Устройство для напыления прямоугольных интерференционных клиньев
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(п 4 Союз СоветскихоциалистицескихРеслублик ЗОБРЕТЕН И СВИДЕТЕЛЬСТВ К АВТОРО((51) М. К Государственный комитеСовета Министров СССпо делам изобретенийи открытий) УС 1 РОЙСВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПРЯМОУГОЛЬНЫХ ИН ГЕРФЕРЕНЦИОННЫХ КЛИНЬЕВ менной (клиновидпри том же углоставится обращенндра к оси 7 враомещается против Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может применяться для нанесения покрытии меодом термического испарения при изготовлении интерференционных фильтров.Известно устройство для напыления прямоугольных интерференционных клиньев, содержащее вакуумную камеру, испарители, подложкодержатели и поворогный механизм.Недостаток известного устройства состоит в том, что оно малопроизводительно и имеет сложную конструкцию. 1 гри использовании устройства возможно нанесение слоев лишь переменной толщины, а следовательно, изготовление лишь диэлектрических клиновидных фильтров, и невозможно получение металло- диэлектрических фильтров, где требуется чередование слоев переменной и постоянной толщины,Цель изобретения - упро 1 цение конструкции и повышение производительности устройства.Эта цель достигается тем, что держатель подложек выполнен в виде снабженной регулировочным винтом оправы, которая установлена на подставку в виде усеченного под углом полого цилиндра, размещенного в гнезде зубчатого колеса, взаимодейству,:ощего с зубчатым сектором механизза враш ения.На чертеже изображено предлагаемое устройство,Устройство состоит из вакуумной камеры 1 на чертеже не показана), размещенных в неи испарителей и держателей напыляемых подложек, Держатель подложек выполнен в виде установленной . на подставку в форме усеченного под углом полого цилиндра 1 оправы 2, представляющей собой круглый металлический диск с посадочным местом 3 для покрываемых подложек 4 и регулировочным винтом 5 для подрегулировки угла наклона подложек.Устройство ставится в посадочное место 6 вращающегося держателя деталей подколпачной арматуры,Для нанесения слоев равномерной толщины устройство ставится в посадочное место обращенным высокой стороной цилиндра к центру вакуумной камеры, т. е. к оси 7 вращения арматурыИспаритель 8 размещается так, чтобы в среднем расстояние между испарителем и двумя концами покрываемой подложки за полный оборот деталей вокруг оси 7 вращения оставалось одинаковым. Для этого испаритель 8 ставится против удаленного конца подложки.Для нанесения слоя переной) толщины устройствовом положении подложекным низкой стороной цилищения, а испаритель 8 иычков едакт Изд,1872 Тираж 875 осударственного комитета Совета Министров по делам изобретений и открытий Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5аказ 3577/5ЦНИИПИ ПодписноСР Типография, пр, Сапунова,3опущенного конца подложки, В этом случае сохраняется постоянная разность между расстояниями испарителя и точками поверхности подложек,Устройство поворачивается без нарушения вакуума с помощью механизма, состоящего из вращающегося шлифа 9 с секторной шестеренкой 10. При вращении шлифа с секторной шестеренкой поворачивается оправа 6 вместе с устройством.Спектральный диапазон длин волн клиновых фильтров определяется количеством испаряемого вещества и материалом подложек, а ширина спектрального диапазона регулируется углом наклона подложек, устанавливаемым высотой цилиндра и регулировочным винтом,Предмет изобретения Устройство для напыления прямоугольныхинтерференционных клиньев, содержащее вакуумную камеру и размещенные в .ней испарители и держатели напыляемых подложек, связанных с механизмами вращения, отлич а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения производительно стп устройства, держатель подложек выполнен в виде снабженной регулировочным винто.д оправы, которая установлена на подставку .в виде усеченного под углом полого цили дра, размещенного в гнезде зубчатого 15 коеса, взаимодействующего с зубчатым сектором механизма вращения.
СмотретьЗаявка
1815106, 27.07.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8450
РАМАЗАНОВ КАЮМ АЛИМОВИЧ, КУЗНЕЦОВА ЗИНАИДА АЛЕКСАНДРОВНА, ГЕНДИН ВАЛЕНТИН АЛЕКСЕЕВИЧ, ЛАВРЕНОВ ВЛАДИМИР СТЕПАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 15/00
Метки: интерференционных, клиньев, напыления, прямоугольных
Опубликовано: 30.07.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-437815-ustrojjstvo-dlya-napyleniya-pryamougolnykh-interferencionnykh-klinev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для напыления прямоугольных интерференционных клиньев</a>
Устройство для напыления пленочных микросхем
Номер патента: 259209
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Дмитриев, Дыньков, Евтеев, Ленинградский, Самарска
МПК: H05K 3/14
Метки: микросхем, напыления, пленочных
...наподвижных платформах установлены испарнтели маски-трафареты и подложки, разделенные экранирующей перегородкой.В известных устройствах для наблюденияза раоотой испарителей используют прозрачные окна, которые в процессе напылениясильно загрязняются.С целью улучшения визуального наблюдения за работой каждого из испарителей в предлагаемом устройстве используется перекрывающий смотровые окна прозрачный цилиндр,поворачиваемый в процессе напыления при помощи биметаллического элемента.На фиг. 1 изображен блок испарителей; нафиг. 2 - биметаллическая петля с вилкой; нафиг. 3 - приводной механизм.Предлагаемое устройство работает следующим образом,Каждый блок 1 испарителей изолирован огсоседних блоков перегородкой, верхняя частькоторой выполнена в...
