Способ получения монокристаллических пленок олова

Номер патента: 282298

Авторы: Лобода, Чайковский

ZIP архив

Текст

282298 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(088.8) оритет Комитет по делам аобретений и открытий при Совете Министров СССРень ЛЪ 305.1 У.1971 убликовано 28.1 Х.197 Б оп опубликов писа вторызобретен 3, Ф. Чайковский и Н. М. Лобода НА с(с д явитель СОВ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ОЛОВА 2 соб может быть применен ок, используемых для исасти физики твердого тела. обы получения монокристалолова осаждением в вакууме ческую подложку позволяки олова ориентации (200) в ного давления газа 10-з -по лен Отличием описываемого способа является то, что осаждение осуществляют со скоростью 45010 А/сек на плия, нагретую допри остаточном- 10лл рт. ст.Осуществление осаждения в таких условиях дает возможность получать пленки олова ориентации (020) в вакууме 5 10- 10мм рт. ст., в связи с чем упрощается аппаратурное оформление процесса,Получение пленок производится следующим образом. В качестве исходного материала используют олово чистотой 99,9998%, дополнительно очищенное зонной плавкой. Подложку Описываемый с для получения п следований в облИзвестные спос лических пленок на монокристалл ют получать плен условиях остаточ - 10 9 мл рт, ст. одложку из хлористого катемпературы 320 - 350 К, давлении газа 5 10- -размером 20 Х 20 люле устанавливают в полости вакуумной камеры на расстоянии 50 - 55 лм от испарителя исходного материала, Во время разогрева исходного олова подложку экра нируют, защищая ее от попадания легколетучих примесей олова, Испарение олова производят в вольфрамовой лодочке, нагреваемой периодическим пропусканием тока так, чтобы скорость осаждения олова на подложке была 0в пределах 450+10 А/сек. В камере поддезживают остаточное давление 5 10 -- 10 а ллт рт. ст. Предмет изобретения15Способ получения монокрисгаллическихпленок олова осаждением на монокристаллическую подложку в условиях вакуума, отличаощийся тем, что, с целью получения пленок ориентации (020) и упрощения аппаратурного оформления процесса, осаждение осуществляют со скоростью 45010 А/сек на подложку пз хлористого калия, нагретую до температуры 320 в 3 К, при остаточном давлении 25 газа 5 10 -- 10 -мл рт. ст.

Смотреть

Заявка

1320759

Э. Ф. Чайковский, Н. М. Лобода

МПК / Метки

МПК: C30B 23/02, C30B 29/02

Метки: монокристаллических, олова, пленок

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-282298-sposob-polucheniya-monokristallicheskikh-plenok-olova.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения монокристаллических пленок олова</a>

Похожие патенты