Способ изготовления трафаретной печатной формы

Союз Советских Социалистических Республик(088.8) 5) Дата опубликования описания 07.07.82 2) Авторы изобретени В. М. Абдусаламов и Л. С, Васильева 71) Заявите) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТНОИ ПЕЧАТНОЙ ФОРМЫГредлагаемое изобретение относится к технологии производства трафаретных печатных форм, используемых при изготовлении печатных плат и микросхем.Известен способ изготовления трафаретной печатной формы, заключающийся в нанесении на металлическую сетку свето- копировальной композиции, экспонировании, проявлении, заполнении ячеек сетки в пробельных местах путем нанесения на эти места электропроводного слоя, электролитического наращивания металла и удаления заполимеризовавшейся композиции из ячеек сетки в печатных элементах 11.Недостатком такого способа является длительность процесса электролитического наращивания металла, что увеличивает рабочий цикл получения готовых трафаретов. Известен также способ изготовления трафаретной печатной формы, предусматривающий нанесение на предварительнб подготовленную сетку слоя фоторезиста таким образом, чтобы он располагался преимущественно в отверстиях сетки, совмещении заготовки с фотошаблоном и копировании в ультрафиолете с последующим проявлением и промывкой 21. Г 1 ри использовании этого способа получают изображение, негативное к рисунку изготавливаемой трафаретной формы, На полученную негативную трафаретную фор му с внешней стороны (по отношению краме) накатывают в защитную пленку. Обезжиривают и декапируют ее с внутренней стороны и закрывают отверстия стенки пробельных мест заполнением их легко.10 плавким сплавом, снимают защитнуюпленку, раздубливают фотополимерный слой, получают позитивную трафаретную форму. Этот способ в сравнении с первым существенно сокращает время изготовления трафаретной печатной формы, а также повышает ее качество, которое, однако, является недостаточно высоким, поскольку 20 не обеспечивает в некоторых случаях необходимую точность печатания рисунка микросхем. Основной причиной этого является то, что при заполнении ячеек сетки легкоплавким сплавом последний, затекая 25 под слой фотополимера и переплетения сетки по краю рисунка, приводит к его неровности.Таким образом, целью предлагаемогоизобретения является повышение качества З 0 трафаретной печатной формы, 941212Г 1 оставлепная цель достигается тем, что в способе изготовления трафаретной пс. чатной формы, включающем нанесение на предварительно натянутую и обезжиренную металлическую сетку фотополимера, экспонирование изображения, его проявление, заполнение ячеек сетки легкоплавким сплавом и удаление оставшегося фотополимера, заполнение ячеек сетки легкоплавким сплавом осуществляют перед нанесением на сетку фотополпмера, а после проявления изображения производят травление легкоплавкого сплава в незащищенных фотополимером местах.На чертеже показана последовательностьь операций способа.Металлическую сетку натягивают на раму. Затсм обсзжцривают в течение 30 мин в 20%-ном растворе щавелевой кислоты, промывают проточной водой и нейтрализуют оставшиеся следы кислоты 5 О 10-ным раствором аммиака, снова промывают и сушат (см. чертеж а).После этого заполняют отверстия сетки сплавом олова, например ПОС нли Розе путем горячего обслуживания, получают пластину (см. чстеж б 1. Затем при температуре 95+ 5 С наносится слой фотополимера, выдерживают заготовку при неактиничном освещении для выравнивания внутренних напряжений и улучшения адгезии фотополимера к поверхности пластины.На полученную поверхность заготовки экспонируют через фотошаблон изображение ультрафиолетовым источником света.После облучения заготовку выдерживают при цсактиничком освещении 20 - - 30 мин для завершения реакции полимеризации.Далее получают изображение ца пластине проявлением в растворе метилхлороформа в течение 1 - 1,5 мин до появления четких контуров рисунка с последующей промывкой и сушкой при комнатной температуре (см. чертеж в).Затем протравливают легкоплавкий сплав в незащищенных фотополимером местах в водном растворе перекиси водорода и борфторводородной кислоты, промывают и сушат (см. чертеж г),После чс о удаляют фотополимер хло 11 пст,1 м метилсцом, промывают, сушат и получают позитивную трафаретную печатную форму (см. чертеж д).5 Изготовленный таким способом трафарет имеет более ровные и четкие края изображения по сравнению с трафаретом, изготовленным по 11 звестному способу, поскольку фотополцмер наносится в этом слуг 1 1. е на относительно гладкую пластину,г 1 олучснну 1 о н результате зацолцсгц 1 я ячеек сет 1;и легкоплавким сплавом.На предприятии-заявителе нроведспаотработка технологии предлагаемого спо соби. В качестве основы трафарета былавзята металлическая тканая сетка004 из нержавеющей стали с размером ячеек 0,0 б 8 мм. В качестве фотополимсра использовался сухой пленочный фоторезисг 2 н (СПФ-40) на полиэтслецтсрсфталатнойоснове.Опробовацие предлагаемого способаПО 1 ТВерждаст дост 11 жсц 11 е цел 11 11300 рстепня.25Формула изобретения Способ изготовления трафаретной печатной формы, вкл 1 очающий нанесение цазо предварительно натянутую и обезжиренну 1 ометаллическую сетку фотополимера, экспоцировацис изображения, его проявление,заполнение ячеек сетки легкоплавким сплавом н удаление оставшегося фотополимс 35 ра, о тл и ч а ю щ и й ся тем, что, с цсль 1 оповышения качества изготавливаемой печатной формы, заполнение ячеек сетки легкоплавким сплавом осуществляют переднанесением на сетку фотополимера, а после40 проявления изображения проводят травление легкоплавкого сплава в незащищенныхфотополимером местах.Источники информации, принятые во45 вш 1 мацие при экспертизе:1, Зоткин К, И. и др. Трафаретная печать. М., Мысль, 1965,2. Авторское свидетельство СССРРа 75907, кл. В 41 С 1/14, 1978 (прото 50 т 1 п),Составитель В. Юсков Техред В. Рыбакова Редактср Г, Прусова Корректор С фаны Тип. Харьк, фня. пред. Патент Заказ 647/495 Изд.172 Тираж 393 ПодпнсноеНПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий113 О 35, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5