Способ реставрации микроизображений, например, фотошаблонов

Номер патента: 528537

Авторы: Баюков, Волков, Журавлев, Калинин

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республикс присоединением заявки М 2088272/10 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийи открытий 1;23) ПриоритетОпубликовано 15.09.76, Бюллетень34 Дата опубликования описания 24.09.76(71) Заявитель СОБ РЕСГАВРАЦИИ МИКРОИЗОБРАЖЕНИЙ, НАПРИМЕР ФОГОШАБДОНО В 54 На дефектный эмульс 1 со стороны эмльсии н анисм слой диазотиппого иной 3 - 4 мкм и высуш в течение 20 мин при 70 С Примерфотошаблон центрифугиро риала 3 толщ 5 его в шкафу онный аносятматс- ивают щираС. Известны способы реставрации микроизображений, например фотошаблонов, заключающиеся в нанесении на дефект микроизображения ретуширующего материала кисточкой или другим инструментом (1).Недостатками известных способов реставрации и ретуширования микроизображений являются низкое качество реставрации фото- шаблонов и большая трудоемкость, так как при ретушировании фотошаблонов выступы ретуширующего материала мешают созданио плотного оптического контакта, необходимого при копировании для правильной передачи изображения.Для улучшения качества микроизображения по предлагаемому способу ретуширующий материал наносят на всю площадь микроизображения с последующим затемнением его на непрозрачных участках путем экспонирования через маску и химической обработки. Согласно этому способу маскирование изображения осуществляется либо при помощи красителя, удаляемого после экспонирования, либо при помощи зеркальной копии основного микро- изображения,Возможная реализация описываемого способа представлена на фиг. 1 и 2, где 1 - фотошаблон с дефектами, 2, 3 - диазотипный материала, 4 - краска, 5 - зеркальная копия, 6 - пятно. Фотошаблон с нанесенным диазоматериалом устанавливают под микроскоп и наносят на дефекты 2 капельки невысыхающей крас ки 4, максирующей УФ излучение, после чего пластину экспонируют УФ светом. Временную краску убирают тампоном, Изображение проявляют в парах аммиака прп нормальных условиях, В результате над дефектом об разуется пятно 6, маскирующее дефект в УФсвете.Невысыха 10 щу 10 1 сраску можно использовать для маскирования при размере ретушируемых дефектов на темных полях размером 20 более 50 мкм, Реставрированное микроизображение является безрельефным, что важно для операции копирования пзооражений контактным аюсобом. 25 11 ри мер 2. На металлизированный фошаблон 1 с дефектом 2 со стороны мака ющего покрытия экструзионным способом носят слой диазотипного матсриала 3 тол ной 4 - 5 мкм и высушивают его в инф 30 красных лучах в течение 3-х мин при 70)ставите, и Л. Тепловахрсд Е Подурушииа ректор Е Хмелев Редактор С. Хейфи Голписиов ССС 1 Тираж 581митста Совета Микистси ш и открытийРаушскаи иаб., и. 4/ Изп.1606 Государстпсииого к по делам изобр 13035, москва, Яаказ 2058,12ЦНИИП шографии, пр Сапунова,Далее на стандартных установках проводят совмещение и экспонирование УФ светом диазоматериала на дефектном фотошаблоне через зеркальную копию 5 фотошаблона, После проявления изображения в парах аммиака в нормальных условиях получают фотошаблон, не имеющий дефектов, так как вероятность совпадения дефектов на основном фотошаблоне, диазоматериала и зеркальной копии чрезвычайно мала. Изобретение может быть использовано в производстве прецизионных фотошабл онов с малой дефектностью, которые необходимь 1 для изготовления больших интегральных схем. Формула изобретения Способ реставрации микроизображепий,например фотошаблонов, заключающийся в 5 нанесении на микроизображение ретуширующсго материала, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества микроизображснпя, рстуширующий материал наносят на всю плоцадь микроизобр ажения с последующим 10 затемнением на непрозрачных участках путем экспонирования через маску и химической обработки. Источник информации, принятый во вни 15 мание при экспертизе: 1. Патент США М 3804 б 23, кл. 9 б, 1974.

Смотреть

Заявка

2088266, 30.12.1974

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6429

ЖУРАВЛЕВ ВИКТОР ПАВЛОВИЧ, ВОЛКОВ АНАТОЛИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ, БАЮКОВ ВЛАДИМИР БОРИСОВИЧ, КАЛИНИН МИХАИЛ СЕМЕНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G03C 11/04, H01L 21/70

Метки: микроизображений, например, реставрации, фотошаблонов

Опубликовано: 15.09.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-528537-sposob-restavracii-mikroizobrazhenijj-naprimer-fotoshablonov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ реставрации микроизображений, например, фотошаблонов</a>

Похожие патенты