Токопроводящий материал для пленочных электронагревателей

(44) 577700 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 61) Дополнительное к авт. свид-ву -22) Заявлено 081275(21) 2199248/Ос присоеаинениен заявки 36 Кл."5 .В 3/121 В 1/081 С 7/06 н о н о ецр(нини 3 аапи 6 юп Монщв 65 Р п рва н 6 унмй1 тап иоритет З) Опубликовано 211077. 51 оллетеиь ф 395) Дата онубликования описания 1631.77 2) Авторы изобретения айлиди, К.А.Лаврентьев, И.Г.Поп и Н,А.Сорокин4) ТОКОПРОВОДЯЕ(ИЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ПЛЕНОЧ ЭЛЕКТРОНАГРЕВАТЕЛЕЙ ясь, Вторые устойчивы до 800-850 фДля получения термостойких токопрщих пленок необходимо ввести в маионы сурьмы или фтора и уничтожиттем собственные примеси ( Ьп, ЬюОмообработкой на воздухе.Двуокись олова (ЬяО) имеет иристаллическую структуру без выражной ориентации, размер кристаллов1,3 мкм. Добавки сурьмы существенизменяют структуру пленки. При О,сурьмы кристаллы по форме приближся к касситериту и приобретают ортацию, их четверные оси перпендикны плоскости подложки. воДяериал эа" тероликен" 0,6 ф овеС ают ен- ляр 0 по мере увеличения содержания аурЬформа кристаллов нарушается, а ихсположение становится раэупорядочным. Размеры кристаллов возрастают пс мере увеличения содержания сурьмы и достигают уже при 8 вес.Ъ сурьмы 1,7- 2,0 мкм. Это приводит к тому, что ад" геэия пленки к подложке, яайример стеК- лянной, резко ухудшается, т.е. использовать такие ,пленки в качестве нагревателей невозможно. Кроме того увеличение содержания сурьмы более 8 .ВФСЪ приводит к ухудшению таких параметров пленки, как сопротивление, равномерсод ную мы ра Изобретение относится к области электротехники, в частности к материалам для реэистивного нагрева, и может быть использовано в качестве нагревателя для агрессивных и;:еагрессивных сред, например кислот, растворителей, щелочей, деионизованной воды, газов и т.дИзвестен токопроводящий материал,. для пленочных электронагревателей, содержащий двуокись олва, легированную фтором и применяемую для изготовления нагревателей различных конструкций 1),Его недостаток - нестабильность электротехнических параметров.Известны токопроводящие материалы,ержащие двуокись олова, легировансурьмой 2), (,31.Из описанных токопроводящих материалов, ислользуемьх для пленочных элек-. тронагревателей, по составу ингредиентов наиболее близким к предложенному материалу является материап из двуокиси олова с примесью сурьмы, содержащий одновременно два вида примесей, нарушающих стехиометрию и определяющих электропроводность: собственные примеси (Ь, Ья О ) и чужеродные примеси (бвф , Гф ) 141, Первые примеси при высокой температуре исчезают, окисля(фЗ) фДЦ 621,3036.662:577700 структура пленки определяется преобладающей примесью, а стабильность пленок зависит от отношения сурьмы к бору,Введение в пленку мелкокристаллического бора позволяет увеличить содержание сурьмы в пленке до 20 без ухудшення адгезии и исключить указанные недостатки. Бор нлияет на стабильность пленок как регулятор структуры, опРеделяющий Форму, ориентацию и размер зерен, т,е. улучшает кристаллографическую картину пленки. Кроме того, являясь нысокотемпературным материалом (т.пл. 2030 С), бор понышает общую температуростойкость пленки.В таблице показана зависимость основных характеристик пленок от содержания ее ингредиентов.,8-2,0 800 Удовлетвори- тельная 91, 8,0 96,8 3,0 0 0,0001 0,5-1,0 80 0 0,00001 0,2-0,6 40 ороша О,о же Формула изобретен блицы нидно,ношением ингртым результатки, вес.%: о оптимальиентов появляется сосным со достиг тан пл для пл содер о тТоконочныхщий дву жал истро- не- по 91 8ись оа и эл ала, и к целью Физич го до ненты вес% Бор ношени Применениериала предложстабильность рнагревателей,нокс заданныминапйлении, улук подложке, нашает их темпер ДнуокСурьмБор Ист ниманПрименчестве плля на кнательных эчить проидля нагре3 раза, эдежность. ние этого материал ночного электронаг цевых трехшаровых ементах позволяет водительность устр а различных сред ачительно повысить н ка- енате- агрена М 1:7 3,) 131 4елистн лянно нодни наПодпис аз 4202/45 аж 100 ЦНИИП лиал ППП Патент , г. Ужгород, ул. П ая ность по толщине, однородность структуры и удельная мощность.Цель изобретения - повышение стабильности электроФизических параметров материала.Это достигается тем, что токопронодящий материал для п.всеночных электронагревателей дополнительно содержит бор при следующем соотношении ингредиентов, вес.В:Двуокись олова 78(0-96)8 Сурьма 3,0-20,0 Бор О, 21.2, 0Бор имеет мелкокристаллйческую структуру с величИной зерен не более 0,1 мкм. Добавки бора снижают скорость роста кристаллов двуокиси олова, легированной сурьмой, размер кристаллов уменьшается до 0,3-1,0 мкм. При одновременном введении сурьмы и бора токопроводящего матеенного состава повьпда аботы пленочных элек воспроизводимость плпараметрами при их чшает адгезию пленок пример кварцу, повыатуростойкость,проводящий материал электронагревателей, окись олова и сурьму щ и й с я тем, ч повышения стабильност ских параметрон матери олнительно введен бор взяты в следующем соо ись олова 780-96,8а 3,0-20,002-2,0 очники инФормации, принятые во ие при экспертизе;Авторское свидетельство СССР 00, кл, 32 в 10, 1962 г, Авторское свидетельство СССР 25, кл, Н 01 С 7/00, 1962. Авторское свидетельство СССР 86, кл. Н 01 С 7/06, 1959. Родинов В,П. и др. Нагрев стеки керамической посуды полупроовыми пленками, Приборы и техксперимента, 1958, М 4, с,993.