Способ изготовления металлических мелкоструктурных сеток

Й-Ж Союз СоветскихоциалмстическихРеспублик ИЗОБРЕТЕН К АВТОРСКОМУ СВИДИТИЛЬСТВ ид.ву56387/22-02 1) о тельное к авт. 22) Заявлено 15,03;76 (21) с присоединением заявки М Государственный камнтет Совета Мнннстроа СИР оо делам нзобретеннй н открытнй(71) Заявитель МЕЛКО) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСТРУКТУРНЫХ СЕТОК обретение относитс к гальванопласт лических мелко чес стр ому изготовлению мктурных сеток. получ ть мелкоструктурные еталлов с размером я стью отверстий до 10 редложепный способ ок за счет того, что сеткичеек 1 тугоплавмкм и на см устраня этот нерол итичесматрицу, сских соедостаком зле аждепии металла на ал которой не образ сетчату ет хим тер Известен способ изготовления металлических сеток, включающий создание на металлической матрице сетчатого рельефа, изоляцию поверхности матрицы между углублениями, нане. сение разделительного слоя, электроосаждение слоя металла и удаление матрицы механическим путем или химическим растворением 1. 1 ОНаиболее близким к изобретению являет.ся способ получения металлических мелкоструктурных сеток путем электролитического осаждения слоя металла на сетчатую матрицу, матери. ал которой не образует химических соединений с осаждаемым металлом, и последующего уда.пения матрицы выплавлением 2),Однако известные способы не позволяют динений с осаждаемым металлом, последний осаждают послойно при толщине слоя 1 - 2 мкм и проводят промежуточный отжиг в вакууме или инертной атмосфере при температуре рав. ной 1,1 - 1,2 температуры плавления матрицы для ее удаления.При отжиге происходит диффузия и испа. рение материала матрицы через слой тугоплавкого металла.При этом уплотняется структура сетки и снижаются внутренние напряжения в электролитически осажденном металле,В соответствии с предложенным способом в качестве исходной матрицы используют ме. таллическую сетку, например медную, с размером ячеек 7 - ,15 мкм и шагом 10 - 20 мкм. На обезжиренную матрицу электролитически осаждают слой тугоплавкого металла, Осаждение металла происходит с двух сторон. После наращивания слоя в 1 - 2 мкм матрицу с покры. тием отжигают в вакууме или инертной среде при температуре равной 1,1 - 1,2 температуры плавления материала матрицы, в результате чего материал матрицы удаляется испарением через слой тугоплавкого металла. Многократным618457 1966,Составитель Л. КазаковаТехред А.Алаты рея Корректор Н. Тупица 1 ецактор М. Васильева Заказ 4218/25 Тираж 738 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал П 1 П "Патент". г. ужгород, ул. Проекция, 4 повторением операций осаждения и отжига ма.териал матрицы полностью удаляют, а размерячеек сетки доводят до 1-3 мкм с получениемплотности отверстий до 10 на 1 см ,П р и м е р, Для получения рениевойсетки использовали трубчатую матрицу иэ мед. 5ной сетки с размером ячеек 7 - 15 мкм и шагом 10 - 20 мкм,На очищенную матрицу осаждали ренийиз электролита состава, г/л:Перренат аммония 9 1 ОСерная кислота25Сульфат аммония 50при температуре 50 С и плотности тока 20 а/дмзс наложением ультразвуковых колебаний часто.той 16 кг при использовании двух анодов в 5результате чего осаждение рения происходилос двух сторон. После осаждения слоя толщиной2 мкм проводили отжиг матрицы с покрытием .в среде водорода при температуре 1200 С в течение 15 мин, При этом атомы меди диффундируют на поверхность осажденного металла ииспаряются а осажденный слой металла уплотняется и происходит снятие внутренних напряжений.Операции осаждения металла и отжига по. 25вторяли до получения трубчатой рениевой сет.ки с размером ячеек 2 - 3 мкм при плотности106 на см и площадью сечения 10 мкм, причем примеси меди не превышали 0,3%,Таким образом предложенный способ в 30отличие от известных позволяет получать мелкоструктурные сетки из тугоплавких металловс размером ячеек 1 - 3 мкм и плотностью отверстий до 10 на см, которые могут применяться в радиоэлектронике и других областях тех.ники. Формула изобретения Способ изготовления металлических мелко- структурных сеток путем электролитического осаждения металла на сетчатую матрицу, материал которой не образует химических соедине. ний с осаждаемым металлом и последующего удаления матрицы, о т ли ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения сеток из тугоплав. ких металлов с размером ячеек 1 - 3 мкм и плотностью отверстий до 10 на см, тугоплав. кий металл осаждают послойно при толщине слоя 1 - 2, мкм с промежуточными отжигами в вакууме или инертной атмосфере при темпера. туре равной 1,1 - 1,2 температуры плавления матрицы для ее удаления. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Патент ФРГ У 1212815, кл. 48 а, 7 - 00,2, Б. Я. Казначей Гальванопластика в про. мъппленности, Государственное издательство местной промышленности РСФСР, М 1955, с. 117 - 119, 122 - 126,