэффи 11 иецт ссц 1 тстивлег 1 и 51 мецияе цд цг)РЯдгк цеЛи 111 ЦЬГ, гЕ.М У ИЗИЕ"ГЦГ)С МДТЕРИДЛ 1, 1 Ь С позволяет изготавливать црецизисццые ТСЦКОИЛЕ 1 СЧЦЬЕ г 1 ЕЗИСТСРЫ С ТСМИЕРДТХ РЦЫМ КСЭффИЦЦЕЦТО; СгиРГгтИЦЛЕЦИЯ 1 СРЯД- ка 10 грал " Резистиццый сплав, содержащий хром,кремций, цсрий или мдгццй и металл переХОДЦОй ГРУЦПЫ, Отя 1 гаьицийСЯ тЕМ, ЧтО, Сцелью сцижешя тсмцературцого коэффициеита сопротивлеция, сц содержит в качествеметалла переходцой группы тантал при следуьощем количествеццом соотцогцецци компоиецтов, вес.о/о:Хром 36,0 - 40,9Тантал 5,0 - 19,0Церий или магций 1,О - 10,0Кремццй Остальное,Источники ицформации, принятые во вцимацие прц экспертизе1. Авторское свидетельство СССР352319, кл. Н 01 С 7/00, 1970,2. Авторское свидетельство СССР287161, кл. Н 01 С 3/14, 1969.