Устройство для напыления и упрочненияповерхности детали
Номер патента: 831595
Опубликовано: 23.05.1981
Авторы: Дибнер, Морошан, Попа, Чобану
МПК: B24C 3/12
Метки: детали, напыления, упрочненияповерхности
...21поц углом скатывания упрочняющих шари.ков,Устройство работает следующим образом.Деталь 3, установленная в камере 1,вращается в приспособлении 2, При движении каретки 5 слева направо в первомотсеке камеры 1 дробеструйным аппара -том 13, питающимся от секции 18 бункера, подготавливается под напылениеповерхность детали 3. При этом очистительная крошка, после удара о поверхностьдетали 3, падает сквозь решетки 20 всекции 18 бункера.Подготовленная поверхность затем напыляется в среднем отсеке камеры 1металдизатором 11, а в левом отсекеостывающий слой металла упрочняется,например ударами шариков, направленнымина поверхность дробеструйным аппаратом12, питающимся от секции 19 бункера.После удара шарики падают на решетку20 и имея диаметры...
Устройство для напыления элементов тензорезисторов
Номер патента: 1126627
Опубликовано: 30.11.1984
МПК: C23C 13/08
Метки: напыления, тензорезисторов, элементов
...вращения .барабана, продольные экраны, расположенные вдоль испарителей, подвиж ную заслонку, расположенную между испарителями и барабаном, и диафрагму со щелью, расположенную между барабаном и заслонкой, снабжено дополнительными экранами, установленными над центрам испарителей перпендикулярно продольным экранам, а гнезда под подложки размещены на равных расстояниях друг от друга и от ближних испарителей.Диафрагма со щелью выполнена в подвижной заслонке.Испарители электрически соединены через один параллелЬно в две группы.Наличие диафрагмы, поперечных экранов над центрами испарителей, размещение подложек на равных расстояниях друг от друга и ближайших испарителей и электрическое соединение испарителей в две группы позволяетсоздать...
Устройство для напыления пленок
Номер патента: 1679568
Опубликовано: 23.09.1991
Авторы: Кобыляков, Костроменко, Лялько, Пластюк, Шелехов
МПК: G01B 11/06, H01L 21/02
...скорость движения свидетеля 5 с помощью регулятора 4 движения свидетеля, Оптимальной для проведения процесса измерения скоростью является такая скорость, при которой сигнал, регистрируемый усилителем 14 фотоприемника, является минимальным. После этого включается измерительная часть устройства, открывается подвижная заслонка кварцевого резонатора 2 и начинается процесс измерения толщины пленки. Иа кварцевом резонаторе 2 происходит рост пленки. В процессе осаждения пленки на кварцевом резонаторе 2 изменяется масса резонатора 2, возникает сдвиг резонансной частоты, который регистрируется измерителем 16 частоты кварцевого резонатора. Величина сдвига резонансной частоты передается измерителем 16 частоты на эадатчик 17 маркировочного...
Устройство для напыления покрытий
Номер патента: 937038
Опубликовано: 23.06.1982
Авторы: Данилов, Климашин, Саратовский, Строжков
МПК: B05B 7/20
...ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 На экране 4 имеется прорезь 5, идентичная форме напыляемого покрытия. В данном случае эта прорезь 5 имеет кольцевую конфигурацию. Кромки прорези 5 соединены перемычкой 6, расположенной вне поверхности экрана. Перемычка 6 выполнена с ножками 7, которые непосредственно соединены с кромками прорези на экране 4, Перемычка 6 с ножками образует П-образной конфигурации элемент, Перемычка 6, отнесенная от поверхности экрана 2, необходима для того, чтобы вместе с функцией скрепления кромок прорези 5 сводить к минимуму затемнения струи материала от распылительной головки 1.Устройство работает следующим образом, Укрепляют изделие 3, например трубчатое, внутри экрана 4 при помощи дистанционирующих...
Предыдущий патент: Способ изготовления сегнетоэлектрических пленок
Следующий патент: Способ пластификации пленок
Случайный патент: Адсорбционный способ получения чистого гелия из гелиевых концентратов