Способ получения изделий из нитрида кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 458973
Автор: Вильям
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК ПАТЕНТУ нц 458973 Союз Советских Социалистических Республик(33) ВеликобританияОпубликовано 30.01,75 31 33573 Государственный комитет Совета Министров СССР по лелем изобретений 53) УДК 661,551(088.8) юллетень Ме оытнй исания 13.03 Дата опубликования 72) Авт Иностранец ильям Джон Аро(Великобритания) ностранная фирь Джозеф Лукас(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИ Изобретение о к химической промышленности,Известен способ получения изделий из нитрида кремния путем нагревания заготовки из спрессованного материала, содержащего кремний, в азотсодержащей атмосфере.Недостатком указанного способа является невысокая прочность получаемых изделий,С целью получения изделий с заданной прочностью по предлагаемому способу в исходный материал перед прессованием вводят флюсующий агент, а полученную заготовку подвергают горячему прессованию.В качестве флюсующего агента используют силикат магния состава МдО 51 О, который вводят в количестве 0,1 - 10 вес. %. Для получения, преимущественно, р-фазы нитрида кремния прессованную массу нагревают до температуры выше 1400 С, а для получения а-фазы - до температуры 1200 - 1300 С.Полученное готовое изделие имеет плотность 2,7 - 3,2 г/см.П р и м е р 1. Берут 1 кг порошка кремния (изготовленого фирмой (Рипз 1 оп апс 1 %гаддЫд) с размером зерен 3 мкм и перемешивают с 3 л 2%-ного водного раствора порошка окиси магния. Смесь отфильтровывают и переносят в лопастную мешалку со связующим - 41 б см дисперсии акрилового веще ства в воде. Эту смесь перемешивают б час инагревают для удаления диснергирующего вещества. Полученный порошок подвергают обработке давлением и получают прессованную массу плотностью меньшей, чем та, ко- О торая требуется для готового изделия.Прессованную массу загружают в печь инагревают до температуры 1300 С в атмосфере, содержащей 90 /, азота и 10% водорода. Получают пористое изделие, состоящее 5 почти полностью из а-фазы нитрида кремния.Далее на внешнюю поверхность этого изделия наносят порошок нитрида бора и проводят горячее прессование при давлении 280 кг/см 2 и температуре 1750 С до получе- О ния желаемых размеров и плотности.П р и м е р 2, Аналогично примеру 1 приготавливают смесь флюсов из двуокиси кремния и окиси магния, кремниевого порошка и акрилового латекса. Смесь подвергают ин жекционному формованию. Спрессованнуюмессу нагревают до 1550 С в азотсодержа458973 Составитель М. ИвановРедактор Н. Спиридонова Техред Е. Борисова Корректор Н, Стельмах Заказ 559/20 Изд. М 1067 Тираж 593 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 45Типография, пр. Сапунова, 2 щей атмосфере, В результате получают изделие, состоящее преимуществено из Р-фазы,которые подвергают горячему прессованию,как описано в примере 1. Предмет изобретения1. Способ получения изделий из нитрида кремния путем нагревания заготовки из спрессованного материала, содержащего кремний, в азотсодержащей атмосфере, отл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения изделия с заданной прочностью, в исходный материал, перед прессованием вводят флюсующий агент, а полученную заготовку подвергают горячему прессованию. 42. Способ по п, 1, отличающийся тем,что в качестве флюсующего агента используют силикат магния.2. Способ по п. 2, отличающийся тем, 5 что силикат магния (МдО %02) вводят вколичестве 0,1 - 10 вес. о/о.4. Способ по п. 1, отличающийся тем,что, с целью получения преимущественно р-фазы нитрида,кремния, прессованную мас су нагревают до температуры выше 1400 С. 5, Способ по п. 4, отличающийся тем,что, с целью получения а-фазы нитрида кремния, прессованную массу нагревают до 15 1200 - 1300 С.
СмотретьЗаявка
1682226, 09.07.1971
ВИЛЬЯМ ДЖОН АРОЛ
МПК / Метки
МПК: C01B 21/06
Опубликовано: 30.01.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-458973-sposob-polucheniya-izdelijj-iz-nitrida-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения изделий из нитрида кремния</a>
Способ получения структур кремний-двуокись кремния-нитрид кремния
Номер патента: 1093175
Опубликовано: 23.04.1988
МПК: H01L 21/318
Метки: кремний-двуокись, кремния, кремния-нитрид, структур
...улучшения элекФрофизических параметров структур.Давление в реакторе при отжиге более 2 атм приводит к нарушению герметичности кварцевого реактора и невозможности реализации процесса. Использование металлических реакторов приводит к загрязнению структур ионами металлов и взаимодействию аммиака с материалом реактора при повышенной температуре процесса. Эксперименталь 35 ио показано, что отжиг структур при давлении аммиака 1-2 атм улучшает электрофизические параметры структур только при продолжительности отжига не менее 30 мин.Под улучшением электрофизических характеристик понимается увеличение крутизны вольт-фарадных характеристик структур Бх - ЯО- БхэМ, что является следствием уменьшения флуктуаций заряда и уменьшения величины...
