Способ записи и считывания информации

О П И С А Н И Е 546039ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик) Приоритет -овета Министров СССРо делам изобретений 3) УДК 621.385:68.1.(45) Дата опубликования описания 06,04.7 72) Авторы изобретени А, Семилетов. Харьюзов Ордена Трудового Красного Знамени инст кристаллографии им, А, В. Шубникова аявитель(54) СПОСОБ ЗАПИСИЧИТЫВАНИЯ ИНФОРМАЦИИ Изобретение относится к слособам накопления информации. Оно может быть использовано в микроэлектронике и вычислительной технике при создании электронных вычислительных машин с большой ехскостью памяти. 5Известен способ записи и считывания информации, основанный на создании потенциального рельефа на диэлектрической мишени с помощью электронного пучка ц считывании сканирующцм электронным лучом 11. Недо- о статком, этого способа является необходимость подачи на мишень импульсов напряжения для стирания информации, что вызывает общую засветку экрана.Наиболее близким техническим решением 15 к,предложенному является способ записи и считывания информации, включающий сканирование электронного луча по поверхности мишени для создания потенциального рельефа при записи и считывание сканирующим 20 электронным лучом, причем цз-за наведенной проводимости мишени обеспечивается постепенное понимание потенциала заряженных участков мишени 2.Недостатки этого способа - малое время 25 хранения записанной информации и невозможность создания памяти оольшой емкости.Целью изобретения является увеличение объема записываемой информации и времени ее хранения,ЗО Эта цель достигается тем, что прц запнсмишень облучают молекулярным потоком вещества, состав которого отличен от состава мишени, и при этом мишень нагревают до температуры вьцце критической температуры конденсации вещества молекулярного потока, а при считывании регистрируют дискретный энергетическцц с-ехтр сконденсированной фазы,вещества, молекулярного потока.Для записи информации используется селективная,конденсация молекул на поверхности аморфных или кристаллических материалов, Известно, что при конденсации молекулярного пучка на подложке в начальный момент образуется огромное количество (10 с -0" см-) центров кристаллизации. Если на поверхности подложки имеются отдельные точки, несущие электростатический заряд, то при падении молекулярного пучка на такую подложку конденсация :,.олекул происходит только в таких тотах. если прп этом температура подложки выше некоторой критической величины Тн Облучая заданные точки поверхности подложки плц мишени электронным пучком малого цаметра пз импульсной электронной лунки, и осущестзляя конденсацию молекул какого-либо вещества в этих точках, можно создавать на поверхности подложки островки новой фазы, т. е. осуществлять запись информации. При этомФор мул а изобретения Составитель Н, Григорьева Техред В. Рыбакова Корректор И. Симкииа Редактор Т. Орловская Заказ 77/146 Изд.418 Тираж 1019 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Тип, Харьк. фил. пред. Патент важно, чтобы температура подложки была выше критической температуры конденсации, тогда островки новой фазы возникают только в точках, получивших электрический заряд. Записанная информация может храниться сколь угодно долго - гока островки новой фазы, образовавшиеся на подложке, не будут удалены, например, газовым травленном или испарением.Считывание информации производят путем регистрации спектра Оже электронов. которые эмиттируют пз островков новой фазы при облучении пх пучком электронов. Эта регистрация производится с помощью обычных Оже-спектрометров цилиндрического или сеточного типа.Преимуществом предложенного способа считывания является его высокая чувствительность.Особенно перспективно осаждение островков пленок, обладающих яркой катодолюминесценцией, например пленок 2 пО или 2 пб. Считывание информации можно при этом производить как методами Оже-спектроскопии, так и путем регистрации характеристических ренпгеновских квантов спектра катодолюминесценции тока вторичной электронной эмиссии, характеристических потерь энергии электронов и дифрагированных,пучков.П р и м е р, В качестве мишени берут пластинку из какого-либо диэлектрика, например кварца или сапфира. Мишень располагают в вакуумной установке, в которой имеются электронная и молекулярная пушки, Мишень нагревают до 400 С и на нее направляют поток молекул РЬЬ, После этого включают электронную пушку и на поверхности мишени лутем запрограммированного сканирования электронного луча создают систему электричеаких зарядов, расположенных в нужных точках. В этих точках происходит конденсация,молекул и образуются островки РЬЯ. Для считывания информации в: аме-.,е расположен Оже-спектрометр. Ба систе:;у утравления электронным лучом подают спгча - лы с системы считывания, и электронный л,ч направляется в заданные точки мишени. Ес, - , 1 в этих точках имеются островки РЬЬ, то п-,п облучении их пучком электронов Оже-спе - трометр выдает импульс, соответствующий распределению электронов по энергиям, ха рактерному для атомов свинца или серы.Если же в заданных точках островковРЬБ не имеется, то спектрометр выдает импульс, соответствующий атомам мишени, например, кремния (в ЯО,) или алюминия 15 (в АгОз) Спосоо записи и считывания информации, 20 включающий сканирование электронного луча по поверхности,мишени для создания потенциального рельефа при записи и считывании сканирующим электронным лучом, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличе ния объема записываемой информации ивремени ее хранения, при записи мишень облучают молекулярным потоком вещества, состав которого отличен от состава мишени, и при этом мишень нагревают до температу- ЭО ры выше критической температуры конденсации вещества молекулярного потока, а при считывании регистрируют дискретный энергетический спектр сконденсированной фазы вещества молекулярного потока.35 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. А. И. Китов, Н. А. Криницкий Электронные цифровые машины и лрограммиро 40 ванне М Физматгиз, 1959, с. 179.2, Патент США3331983, кл. 315 - 12,олублик. 19 б 7 г. (прототип),