Способ идентификации дефектов в фотошаблонах с повторяющимися фрагментами изображений

,.801104550 06 К 9/00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ Фнь.4 Й; д АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) 1. Автоматическая установка дляпроверки шаблонов. - "Электроника",1982, У 6, с, 103-104.2. Шац Я.Б. Автоматизированноеоборудование для контроля внешнеговида фотошаблона, - "Электронная техника", 1979, сер. 8, вып. 7 (77),с. 84-88 (прототип).(54)(57) СПОСОБ ИДЕНТИФИКАЦИИ ДЕФЕТОВ В ФОТОШАБЛОНАХ С ПОВТОРЯЮЩИИИСФРАГМЕНТАМИ ИЗОБРАЖЕНИЙ, основанныи на сканировании лазерным лучом изображения двух смежных фрагментов на фотошаблоне, ориентированных по направлению сканирования, формировании видеосигналов, по которым формируют растр совмещенного изображения первого и второго фрагментов в разных цветах, и фиксации местоположения дефектного участка по цветовым неоднородностям в результирующем совмещенном изображении первого и второго фрагментов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения способа, изображения смежных фрагментов сканируют синхронно с формированием растраб 2 частотой, вдвое меньшей частоты строч-щ ной развертки растра.Недостаток известного способасостоит в сложности процесса сравненияФрагментов и выделения дефектов, таккак для этого необходимо иметь дваидентичных канала, содержащих высокоточную механическую систему перемещения, оптическую и Фотоэлектроннуюсистемы обработки информации.Целью изобретения является упрощение способа.Указанная цель достигается тем,что согласно способу идентификациидефектов в фотошаблонах с повторяющимися фрагментами изображений, основанному на сканировании лазерным лучом изображений двух смежных фрагментов на фотошаблоне, ориентированных по направлению сканирования, Формировании видеосигналов, по которымФормируют растр совмещенного изображения первого и второго фрагментовв разных цветах и фиксации местоположения дефектного участка по цветовымнеоднородностям в результирующемсовмещенном изображении первого ивторого фрагментов, изображения смежных Фрагментов сканируют синхронно сформированием растра частотой, вдвоеменьшей частоты строчной разверткирастра,Сущность способа заключается вследующем.Сканируют, например, сфокусированным лазерным лучом по поверхностиконтролируемого изделия, например,Фотошаблона, состоящего из ряда одинаковых участков, и синхронно формируют на экране видеоконтрольного устройства (ВКУ) увеличенное иэображение сканируемого рисунка. При этомустанавливают амплитуду перемещениялазерного луча, обеспечивающую сканирование последовательно двух соседниходинаковых фрагментов Фотошаблона.Ориентируют контролируемый фотошаблонна координатном столе так, чтобы лазерный луч в процессе перемещения освещал одинаковые элементы в смежных одинаковых фрагмента фотошаблона путем построчного наложения изображенийсравниваемых участков. Для этого сканируют лазерным лучом последовательно два соседних фрагмента с частотой, вдва раза ниже частоты строчной развертки изображения на экране ВКУ. Такое соотношение частот сканированияи развертки изображения позволяет завремя сканиронания лазерным лучом од.1 1104550 2Изобретение относится к автоматикеи может быть использовано в системахили устройствах контроля Фотошаблонгв полулроводниковых приборов.Известен способ контроля шаблонов,заключающийся в том, что сканируют5световым лучом по поверхности контролируемого фрагмента изображения (модуля) шаблона, ориентируют шаблон накоординатном столе, фокусируют прошедший шаблон световой луч на Фотодетектор, преобразуют сигнал с фотодетектора в цифровую форму и вводятего в процессор, в котором его сравнивают с цифровой информацией эталон 5ного фрагмента, записанной в памятиЭВИ, выявляют различия между ними изаписывают их координаты в запоминающее устройство. Для классификациидефектов формируют на экране видео 20контрольного устройства совмещенныеизображения контролируемого и эталонного Фрагментов в разных цветах,анализируют различия между ними ипринимают решение о наличии дефектови их критичности 1).Недостатком данного способа является сложность технической реализа-ции, выражающаяся в необходимостиприменения ЗВИ с большим объемом памяти, а также необходимость обработкиЗОв процессе контроля большого объемаинформации.Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому изобретениюявляется способ идентификации дефектов в фотошаблонах с повторяющимисяФрагментами изображений, основанныйна том, что сканируют двумя лазерными пучками одновременно по поверхности двух соседних фрагментов изображе"4 Оний фотошаблона, ориентируют фотошаблон на координатном столе так,что"бы освещались одинаковые элементы всоседних фрагментах, Фокусируют прошедшие через фотошаблон лазерные пуч ки на два фотодетектора,. преобразуютсигналы с фотодетекторов в цифровуюформу и вводят в процессор, в котором фрагментах. Сравнивают два смежныхих сравнивают между собой, выявляютразличия между ними и записывают их 50координаты в эапоминаюшее устройство,Для классификации дефектов формируютна экране видеоконтрольного устройства увеличенные изображения сравниваемых фрагментов и изображение разностного сигнала дефектов, анализируя которые оператор принимает решение о степени их критичности 2 ).1104550 Составитель Т. НичипоровичРедактор В. Иванова Техред С,Мигунова Корректор В, Синицкая Тираж 699 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Заказ 5264/37 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,ного фрагмента сформировать на экране ВКУ одну полную строку, а за время последующего сканирования соседнего фрагмента - сформировать вторую полную строку. Для облегчения процесса вы 5 деления различий между сравниваемыми участками, Формирование их изображений производят в разных цветах. При этом для их.построчного наложения на экране ВКУ используют, например, ступенчатую форму кадровой развертки лазерного луча и изображения на экране ВКУ, с длительностью каждой ступеньки, равной времени сканирования15 лазерным лучом двух сравниваемых участков. Визуальное сравнение поочередно сформированных и попарно наложенных одна на другую строк изображения становится возможным благо 20 даря послесвечению люминофора кинескопа, делающего незаметным для глаза наложение строк разного цвета, вследствие чего происходит смешение их цветов. В случае возникновения отличий между элементами в сравниваемых участках Фотошаблона, они проявляются в изменении цветовой и яркостной картины,в соответствующих местах изображения. Последующее сравнение одного из ранее проверенных участков фотошаблона с соседним (третьим) позволяет определить, к какому из сравниваемых участков относятся выявленные отличия. Оператор анализирует выявленные отличия н принимает решение о наличии дефектов и их критичности.Предлагаемое техническое решение по сравнению с известным значительно проще в технической реализации, так как отпадает необходимость в сравне нии двух световых потоков, вследствие .чего возможно использование одного оптикоэлектронного канала обработки игнала, при этом упрощается оптическая система иотсутствует электронная система сравнения сигналов. Кроме того, вследствие использования одного канала обработки информации предлагаемое техническое решение более универсально и может найти применение в самых разнообразных системах контроля микроэлектронных изделий, использующих для формирования изображения принцип построчного сканирования.