Способ изготовлания изделий из нитрида кремния
Номер патента: 826945
Опубликовано: 30.04.1981
МПК: B22F 3/14, C04B 35/593
Метки: изготовлания, кремния, нитрида
...оболочку) из стекла, например, иэ кварцевого стекла. Капсулу помещают в печь с температурой 1000 С, выдерживают для дегазации при давлении 0,1 Па в течение 8 ч,затем капсу лу герметизируют, нагревают в печи до 1250 С, после чего ее помещают в камеру высокого давления, Горячее прессбвание осуществляют в камере высокого давления в изостатических условиях при 1740 дС и 200 МПа с выдержкой в течение 4 ч. Затем осуществляют охлаждение. В случае необходимости в зависимости от формы прессуемого изделия сначала снижают давление до 0,5. МПа. Снижение температуры осуществляют со скоростью 500 С/ч до комнатной температуры.Полученное иэделие может быть под вергнуто шлифовке или полировке ал-мазным инструментом.Плотность изделий, полученных...
Способ получения изделий из нитрида кремния
Номер патента: 336854
Опубликовано: 01.01.1972
Авторы: Иностранна, Иностранцы, Роланд
МПК: C04B 35/584, C22C 29/00
...которого находится в пределах С 1 -336854 Предмет изобретения Составитель Н. Семенова Техред Л, Евдонов Корректор Т, Гревцова Редактор Н. Корченко Заказ 1495/7 Изд.609 Тираж 448 Подписное Ц 1.1 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 2 мк, предпочтительно 1 лтк, Затем атмосферу заменяют смесью силана и аммиака в избыточном количестве водорода с целью отложения слоя нцтрцда кремния. Применяя такую атмосферу и поддерживая температуру печи на уровне 1000 С, производят отложение покрытия ццтрида кремния со скоростьюо100 А/лин. Процесс отложения, продолжают до тех пор, пока не будет создан слой цитрида кремния толщиной 1 лтк ца углеродных...
Способ изготовления изделий из нитрида кремния
Номер патента: 1011045
Опубликовано: 07.04.1983
МПК: C04B 35/584, C04B 35/593
...стеклапозволяет создавать оболочку очень небольшой толщины, в точности повторяющую все изгибы сформованной заготовки, что уст раняет скопление стекла в ее углублениях и растрескивание при охлаждении.Поскольку процесс спекания нитридаокремния идет при 1600- 1900 С и приэтом необходимо избежать диссоциации 45 нитрида кремния с выделением азота,поверх тугоплавкого пористого слоянаносят слой из .суспензии легкоплавкого стекла, который становясь непроницаемым для передающей давление 50 среды, не препятствует дегазации порошковой заготовки. Далее в процессеподъема температуры стекло внешнегослоя реагирует со стеклом внутреннего слоя, становясь более тугоплавким, при дальнейшем нагреве внутренний слой создает также оболочку,...
Способ получения нитрида кремния
Номер патента: 290531
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Иностранец, Иностранна, Кджозеф
МПК: C01B 21/068
...который затем используют для изготовления изделий из нитрида кремния. Изделия можно получать и посредством прессования исходной смеси перед нагревом до требуемой формы. крем- еменПредмет из 10 1. Способ получения нит тем взаимодействия исходи повышенчой температуре, о что, с целью ускорения пр ведут в присутствии тонкои 15 рида кремния. 2, Способ по п, 1, отлич исходную смесь кремния и перед нагревом прессуют дорида кремния путх элементов при тличающийся тем оцесса, последний змельченного нитного крида1275 Си 100(,15 час ающиися тем, чтонитрида кремниятребуемой формы. Изобретение относится к способам получения нитрила кремния.Известен способ получения нитрила ния путем взаимодействия исходных эл тов при повышенной температуре.Основным...
Предыдущий патент: Машина для этикетирования предметов
Следующий патент: Способ изменения физико-химических свойств стекла и стеклокристаллических изделий
Случайный патент: Способ изготовления формы для ротационного формования полых изделий